Diversos tamaños de los substratos de alta calidad del zafiro del LED
Descripción de producto
La composición del zafiro es el alúmina (A12O3), que covalente es enlazado por tres basals del oxígeno y dos basals de aluminio. La estructura cristalina es una estructura de enrejado hexagonal. La banda óptica de la penetración del zafiro es muy ancha, de luz ultravioleta cercana. (190nm) a los rayos mediados de-infrarrojos tenga buena transmitencia ligera, y tenga las características de la alta velocidad sana, resistencia da alta temperatura, resistencia a la corrosión, alta dureza, punto de fusión elevada (20452 grados de C), los etc., y son de uso frecuente como materiales componentes optoelectrónicos. La calidad del blanco del ultra-alto-brillo/del LED azul depende de la calidad material de la epitaxia del nitruro del galio (GaN), así que se relaciona con la calidad de proceso superficial del substrato del zafiro utilizó. La tarifa constante de la unión mal hecha del enrejado entre las películas VI-depositadas es pequeña, y cumple los requisitos des alta temperatura de la resistencia del proceso de la epitaxia de GaN. Por lo tanto, el substrato del zafiro se ha convertido en el material dominante para la producción de LED blanco/azul/verde.
Especificación técnica
| Orientación superficial de la oblea |
C-AXIS [0001] 0.35° |
| Mis-orientación hacia muesca |
-0.10° a 0.10°
|
| Mis-orientación a la derecha el 90° de muesca |
0.35° ± 0.10° |
| Orientación de la muesca |
M-avión (- 1 1 0 0) |
| Diámetro |
± 0.20m m de 150.0m m |
| Grueso |
± 0.02m m de 1.30m m |
| Desalineamiento de la muesca |
-0.3° a 0.3° |
| GBIR |
≤ 15um |
| SBIR |
≤ 3um |
| Front Side Bow |
-15 a 15um |
| Front Surface Finish |
EPI listo por INGN-0144 |
| Backsurface |
Aspereza media: 0,65 a 0.95um
Gama de aspereza: 0.4um
|
| Identificación de la oblea de Frontside |
Identificación de la oblea en superficie delantera por SEMII T5-96
Texto: MCXXXXXNNN-YZ
Bujía métrica: Oblea de Silian 150m m con 0,35 mis-orientaciones hacia uno-AXIS
XXXXX: Identificación limpia de la porción
NNN: Número de la oblea
YZ: Suma de comprobación
|
| Dimensiones biseladas |
Front Bevel Size: 50 a 150um
Tamaño biselado trasero: 50 a 200um
Front Bevel Angle: 35 a 55 grados
|
| ROA (en 0.5m m) |
-1 a 1um |
| Defectos superficiales |
PLLC 5183,0699 HC Candela Upper Spec Limits |
| Empaquetado: |
Ambiente del sitio limpio de la clase 100, en casetes de 25, bajo atmósfera del nitrógeno. |
Ventajas del producto
Modelo Sapphire Substrate (PSS): El substrato del zafiro es diseñado para producir modelos regulares específicos de la microestructura de la nano-escala por el crecimiento o la aguafuerte para controlar la forma de la luz de la salida del LED. Al mismo tiempo, puede reducir los defectos del GaN crecido en el substrato del zafiro, mejorar la calidad de la epitaxia, y mejora la eficacia de quántum interna del LED y aumentar la eficacia ligera de la extracción.
Tiene las características de la alta velocidad sana, resistencia da alta temperatura, resistencia a la corrosión, alta dureza, alta transmitencia ligera, punto de fusión elevada (2045°C), etc.
