
Índice principal del parámetro:
1. último vacío: PA del ³ ≤6.6X10
2. el sistema de la adquisición del vacío adopta la bomba molecular + unidad mecánica de la bomba
3. bombeo continuo por 30 minutos, el PA del ³ del grado ≤86X10 del vacío
4.E tipo arma electrónico, voltaje máximo 8-10KV, poder 8KW
5. los pedazos de diámetro bajo de 400m m, se pueden calentar debajo de 300℃, con la refrigeración por agua, velocidad ajustable, distancia ajustable del substrato del substrato de la blanco
6. medida del espesor del film, equipada del instrumento del espesor del film del cristal de cuarzo, una punta de prueba refrigerada por agua