El equipo está equipado con tecnología ultrasónica de megahercios única (800kHz - 1MHz). Al utilizar las diminutas burbujas de cavitación generadas por las vibraciones de alta frecuencia, puede eliminar con precisión impurezas a nivel de micras, como residuos de fotorresistente y contaminantes de iones metálicos en la superficie del chip, sin causar daños a la frágil estructura del circuito y a la superficie a nanoescala del chip. Combinado con un proceso de limpieza química especializado, se utilizan formulaciones de agentes de limpieza apropiadas para diferentes tipos de chips (como chips lógicos y chips de memoria) para lograr resultados de limpieza eficientes y seguros.
El proceso de limpieza adopta un diseño modular, que incluye pre-limpieza, limpieza fina por ultrasonidos, enjuague con agua ultrapura de múltiples etapas, secado por soplado de nitrógeno y otros procesos. El sistema de agua ultrapura está equipado con un módulo de agua ultrapura EDI, que produce agua ultrapura con una conductividad ≤0.1μS/cm, eliminando eficazmente las impurezas iónicas en el agua y evitando la contaminación secundaria. En el proceso de secado por soplado de nitrógeno, se utiliza nitrógeno de alta pureza (pureza ≥99.999%) para secar rápidamente la superficie del chip, evitando manchas de agua y oxidación, y asegurando que la superficie del chip cumpla con el estándar de limpieza Clase 10.
Personalización y Versatilidad
Diseño Modular: Admite la personalización del volumen del tanque (100L-1000L) y la frecuencia ultrasónica (25-120kHz) para adaptarse a los requisitos de tamaño y material de diferentes piezas de trabajo.
Aplicabilidad Multi-Industria:
- Campo Médico: Limpieza estéril de instrumentos quirúrgicos e implantes;
- Aeroespacial: Eliminación de lubricantes y capas de oxidación de las palas de las turbinas;
- Electrónica: Limpieza de precisión de microchips y componentes ópticos.
Acceso al Libro Blanco Técnico
Descargue la guía detallada "Optimización de la limpieza de precisión con tecnología ultrasónica y de vapor de múltiples etapas" para comprender cómo este sistema aborda los desafíos de limpieza en la fabricación moderna.
Soporte Directo de Fábrica
Ofrecemos servicios de personalización de extremo a extremo, desde el diseño del tanque hasta la programación del software, respaldados por soporte técnico 24/7 y una red global de centros de servicio.
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