El tipo de P, Zn-dopó a solo Crystal InAs Wafer, 2", grado de la prueba

Brand Name:PAM-XIAMEN
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P mecanografía, la oblea de InAs, 2", grado de la prueba

PAM-XIAMEN ofrece la oblea de InAs – arseniuro del indio que son crecidos por LEC (Czochralski encapsulado líquido) o VGF (helada vertical de la pendiente) como grado epi-listo o mecánico con el tipo de n, el tipo de p o sin impurificar en diversa orientación (111), (100) o (110). PAM-XIAMEN puede proporcionar la oblea lista de InAs del grado del epi para su uso epitaxial del MOCVD y del MBE. Entre en contacto con por favor a nuestro equipo del ingeniero para más información de la oblea.

 

2" especificación de la oblea de InAs

ArtículoEspecificaciones
DopanteCinc
Tipo de la conducciónP-tipo
Diámetro de la oblea2"
Orientación de la oblea(100) ±0.5°
Grueso de la oblea500±25um
Longitud plana primaria16±2m m
Longitud plana secundaria8±1m m
Concentración de portador(1-10) x1017cm-3
Movilidad100-400cm2/V.s
EPD<3x104cm-2
TTV<10um
ARCO<10um
DEFORMACIÓN<12um
Marca del lasera petición
Final de SufaceP/E, P/P
Epi listo
PaqueteSolo envase o casete de la oblea

 

¿Cuál es el proceso de InAs?

Las obleas de InAs se deben preparar antes de la fabricación del dispositivo. Para comenzar, deben ser limpiadas totalmente para quitar cualquier daño que pudiera haber ocurrido durante el proceso rebanador. Las obleas entonces químicamente mecánicamente se pulen/Plaranrized (CMP) para la etapa material final del retiro. Esto permite el logro de estupendo-plano espejo-como superficies con una aspereza restante en una escala atómica. Eso se termina después, la oblea está listo para la fabricación.

Concentración de la estructura y de portador de banda de oblea de InAs

Parámetros básicos

Hueco de energía0,354 eV
Separación de la energía (EΓL) entre Γ y L valles0,73 eV
Separación de la energía (EΓX) entre los valles de Γ y de XeV 1,02
El partir vuelta-orbital de la energía0,41 eV
Concentración de portador intrínseco1·1015 cm-3
Resistencia intrínseca0,16 Ω·cm
Densidad eficaz de la banda de conducción de estados8,7·1016 cm-3
Densidad eficaz de la banda de la valencia de estados6,6·1018 cm-3

 

Concentración de la estructura y de portador de banda de InAs.
Los mínimos importantes de la banda de conducción y de los máximos de la valencia congriegan.
Eg. = 0,35 eV
EV 1,08 de EL=
EV 1,37 de EX=
Eso = 0,41 eV

Dependencias de la temperatura

Dependencia de la temperatura del hueco de energía directo

Eg. = 0,415 - 2,76·10-4·T2/(T+83) (eV),

donde está temperatura T los grados K (0 <T < 300).
 

Densidad eficaz de estados en la banda de conducción

Nc≈1.68·1013·T3/2 (cm-3).

Densidad eficaz de estados en la banda de la valencia

Nv≈ 1,27·1015·T3/2 (cm-3).

Las dependencias de la temperatura de la concentración de portador intrínseco.
Nivel de Fermi contra la temperatura para diversas concentraciones de donantes y de aceptadores bajos.

Dependencias de la presión hidrostática

Eg. ≈Eg. (0) + 4,8·10-3P (eV)
EL DEL≈ (0) + 3,2·10-3P (eV)

donde está presión P en kbar 

Energía Gap que se estrecha en el alto que dopa niveles

Hueco de energía que se estrecha contra el donante (curva 1) y aceptador (curva 2) que dopa densidad.
Las curvas son el acordar calculado
Los puntos muestran los resultados experimentales para los n-InAs

Para el n-tipo InAs

ΔEg = 14,0·10-9·Nd1/3 + 1,97·10-7·Nd1/4 + 57,9·10-12·Nd1/2 (eV)

Para el p-tipo InAs

ΔEg = 8,34·10-9·Na1/3 + 2,91·10-7·Na1/4 + 4,53·10-12·Na1/2 (eV)

Masas eficaces

Electrones:

Masa eficaz del electrón contra la concentración del electrón
 

 

Para el Γ-vallemΓ = 0.023mo
Nonparabolicity:
E (1+αE) = h2k2/(2mΓ)
α = 1,4 (eV-1)
En la masa eficaz del L-valle de la densidad de estadosmL=0.29mo
En la masa eficaz del X-valle de la densidad de estadosmX=0.64mo

Agujeros:

PesadoMh = 0.41mo
Luzmlp = 0.026mo
Banda de la fractura-apagadomso = 0.16mo

Masa eficaz de la densidad de estados milivoltio = 0.41mo

Donantes y aceptadores

Energías de ionización de donantes bajos

≥ 0,001 (eV): SE, S, Te, GE, Si, Sn, Cu

Energías de ionización de los aceptadores bajos, eV

SnGESiCdZn
0,010,0140,020,0150,01

 

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