SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
COMERCIO FAMOSO CO., LTD DE SHANGAI
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6 pulgadas POD / 8 pulgadas POD / FOSB ((Fibra óptica caja de empalme) / caja de entrega / caja de almacenamiento / RSP ((Plataforma de servicio remoto) / FOUP ((Front Opening Unified Pod)
Características del producto
6 pulgadas POD
Cumple con las normas SEMI
Disponible en modelos estándar y grúas
Compatible con la interfaz mecánica SMIF de 8 pulgadas, coincide con los casetes de 6 pulgadas y 6,3 pulgadas en línea
Estructura de mango optimizada con diseño anticaídas
Varias opciones de color disponibles para la gestión de procesos
Soluciones POD de semiconductores compuestos de 6 pulgadas personalizadas
Opciones de caja transparente o naranja disponibles
8 pulgadas POD
Cumple con las normas SEMI
Disponible en modelos estándar y grúas
Numerosos casos de aplicación práctica
Opciones de caja transparente o naranja disponibles
Opciones de personalización compatibles
Varias opciones de color disponibles para la gestión de procesos
Varias mejoras patentadas mejoran significativamente la fiabilidad del producto
FOSB ((Caja de empalme de fibra óptica)
Cumple con las normas SEMI
Proporciona un entorno limpio para el transporte de obleas
Capacidad: 25 PCS
Altamente compatible, adecuado para diversos equipos
Fabricado con materiales ultralimpios
Caja de entrega
Diseñado para el envío de obleas de 8 pulgadas
Amplia gama de productos que abarca los tipos comunes de cajas de envío
Ejemplos de aplicaciones extensas en FAB
Caja de almacenamiento
Apto para el traslado y almacenamiento de casetes de línea manuales de 6 y 8 pulgadas
Diseño ergonómico del mango en ambos lados para una manipulación eficiente
Cubierta superior transparente opcional
Ejemplos de aplicaciones extensas en FAB
RSP (Plataforma de servicio remoto)
Conforme con las normas SEMI
Soporta configuraciones de N2-purge y no purge
Rendimiento hermético superior
Múltiples diseños patentados
Referencias de aplicaciones extensas
FOUP ((Frente de apertura de la cápsula unificada)
Conforme con las normas SEMI
Disponible en materiales resistentes al agua
Opciones de capacidad: 25 unidades o 13 unidades
Apoya la entrega a granel
Cuenta con múltiples diseños patentados
Excelente inflación y rendimiento hermético
El diseño de compatibilidad permite el uso mixto con otras marcas
Opciones multifuncionales para apoyar diversos escenarios de aplicación
Pregunta y respuesta
- ¿ Qué?¿Qué es POD (Proceso de apertura/cierre de dispositivo)?
A: ¿Qué quieres decir?POD (Process Open/Close Device) is a specialized container used in semiconductor manufacturing and microfabrication processes to safely store and transport wafers (typically silicon or sapphire) between different stages of production in a cleanroom environmentEstá diseñado para proteger las obleas de la contaminación por partículas en el aire, humedad o exposición química durante los procesos de manipulación automatizados.
Una POD se compone típicamente de las siguientes partes:
1.Capa Proporciona una cubierta sellada para garantizar que las obleas estén protegidas de los contaminantes externos.
2.Base ️ Sostiene las obleas en su lugar, con guías o ranuras para mantenerlas en posición segura durante el transporte.
3.Mecanismo de bloqueo
1Prevención de contaminación: El diseño sellado evita que las obleas estén expuestas a partículas en el aire, humedad y productos químicos.
2Protección de las obleas: garantiza que las obleas no se dañen físicamente durante el transporte y la manipulación.
3.Compatibilidad con la automatización: los POD son compatibles con los sistemas automáticos de manipulación de materiales (AMHS) utilizados en las fábricas de semiconductores para facilitar la carga y descarga automáticas de obleas.
4Resistencia química: hecha de polímeros de alto rendimiento como PEEK, PFA o policarbonato, que garantizan la durabilidad contra los productos químicos corrosivos utilizados en los procesos de semiconductores.
Los POD se utilizan ampliamente en las siguientes áreas:
1Fabricación de plaquetas semiconductoras (de silicio, zafiro, vidrio)
2Fabricación de sistemas MEMS (microelectromecánicos)
3Producción de dispositivos ópticos
4Laboratorios de investigación y desarrollo
1.Alto rendimiento de sellado para mantener un entorno libre de partículas
2Diseño apilable para optimizar el espacio de almacenamiento de la sala limpia
3Construcción robusta para proteger las obleas de los golpes mecánicos
4Materiales ligeros para facilitar su manejo
5- Ventana transparente opcional para la inspección visual de las obleas en el interior
Con la creciente demanda de tamaños de obleas más grandes y mayores requisitos de limpieza, los diseños de POD están evolucionando para satisfacer las necesidades de automatización, modularidad y compatibilidad de varios tamaños.Se espera que los futuros POD tengan sistemas inteligentes de monitoreo y detección de contaminación en tiempo real para mejorar aún más la protección de las obleas y la eficiencia de la producción.
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