Sistema de la vacuometalización de la farfulla del magnetrón del laboratorio
1. El sistema de la farfulla de UHV se equipa de
- Armas de la farfulla de DC para depositar los materiales semi-conductores y no-conductores (Si, SiO2, Al2O3, Si3N4, Cr2O3, ITO y otros materiales).
- Arma de la farfulla del RF para depositar el aluminio, la plata, el oro materiales conductores etc.
- Las fuentes de la fuente de alimentación de DC y del RF pueden ser flexibles intercambiado.
2. Los usos de sistema de la farfulla de UHV de
- Capas conductoras en los materiales poliméricos, madera, telas en las bajas temperaturas menos ℃ de 100
Uso de capas conductoras sobre el vidrio, la cerámica y otros materiales dieléctricos.
3. Funcionamiento técnico:
3. 1 última presión del vacío: mejore que los torres 5.0×10-6.
3. 2. presión de funcionamiento del vacío: Torres 1.0×10-4.
3. 3. tiempo de Pumpingdown: a partir de 1 atmósfera a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)
3. 4. metalizando el Al, el Cr, el Sn, el Ti, SS, el Cu (de farfulla) materiales… etc.
3. 5. modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente
4. estructura
La máquina de la vacuometalización de la farfulla de UHV contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:
1. Cámara de vacío
2. Sistema de bombeo de vacío de Rouhging (paquete de la bomba del forro)
3. Sistema de bombeo de alto vacío (bomba de difusión)
4. Sistema eléctrico del control y de la operación
5. Sistema de la instalación de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema de la deposición
Para más especificaciones, éntrenos en contacto con por favor. Se dan la bienvenida las investigaciones modificadas para requisitos particulares.
