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Placa de cerámica SiC, para procesamiento de obleas de 2 pulgadas 4 pulgadas 6 pulgadas y tamaño personalizado
Placas de cerámica de SiC
Las placas cerámicas de SiC (carburo de silicio) son componentes especializados diseñados para aplicaciones de alto rendimiento, particularmente en la industria de semiconductores.Estas bandejas juegan un papel fundamental en el proceso de fabricación de dispositivos semiconductores, proporcionando una plataforma estable y fiable para el procesamiento de obleas de silicio.Las bandejas cerámicas de SiC pueden soportar las altas temperaturas requeridas durante varias etapas del procesamiento de obleas, como la epitaxia, la difusión y la oxidación.
Además de sus propiedades térmicas, las bandejas de SiC presentan una notable resistencia mecánica, lo que les permite soportar sustratos pesados sin deformarse ni agrietarse.Su excelente resistencia química garantiza su durabilidad en presencia de materiales corrosivos que se encuentran a menudo en los procesos de fabricación de semiconductores.
Además, las placas de cerámica de SiC contribuyen a una mejor distribución del calor, que es esencial para mantener condiciones de procesamiento consistentes en toda la superficie de la obletera.Esta característica ayuda a minimizar los defectos y mejora la calidad general de los dispositivos semiconductores.
Estas bandejas versátiles también se pueden personalizar en varios tamaños y formas para satisfacer requisitos de fabricación específicos, lo que las convierte en un activo indispensable en la industria de semiconductores,donde precisión y fiabilidad son primordiales.
Propiedades de las placas cerámicas de SiC
Alta estabilidad térmica:
Las placas cerámicas de bandeja de SiC pueden soportar temperaturas extremas, lo que las hace adecuadas para aplicaciones de alta temperatura como la sinterización y el procesamiento de semiconductores.
Excelente resistencia mecánica:
Poseen una resistencia y dureza superiores, lo que les permite soportar cargas pesadas sin deformación, lo que garantiza durabilidad y longevidad.
Resistencia química:
Las bandejas de SiC son altamente resistentes a la corrosión y al ataque químico, lo que las hace ideales para su uso en entornos agresivos, particularmente en el procesamiento químico y la fabricación de semiconductores.
Conductividad térmica:
Estas placas presentan una buena conductividad térmica, promoviendo una distribución eficiente del calor, lo cual es esencial en procesos que requieren un control uniforme de la temperatura.
Peso ligero:
A pesar de su resistencia, las bandejas cerámicas de SiC son relativamente ligeras, lo que facilita su manejo y transporte durante los procesos de fabricación.
El aislamiento eléctrico:
Los materiales de SiC proporcionan excelentes propiedades de aislamiento eléctrico, lo que los hace adecuados para su uso en aplicaciones electrónicas donde la conductividad eléctrica debe minimizarse.
Baja expansión térmica:
El bajo coeficiente de expansión térmica garantiza la estabilidad dimensional en condiciones de temperatura variables, reduciendo el riesgo de deformación o grieta.
Fabricante | El nombre de ASUZAC | El nombre de ASUZAC | Compañía A | Compañía B | Compañía C | |
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Nombre del producto | Las condiciones de los productos | SiC3N | ||||
Método de fabricación | Sinterización por presión normal | Sinterización por presión normal | Presión en caliente | Enfermedades cardiovasculares | Seco-Seco | |
Densidad | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
Dureza de Vicker | 28 | 28 | 22 | 26 | - ¿ Por qué? | |
Fuerza de flexión | En el caso de las | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
Ellasticidad | El promedio | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
Resistencia a las fracturas | MPa/cm^0.5 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | - ¿ Por qué? | - ¿ Por qué? |
Expansión térmica | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
Conductividad térmica | El valor de las emisiones de CO | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
Personalizabilidad:
Las placas de bandeja cerámica de SiC se pueden producir en varios tamaños y formas, lo que permite la personalización para satisfacer las necesidades específicas de la aplicación.
Estas propiedades hacen que las placas cerámicas de SiC sean un componente esencial en varias industrias, particularmente en la fabricación de semiconductores, sinterización a alta temperatura y procesamiento químico.
Aplicaciones de las placas de cerámica de SiC
Fabricación de semiconductores:
Las placas de bandeja cerámica de SiC se utilizan ampliamente para soportar obleas de silicio durante varios procesos de fabricación, incluida la epitaxia, la difusión y la oxidación.Su alta estabilidad térmica y resistencia mecánica aseguran condiciones óptimas de procesamiento y minimizan los defectos.
Sinterización a altas temperaturas:
En la producción de cerámicas y materiales avanzados, las bandejas de SiC se utilizan en procesos de sinterización a altas temperaturas,proporcionando una plataforma confiable que resista condiciones extremas sin deformarse.
Procesamiento químico:
Debido a su excelente resistencia química, las bandejas cerámicas de SiC son ideales para el manejo de productos químicos agresivos en laboratorios e instalaciones industriales.Las columnas de destilación, y otros equipos que requieren durabilidad frente a sustancias corrosivas.
Componentes electrónicos y eléctricos:
Las bandejas de SiC sirven como sustratos en la fabricación de dispositivos y componentes electrónicos,cuando sus propiedades aislantes y conductividad térmica sean cruciales para mantener el rendimiento y la fiabilidad.
Aplicaciones ópticas:
En la fabricación de componentes ópticos, las bandejas de SiC se utilizan para soportar y procesar materiales que requieren un control preciso de la temperatura y la estabilidad, asegurando productos finales de alta calidad.
Las industrias aeroespacial y automotriz:
Las placas cerámicas de bandejas de SiC se utilizan en aplicaciones aeroespaciales y automotrices por sus características de peso ligero y alta resistencia.especialmente en componentes que requieren gestión térmica y resistencia a la corrosión.
Investigación y desarrollo:
En los entornos de I + D, las bandejas de SiC se utilizan a menudo para configuraciones experimentales que involucran altas temperaturas o productos químicos corrosivos, proporcionando una plataforma robusta para pruebas de materiales innovadores.
Exhibición de bandejas cerámicas de SiC