SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
COMERCIO FAMOSO CO., LTD DE SHANGAI
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Introducción del producto
El alfiler de zafiro es un alfiler hecho de zafiro de cristal único de alta pureza, utilizado principalmente en equipos de fabricación de semiconductores para soportar y mover obleas.Gracias a su excepcional resistencia a las altas temperaturasEl uso de un alfiler de zafiro reduce en gran medida el riesgo de contaminación de las obleas.Prolonga la vida útil del equipo, y mejora el rendimiento general del proceso.
Principio básico
El principio básico de un alfiler de zafiro es levantar o bajar con precisión las obleas durante el procesamiento para garantizar un posicionamiento adecuado.Varios pines de elevación de zafiro suelen funcionar juntos para evitar que la oblea se deforme o dañeDebido a que el alfil de zafiro resiste altas temperaturas, vacío y entornos corrosivos, ofrece una vida útil mucho más larga y una mayor confiabilidad que los materiales convencionales.
Especificaciones
| Punto de trabajo | Especificación |
|---|---|
| El material | Zafiro de cristal único |
| Las dimensiones | Personalizado |
| La rugosidad de la superficie | Ra ≤ 0,02 μm |
| Temperatura de trabajo | > 2000°C |
| Coeficiente de expansión térmica | 5.8 × 10−6 /°C |
| Fuerza de flexión | ≥ 400 MPa |
| La transparencia | Alta transmisión en el rango visible |
| Resistencia a la corrosión | Es excelente. |
| Forma de la punta | Plano, redondo y cónico |
| El montaje | Las demás máquinas y aparatos |
Aplicaciones
Los pines elevadores de zafiro se utilizan ampliamente en equipos para grabado (Etch), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD) y deposición de capa atómica (ALD).y refrigeraciónEn la actualidad, los pines elevadores de zafiro desempeñan un papel crucial en el soporte y el posicionamiento.el alfil de zafiro se ha convertido en un componente central.
Pregunta y respuesta
P1: ¿Por qué elegir un alfiler de zafiro en lugar de cerámica o metal?
R1: El alfil de zafiro ofrece una mayor resistencia química y estabilidad térmica, capaz de funcionar a largo plazo en gases corrosivos y ambientes de alta temperatura.
P2: ¿El alfiler de zafiro genera partículas durante su uso?
R2: Debido a su superficie extremadamente lisa, el alfil de elevación de zafiro tiene un riesgo extremadamente bajo de generación de partículas, lo que lo hace ideal para procesos ultralimpios.
P3: ¿Requieren las diferentes máquinas pines elevadores de zafiro personalizados?
R3: Sí, dependiendo del modelo de la máquina y los requisitos del proceso, el alfil de elevación de zafiro a menudo necesita ser personalizado en tamaño, forma e interfaz de conexión.
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