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Chongqing Newsin Technology Co., Ltd

Ciudad:chongqing

Provincia / Estado:chongqing

País/Región:china

Persona de contacto:MrLin Yue

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Sistema aumentado plasma de la deposición de vapor químico

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Lugar del origen :China

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Índice principal del parámetro:
1. equipo: cámara de la deposición, sistema de bombeo molecular, electrodos superiores y más bajos, sistema del control del sistema de la trayectoria del gas, de la fuente de alimentación y de la temperatura y de control del equipo
2. cámara de la deposición: Φ350XH350mm
3. electrodo superior: la toma uniforme de la capa multi, tamaño es Φ150mm
4. electrodo: calefacción rotatoria, temperatura ambiente -600℃ ajustable, temperatura ≤±3℃, el sizeΦ 100m m
5.RF poder 500W, equipado del dispositivo a juego automático
6. toma de aire del trabajo del control del metro de flujo total
7. el sistema de control adopta control de la pantalla táctil +PLC

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