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Máquina de recubrimiento por pulverización catódica DC y MF, soluciones de recubrimiento PVD negro profundo
Revestimiento de pulverización catódica de magnetrón
recubrimiento de plasma
La pulverización catódica con magnetrón es un proceso de recubrimiento de plasma mediante el cual el material pulverizado se expulsa debido al bombardeo de iones a la superficie objetivo.La cámara de vacío de la máquina de recubrimiento por PVD se llena con un gas inerte, como el argón.Al aplicar un alto voltaje, se crea una descarga luminiscente, lo que resulta en la aceleración de los iones hacia la superficie del objetivo y un recubrimiento de plasma.Los iones de argón expulsarán materiales de pulverización catódica de la superficie objetivo (pulverización catódica), lo que dará como resultado una capa de recubrimiento pulverizada sobre los productos frente al objetivo. La tecnología de pulverización catódica con magnetrones se caracteriza por:
| MODELO | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECNOLOGÍA | Sputtering de magnetrón MF + Recubrimiento iónico | ||||||
| MATERIAL | Acero inoxidable (S304) | ||||||
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| TIPO DE CÁMARA | Cilindro, vertical, 1 puerta | ||||||
| SISTEMA DE SPUTTER | Diseño exclusivo para deposición de película negra delgada | ||||||
| MATERIAL DE DEPÓSITO | Aluminio, plata, cobre, cromo, acero inoxidable, Níquel |
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| FUENTE DE DEPÓSITO | 2 juegos de objetivos de pulverización cilíndrica MF + 8 fuentes de arco catódico dirigidas + fuente de iones para opcional | ||||||
| GAS | MFC- 4 vías, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| CONTROL | PLC (controlador lógico programable) + | ||||||
| SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 juego (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 juego (Leybold) | |||||||
| D60T-1 juego (Leybold) | |||||||
| Bombas turbomoleculares: 2* F-400/3500 | |||||||
| PRETRATAMIENTO | Fuente de alimentación polarizada: 1*36 KW | ||||||
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Numerosos enclavamientos de seguridad para proteger a los operadores | ||||||
| ENFRIAMIENTO | Agua fría | ||||||
| ENERGÍA ELÉCTRICA | 480 V/3 fases/60 HZ (compatible con EE. UU.) | ||||||
| 460 V/3 fases/50 Hz (compatible con Asia) | |||||||
| 380V/3 fases/50HZ (Cumple EU-CE) | |||||||
| HUELLA | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| PESO TOTAL | 7,0 toneladas | ||||||
| HUELLA | (L*An*Al) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| TIEMPO DEL CICLO | 30~40 minutos (dependiendo del material del sustrato, geometría del sustrato y condiciones ambientales) |
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| POTENCIA MÁX.. | 155 kilovatios | ||||||
| ENERGÍA PROMEDIO CONSUMO (APROX.) |
75 kilovatios |
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