
plantillas de AlN de 2 pulgadas:
Dimensiones: Ф 50,8 milímetros de ± 0,1 milímetros
Substrato: Zafiro (solo lateral pulido)
Grueso: 4 ~ µm 5
Orientación: ± 1° del C-avión (0001)
Tipo de la conducción: Semiaislante
Calidad cristalina:
XRD FWHM (0002) de < 350 arcos segundo.
XRD FWHM (10-12) de < 450 arcos segundo
Zona de exclusión del borde: < 2 milímetros
Aspereza superficial: Ra < 5 nanómetro (10 µm del µm x 10)