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Oblea de pulido mecánica química LiTaO3 del ultravioleta a la gama ancha infrarroja de la transparencia
El tantalato del litio (LiTaO3) tiene características ópticas piezoeléctricas, electrópticas y no lineales, y una gama ancha de la transparencia que va de ultravioleta al infrarrojo. Es deseable que la oblea LiTaO3 era una superficie lisa para funcionar con buena calidad. El pulido mecánico químico (CMP) se ha utilizado para planarize los circuitos integrados (ICs) o para obtener una alta calidad superficial de los substratos. Este papel investiga el efecto del ácido cítrico como añadido en la mezcla para CMP LiTaO3. La aspereza de las obleas fue medida por una microscopia atómica de la fuerza (AFM, XE-100) después de pulir. La mezcla, que contiene el ácido cítrico como añadido, tiene una fuerza más alta de la tarifa y de fricción del retiro del material que una mezcla sin un añadido. Después de pulir, la aspereza superficial de la oblea LiTaO3 se puede reducir abajo a 1.7A del Ra.
Alcance de transmisión |
0.275 - µm 5,25 (grueso 8 milímetros); Alta transmitencia a partir de la 0,4 – 4um |
Índice de refracción |
ningunos = 2,139, ne = 2,139 @633 nanómetro |
Pérdida de reflexión |
µm 13.17%@0.633 |
Densidad |
7,4564 g/cm3 |
Punto de fusión |
1650°C |
Peso molecular |
235,89 |
Conductividad termal |
4,6 W/m·K; 8,78 W/m·K |
Espec. Capacidad de calor |
424 J (K·kilogramo) |
Dureza (Mohs) |
750 |
Coeficiente elástico |
C11 = 230; C12 = 42; C13= 79; C14= -11; C33= 276; C44 = 95,9 GPa |
Constante dieléctrica |
41-53 @298K |
Solubilidad en agua |
insoluble |
Crystal Structure |
Solo cristalino, sintético |
Crystal Type |
trigonal, = 5,15 Å c = 13,77 Å |
Aviones de la hendidura |
ninguna hendidura |
Uso |
electro Q-interruptor óptico, substrato óptico integrado, sensor, convertidor de frecuencia |
Producto |
Oblea del tantalato de Ltihium (LT) |
|
Diámetro |
3inch |
4inch |
76.2m m |
100m m |
|
S/D |
20/10 |
20/10 |
TTV |
<3um> |
<3um> |
PLTV |
>el 95% |
>el 95% |
Deformación |
<20um> |
<40um> |
ARCO |
<20um> |
<30um> |
Ra |
<0> |
<0> |
FAQ:
: Miramos nosotros mismos como el especialista piezoeléctrico de la oblea. Somos los primeros a trabajar con solo Crystal Quartz en China hace aproximadamente 30 años. Entonces caminamos gradualmente en el campo del vidrio de LiNbO3, de LiTaO3, de cuarzo, de LGS, de CTGS etc. ¡Especialmente, si usted está buscando a un proveedor piezoeléctrico del cuarzo, somos la última opción! Externalizamos millones de espacios en blanco del cuarzo cada año porque dominamos EN, los cortes del SC y de las TIC con la precisión superior del ángulo.
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