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Paquete de la oblea LiNbO3 DSP de la pulgada 0.5m m de Y128-Cut 4 en casete
Niobato del litio (LiNbO3, LNO), un ferroeléctrico uniaxial con una temperatura de curie muy alta (K) 1500. Entre otras características atractivas, una debe observar su precio bajo relativamente, alta estabilidad química, termal, y mecánica, disponibilidad de los cristales grandes composición suficientemente de alta calidad y, por último, de su sin plomo.
LNO y el material relacionado LiTaO3 son ampliamente utilizados en superficie y los dispositivos a granel de la onda acústica, los moduladores y las guías de onda ópticas, los filtros, los transductores, los microscopios acústicos, etc.
Material | Cristal LiNbO3 |
Orientación | X / /Y64 °/Y128 ° Z/Y41 °/YZ/YX o modificado para requisitos particulares |
Diámetro | Φ76.2mm (3 pulgadas); Φ100mm (4 pulgadas); Φ150mm (6 pulgadas) |
Final superficial | Uno/pulimento de ambos lados |
Grueso | 350±25um/500±25um |
TTV | < 1=""> |
ARCO | ± (los 25µm ~40um) |
Deformación | <> |
LTV (5mmx5m m) | <1> |
PLTV (<0> | ≥el98%(5mm*5m m)conelbordede2m mexcluido |
Borde | Compl't con SEMI M1.2@with GC800# .regular en C mecanografió |
Planos de la orientación | disponible, por la petición |
Ra lateral pulido | Ra de la aspereza<> |
Criterios laterales traseros | Ra de la aspereza: los 0.5-1.0µm GC#1000 |
Redondeo del borde | Obediente con SEMI el estándar M1.2/refiera a IEC62276 |
Grietas, marcas de la sierra, manchas | Ninguno |
Control de aceptación