| Componente |
Composición y especificaciones |
| Cámara de vacío |
Número |
Sola cámara |
| Material |
acero inoxidable 304 |
| Forma |
Estructura vertical cilíndrica |
| Dimensión |
Φ300XH250 |
| Sello superior |
Sello de goma del flúor |
| Boca |
Contiene el interfaz del indicador de vacío dos, vario magnetrón que farfulla
interfaz de blanco,
un interfaz de la válvula de alto vacío, un interfaz del tubo del drenaje,
interfaz de la ventana panorámica,
interfaz de tres válvulas, interfaz tres y mecanismo de funcionamiento de
interfaz eléctrico dos
introducción.
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| Modo de apertura |
Dispositivo de elevación de la cubierta superior sin la elevación superior |
| Iluminación/que se seca |
lámpara de la iluminación 1x1000W, sequedad de la lámpara del halógeno 1x1000w, secándose
temperatura dentro de 200℃
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| Sistemas de bombeo del vacío |
bomba principal |
Bomba molecular 1pc |
| forepump |
bomba mecánica de la paleta rotatoria 6L |
| bomba del forro |
| válvula |
La válvula de alto vacío adopta el vacío ultraalto 1pc, válvula de purga
adopta la parada del vacío ultraalto
válvula tres
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| Tubo/común |
Tubo de acero inoxidable de la precisión, integrado por bramidos, aprisa
descargue la calle y la tarjeta doble
junta de la manga
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| Sistema de medición del vacío |
El indicador de vacío compuesto, indicador adopta todo el indicador desnudo del metal |
| Sistema de la farfulla del magnetrón |
Fuente de la farfulla del magnetrón |
Uno o dos blancos de la farfulla del magnetrón R60 |
| Posición de montaje de la blanco |
Placa de la cámara de vacío |
| Fuente de alimentación |
DC0.5KW, RF0.5KW cada 1pc |
| tamaño de la blanco |
Blanco de cobre redonda Φ60x2pcs |
| Operación del bafle |
Eje directo 1pc |
| Sistema del substrato |
Tamaño/cantidad del substrato |
Φ≤60mm, 1pc |
| Rotación del substrato |
autoroatation, velocidad 0-120/minute |
| Esfuerzo de torsión de la base de la blanco |
el 10cm, es ajustable (±5cm) |
| Calefacción del substrato |
Puede ser calentado debajo de 700℃, con la refrigeración por agua |
| control de la temperatura |
Control del PID, la exactitud de control ±1℃ |
| Sistema de la refrigeración por agua |
enfriamiento de la blanco |
Con un tubo de agua de enfriamiento y ninguna agua de enfriamiento o escaso
presión de agua de enfriamiento,
el agua
se desconecta la retransmisión de la presión y se corta la fuente de alimentación de la blanco
apagado para prevenir
la blanco
del recalentamiento
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| Sistema del enfriamiento al vacío |
Enfriamiento molecular de la bomba |
| Enfriamiento del substrato |
Refrigeración por agua de enfriamiento |
| Sistema de envío del gas |
Transportación de modo |
el gaseoducto y la válvula de carga se pasan con el vacío
pared de la cámara
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| Control de gas |
Regulador del flujo total del MFC |
| Capítulo |
estructura |
Marco de aluminio |
