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Piezas del molibdeno de Ion Source Of Tungsten And de la calidad superior
La fuente de las piezas del tungsteno y del molibdeno es los átomos o las moléculas neutrales, y extraer el dispositivo del haz de ion. Es diversas clases de acelerador de ion, de espectrómetro de masas, de separador electromágnetico del isótopo, de implantación de ion, de dispositivo de la aguafuerte del haz de ion, de empujador del ion y de dispositivo controlado de la fusión en el equipo neutral del inyector del haz tal como componentes imprescindibles.
Suministramos el tungsteno, el molibdeno, el titanio y los recambios de cerámica avanzados del componente y para el implanter del ion en calidad del OEM.
Nuestros productos principales incluyendo el cátodo, la cámara del arco, el reflector, el lado/la placa de extremo y la sujeción en la fuente de ion de axcelis y el implanter varian trabajaron en el proceso de la producción de 12" y 16" oblea.
Las piezas del tungsteno y del molibdeno son un proceso importante durante la fabricación de semiconductores. Obleas de la droga de Implanters con los “átomos extranjeros” para modificar propiedades materiales tales como conductividad o estructura cristalina.
Componentes
Elemento | Ti | Zr | C | O | Al | FE | Magnesio | Ni | Si | N | MES |
Contenido (peso, %) | 0.4-0.55 | 0.06-0.12 | 0.01-0.04 | ≤0.03 | ≤0.002 | ≤0.01 | ≤0.002 | ≤0.002 | ≤0.002 | ≤0.002 | Resto |
Especificación de piezas del tungsteno y del molibdeno
Tamaño | (0.1-40) x (50-600) x (100-1500) milímetro |
Densidad | ≥10.1 g/cm3 |
Resistencia a la tensión | MPa ≥830 |
Fuerza de producción | MPa ≥690 |
Alargamiento | el ≥10% |
Dureza | HV240-280 |