

Add to Cart
4" capa epitaxial/fósforo del silicio de Instrinct de la capa superior de la oblea del silicio dopó el submarino del silicio de la capa de la implantación de ion de la capa
La oblea epitaxial del silicio es una capa de silicio del solo cristal depositado sobre una oblea de silicio del solo cristal (nota: está disponible crecer una capa de capa cristalina polivinílica del silicio encima altamente solo dopada de una oblea de silicio cristalina, pero necesita capa del almacenador intermediario (tal como óxido o polivinílico-Si) entre el substrato del Si del bulto y la capa epitaxial superior)
La capa epitaxial se puede dopar, mientras que se deposita, a la concentración de doping exacta mientras que continúa la estructura cristalina del substrato.
Resistencia del Epilayer: <1 ohm-cm="" up="" to="" 150="" ohm-cm="">
Grueso del Epilayer: < 1="" um="" up="" to="" 150="" um="">
Estructura: N/N+, N-/N/N+, N/P/N+, N/N+/P-, N/P/P+, P/P+, P-/P/P+.
Uso de la oblea: Digitaces, lineares, poder, MOS, dispositivos de BiCMOS.
Nuestras ventajas de un vistazo
1. Equipo avanzado del crecimiento de la epitaxia y equipo de prueba.
2. Ofrezca el más de alta calidad con densidad baja del defecto y buena aspereza superficial.
3. Ayuda fuerte del equipo de investigación y ayuda de tecnología para nuestros clientes
La oblea epitaxial de PAM-XIAMEN mantiene especificaciones:
• Diámetros: 50m m, 75m m, 100m m, 125m m, 150m m
• Orientación de la oblea: <100> <111>, <110>
• Grueso de EPI: los 4μm al 150μm
• Dopantes: Arsénico, fósforo, boro
• Gamas típicas de la resistencia
• 0,05 – 1.200 ohmio-cm
• 3000 – 5.000 ohmio-cm (capas intrínsecas)
4" capa epitaxial/del silicio de Instrinct de la capa superior de la oblea del silicio substrato dopado fósforo de la capa/silicio de la implantación de la capa/ion
4" oblea epitaxial del silicio | |
Estructura de la oblea del Si Epi | Capa/del silicio de Instrinct de la capa superior substrato dopado fósforo de la capa/silicio de la implantación de la capa/ion |
Capa del silicio de Instrinct de la capa superior | Risistivity≥50Ωcm, Grueso los 5μm, Concentración de portador residual<1> |
Capa dopada fósforo | Risistivity alrededor de los 0.025Ωcm (7×017/cm3 fosforado dopado concentración), Grueso los 20μm, Concentración de portador residual<2> |
Capa de la implantación de ion | Fuente del cliente |
Substrato de silicio | Silicio Substrate1: 4" oblea de FZ Si Tipo de N (100) Grueso los 500±15μm Resistivity>2000Ωcm Lado del doble de DSP pulido Silicio Substrate2: 4" oblea del Si N mecanografía (100), según lo (el arsénico) dopado, Grueso los 250±25μm, Resistencia los 0.001-0.005Ωcm Lado del doble de DSP pulido |
Uniformidad epitaxial de la oblea del silicio: Capa dopada fósforo: Grueso el Uniformity<4%, resistencia el Uniformity<4% Capa del silicio de Instrinct: Grueso el Uniformity<4%, uniformidad de la resistencia alrededor del 10% |
¿Cuál es oblea del epi del silicio?
La epitaxia es un proceso en el cual una capa monocristalina adicional del silicio se deposita encendido a la superficie cristalina pulida de una oblea de silicio. Este proceso permite seleccionar las propiedades materiales independientemente del substrato pulido, y por lo tanto crear las obleas que tienen diversas propiedades en el substrato y la capa epitaxial. En muchos casos esto es necesario para la función del componente del semiconductor.
PAM-XIAMEN puede ofrecerle tecnología y la ayuda de la oblea, para más información, visita por favor nuestra página web: https://www.powerwaywafer.com,
envíenos el correo electrónico en sales@powerwaywafer.com y powerwaymaterial@gmail.com
La calidad es nuestra primera prioridad. PAM-XIAMEN ha sido ISO9001: 2008, posee y comparte cuatro facories modernos que puedan proporcionar muy una gama grande de productos calificados para cubrir diversas necesidades de nuestros clientes, y cada orden tiene que ser manejado a través de nuestro sistema de calidad riguroso. El informe de prueba se proporciona para cada envío, y cada oblea es garantía. Antes de 1990, nos indican poseímos el centro de investigación condensado de la física de la materia. En 1990, el material avanzado puesto en marcha de centro Co., Ltd (PAM-XIAMEN), ahora de Xiamen Powerway es fabricante principal de material del semiconductor compuesto en China.