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Máquina de detección de fugas del espectrómetro de masa de helio para la industria electrónica de semiconductores
Introducción del detector de fugas de helio
El detector de fugas de espectrometría de masa de helio es un instrumento para la localización rápida y la medición cuantitativa de fugas en recipientes sellados.El método de detección de fugas de espectrometría de masa de helio con las características de una alta sensibilidad de detección, alta velocidad y una amplia gama de aplicaciones.
Parámetros del detector de fugas de helio
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Teste de fugas de helio Wayeal Máquina de detección de fugas de espectrómetro de masa de helio |
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Nombre del producto |
Detector de fugas de helio |
| Método de detección | Espectrómetro de masa de helio |
| Puerto de detección de fugas | DN25KF |
| Indicación de la tasa de fuga | Números, gráficos de barras y gráficos |
| Tiempo de respuesta | El valor de las pérdidas |
| Interfaz de usuario | Pantalla táctil a color de 7 pulgadas |
| Temperatura de funcionamiento | 0 ~ 40 °C |
| Presión máxima admisible de detección de fugas (Pa) | 1800 Pa |
| Interfaz de comunicación | Se trata de un sistema de transmisión de datos. |
| Calidad detectable | 2, 3, 4 (H2, He-3, He-4) |
| La velocidad de detección de fugas mínimas ((Pa.m.)3/s) /Modo de detección | 2.5*10-9 añosEn el caso de las3/s |
| La velocidad de detección de fugas mínimas ((Pa.m.)3/s) /Modo de vacío | 5.0*10- 13 años.En el caso de las3/s |
| Tiempo de arranque (min) | ≤ 158 |
| Las bombas de apoyo | Despliegue de la bomba de vacío |
| Diámetro | Se trata de una muestra de las características de los productos. |
| Fuente de alimentación | 220 V, 50 Hz/60 Hz |
| Lenguaje | Chino/Inglés |
Características del detector de fugas de helio
1Las funciones de autoprotección evitan la contaminación del fondo.
2. presión de evacuación automática y ajuste de tiempo, alta eficiencia de detección de fugas;
3Función de aviso de fallas y alarma;
4. Función de control remoto inalámbrico (opcional);
Aplicaciones del detector de fugas de helio
electricidad, Refrigerador Batería de litio,El médico
