Suavidad y limpieza planas Sapphire Substrate For Semiconductor de C altas

Number modelo:Zafiro (Al2O3)
Lugar del origen:China
Cantidad de orden mínima:5 pedazos
Condiciones de pago:T/T
Capacidad de la fuente:10000 pedazos/mes
Plazo de expedición:1-4 semanas
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Hangzhou Shanghai China
Dirección: Habitación 1106, CIBC, No.198, calle Wuxing, Hangzhou, República Popular China
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Suavidad plana y alta limpieza Sapphire Substrate For Semiconductor de C alta

 

Las obleas del zafiro son principalmente convenientes para la investigación y desarrollo de los nuevos dispositivos de semiconductor, ofreciendo altas especificaciones tales como alta suavidad y alta limpieza además de los grados estándar del substrato tradicional del zafiro.

 

Características principales

• Dureza de alta resistencia, alta, alta resistencia de desgaste (dureza en segundo lugar solamente al diamante)

• Alta transmitencia (transmitencia ligera en el ultravioleta a la gama infrarroja)

• Alta resistencia a la corrosión (alta tolerancia al ácido, al álcali, al plasma)

• Alto aislamiento (aislador, no fáciles conducir electricidad)

• Alta conductividad de calor de la resistencia térmica (punto de fusión 2050℃) (40 veces del vidrio)

 

Especificación

• El tamaño estándar (φ2 “, 3", 4", 6", 8", 12 "), el otro tamaño especial, forma de la esquina y otras formas pueden corresponder.

• Puede corresponder a una variedad de orientación plana: c-avión, r-avión, m-avión, uno-avión

• Pulido de doble cara, pulido de un sólo lado

• Perforación adaptable

 

 

Crystal Materialsel 99.996% de Al2O3, pureza elevada, monocristalina, Al2O3 
Calidad cristalinaLas inclusiones, las marcas de bloque, los gemelos, el color, las microburbujas y los centros de la dispersión son inexistentes 
Diámetro2inch3inch4inch5inch ~ 7inch 
50.8± 0.1m m76.2±0.2m m100±0.3m mDe acuerdo con las disposiciones de la producción estándar 
 
Gruesolos 430±15µmlos 550±15µmlos 650±20µmPuede ser modificado para requisitos particulares por el cliente 
OrientaciónC- avión (0001) al M-avión (1-100) o al Uno-avión (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3 ±0.1°, R-avión (1-1 0 2), Uno-avión (1 1-2 0), M-avión (1-1 0 0), cualquier orientación, cualquier ángulo 
Longitud plana primaria16.0±1m m22.0±1.0m m32.5±1.5 milímetroDe acuerdo con las disposiciones de la producción estándar 
Orientación plana primaria± 0.2° del Uno-avión (1 1-2 0) 
TTV≤10µm≤15µm≤20µm≤30µm 
LTV≤10µm≤15µm≤20µm≤30µm 
TIR≤10µm≤15µm≤20µm≤30µm 
ARCO≤10µm≤15µm≤20µm≤30µm 
Deformación≤10µm≤15µm≤20µm≤30µm 
Front SurfaceEpi-pulido (Ra< 0=""> 
Superficie traseraTierra fina (Ra=0.5 al µm 1,2), Epi-pulida (Ra< 0=""> 
NotaPuede proporcionar la oblea de alta calidad del substrato del zafiro según el requisito específico de los clientes 

 

PROPIEDADES FÍSICAS

Densidad3,97 g/cm3
Punto de fusión2040 grados de C
Conductividad termal27,21 con (m x K) en 300 K
Extensión termal5,6 x 10 -6 /K (C-AXIS paralelo) y 5,0 (C-AXIS perpendicular) x 10 -6 /K
DurezaKnoop 2000 kg/mm 2 con el penetrador 2000g
Capacidad de calor específico419 j (kilogramo x K)
Constante dieléctrica11,5 (paralelo C-AXIS) 9,4 (C-AXIS perpendicular) en 1MHz
Módulo de Young (e)335 GPa
(G) del módulo del esquileo148,1 GPa
Módulo a granel (k)240 GPa
Coeficientes elásticosC11=496C12=164C13=115
C33=498C44=148
Límite elástico evidenteMPa 275 (40.000 PSI)
Ratio de Poisson0,25

 

 

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Suavidad y limpieza planas Sapphire Substrate For Semiconductor de C altas

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