Del lingote, el substrato a la epitaxia, cada proceso se supervisa.
La operación de la medida (para las obleas del epi) incluye la medida de la oblea de la inspección y la medida de la oblea de la producción. Para la oblea de la inspección, nos principalmente las pruebas la estabilidad del equipo, o ajustar la estructura de la oblea, inspección de la calidad conducirán cada día o lote; Miden la partícula, la longitud de onda, la resistencia, la movilidad de portador y al Pasillo superficiales, después de que eso, realizan la inspección visual debajo del microscopio, y entonces los embalamos bajo sitio limpio 100.