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bandeja de cerámica de carburo de silicio Se utiliza para soportar materias semiconductoras. Óptima resistencia a la corrosión
bandejas cerámicas de carburo de silicio
Las bandejas cerámicas de carburo de silicio (SiC) son componentes especializados diseñados para soportar obleas semiconductoras durante los procesos de fabricación.Estas bandejas pueden soportar ambientes químicos agresivos.Su alta estabilidad térmica y resistencia mecánica garantizan un rendimiento fiable en aplicaciones de alta temperatura,proporcionando una plataforma estable para procesos críticos como la epitaxiaLa versatilidad y la durabilidad de las bandejas cerámicas de SiC las hacen esenciales en diversos entornos de fabricación avanzados, mejorando la eficiencia y la calidad de la producción.
gráfico de datos de las bandejas cerámicas de carburo de silicio
| Fabricante | El nombre de ASUZAC | El nombre de ASUZAC | Compañía A | Compañía B | Compañía C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Nombre del producto | Las condiciones de los productos | SiC3N | ||||
| Método de fabricación | Sinterización por presión normal | Sinterización por presión normal | Presión en caliente | Enfermedades cardiovasculares | Seco-Seco | |
| Densidad | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
| Dureza de Vicker | 28 | 28 | 22 | 26 | - ¿ Por qué? | |
| Fuerza de flexión | En el caso de las | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
| Ellasticidad | El promedio | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
| Resistencia a las fracturas | MPa/cm^0.5 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | - ¿ Por qué? | - ¿ Por qué? |
| Expansión térmica | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
| Conductividad térmica | El valor de las emisiones de CO | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
propiedades de las bandejas cerámicas de carburo de silicio
Alta estabilidad térmica:
Pueden soportar temperaturas extremas, lo que los hace adecuados para aplicaciones de alta temperatura como la sinterización y el procesamiento de semiconductores.
Resistencia mecánica:
Muestra una resistencia y dureza excepcionales, proporcionando durabilidad y capacidad para soportar cargas pesadas sin deformación ni grietas.
Resistencia química:
Son altamente resistentes a la corrosión y al ataque químico, lo que les permite ser utilizados en ambientes agresivos, particularmente en el procesamiento y fabricación de productos químicos.
Conductividad térmica:
Facilita una distribución eficiente del calor, ayudando a mantener temperaturas de procesamiento constantes.
Baja expansión térmica:
Se caracteriza por un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que garantiza la estabilidad dimensional y reduce el riesgo de deformación o grieta bajo condiciones de temperatura variables.
Peso ligero:
A pesar de su resistencia y durabilidad, las bandejas de cerámica SiC son relativamente ligeras, lo que las hace más fáciles de manejar y transportar durante los procesos de fabricación.
El aislamiento eléctrico:
Proporciona excelentes propiedades de aislamiento eléctrico, lo que los hace adecuados para aplicaciones electrónicas donde minimizar la conductividad eléctrica es crucial.
Opciones de revestimiento de CVD:
Muchas bandejas cerámicas de SiC vienen con un revestimiento de deposición química de vapor (CVD), que mejora la resistencia al desgaste y proporciona protección adicional contra choques térmicos.
Personalizabilidad:
Se puede fabricar en varios tamaños y formas, lo que permite la personalización para satisfacer los requisitos específicos de la aplicación.
aplicaciones de bandejas cerámicas de carburo de silicio
Fabricación de semiconductores:
Las bandejas cerámicas de SiC son esenciales para apoyar las obleas de silicio durante los procesos de fabricación, incluida la epitaxia, la difusión y la oxidación, asegurando resultados de alta calidad.
Sinterización a altas temperaturas:
Estas bandejas se utilizan en la producción de cerámica avanzada, proporcionando una plataforma estable que puede soportar las temperaturas extremas requeridas en los procesos de sinterización.
Procesamiento químico:
Debido a su excelente resistencia química, las bandejas de SiC son ideales para el manejo de productos químicos agresivos en entornos tanto de laboratorio como industriales.a menudo utilizado en recipientes de reacción y columnas de destilación.
Producción de electrónica:
Las bandejas de SiC sirven como sustratos en la fabricación de dispositivos electrónicos, donde sus propiedades aislantes y conductividad térmica mejoran el rendimiento general y la fiabilidad.
Fabricación de componentes ópticos:
Utilizado en la fabricación de componentes ópticos, las bandejas de SiC soportan materiales que requieren un control preciso de la temperatura, contribuyendo a un rendimiento óptico de alta calidad.
Aplicaciones aeroespaciales y automotrices:
Las bandejas de cerámica de SiC se utilizan en las industrias aeroespacial y automotriz por sus características de ligereza y alta resistencia.especialmente en componentes que requieren una gestión térmica eficaz y resistencia a la corrosión.
Investigación y desarrollo:
En los entornos de I + D, estas bandejas se utilizan para configuraciones experimentales que involucran altas temperaturas o materiales corrosivos, proporcionando una plataforma robusta para pruebas de materiales innovadores.
Fabricación de dispositivos médicos:
Las bandejas de carburo de silicio se utilizan en la producción de dispositivos médicos, ofreciendo capacidades de esterilización y resistencia química en entornos de procesamiento.
bandejas cerámicas de carburo de silicio
