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N mecanografía, la oblea del arseniuro de galio, 6", grado primero
PAM-XIAMEN desarrolla y fabrica el cristal y la oblea del arseniuro del substrato-galio del semiconductor compuesto. Hemos utilizado tecnología avanzada del crecimiento cristalino, el helada vertical de la pendiente (VGF) y la tecnología de proceso de la oblea del arseniuro de galio (GaAs). Las propiedades eléctricas requeridas son obtenidas añadiendo dopantes tales como silicio o cinc. El resultado es n-tipo o p-tipo de alta resistencia (>10^7 ohm.cm) o semiconductores de la bajo-resistencia (<10 - 2 ohm.cm). Las superficies de la oblea están generalmente epi-listas (extremadamente - contaminación baja) es decir su calidad son convenientes para el uso directo en procesos epitaxiales.
Obleas del arseniuro de galio (GaAs) para los usos del LED
Artículo | Especificaciones | |
Tipo de la conducción | SC/n-type | |
Método del crecimiento | VGF | |
Dopante | Silicio | |
Oblea Diamter | 6, pulgada | |
Orientación cristalina | (100) 100 de (110) | |
DE | EJ o los E.E.U.U. | |
Concentración de portador | (0.4~2.5) E18/cm3
| |
Resistencia en el RT | (1.5~9) E-3 Ohm.cm | |
Movilidad | 1500~3000cm2/V.sec
| |
Densidad del hoyo de grabado de pistas | <5000/cm2 | |
Marca del laser | a petición
| |
Final superficial | P/E o P/P
| |
Grueso | 220~650um
| |
Epitaxia lista | Sí | |
Paquete | Solo envase o casete de la oblea |
Obleas del arseniuro de galio (GaAs) para los usos del LD
Artículo | Especificaciones | Observaciones |
Tipo de la conducción | SC/n-type | |
Método del crecimiento | VGF | |
Dopante | Silicio | |
Oblea Diamter | 6, pulgada | Lingote o como-corte disponible |
Orientación cristalina | (100) 100 de (110) | El otro misorientation disponible |
DE | EJ o los E.E.U.U. | |
Concentración de portador | (0.4~2.5) E18/cm3 | |
Resistencia en el RT | (1.5~9) E-3 Ohm.cm | |
Movilidad | 1500~3000 cm2s/V.sec | |
Densidad del hoyo de grabado de pistas | <500/cm2 | |
Marca del laser | a petición | |
Final superficial | P/E o P/P | |
Grueso | 220~650um | |
Epitaxia lista | Sí | |
Paquete | Solo envase o casete de la oblea |
Propiedades del cristal del GaAs
Propiedades | GaAs |
Atoms/cm3 | 4,42 x 1022 |
Peso atómico | 144,63 |
Campo de la avería | aproximadamente 4 x 105 |
Estructura cristalina | Zincblende |
Densidad (g/cm3) | 5,32 |
Constante dieléctrica | 13,1 |
Densidad eficaz de estados en la banda de conducción, Nc (cm-3) | 4,7 x 1017 |
Densidad eficaz de los estados en la banda de la valencia, nanovoltio (cm-3) | 7,0 x 1018 |
Afinidad de electrón (v) | 4,07 |
Energía Gap en 300K (eV) | 1,424 |
Concentración de portador intrínseco (cm-3) | 1,79 x 106 |
Longitud de Debye intrínseca (micrones) | 2250 |
Resistencia intrínseca (ohmio-cm) | 108 |
Constante del enrejado (angstromes) | 5,6533 |
Coeficiente linear de extensión termal, | 6,86 x 10-6 |
ΔL/L/ΔT (1 DEG C) | |
Punto de fusión (DEG C) | 1238 |
Curso de la vida del portador de minoría (s) | aproximadamente 10-8 |
Movilidad (deriva) | 8500 |
(cm2s de /V-s) | |
µn, electrones | |
Movilidad (deriva) | 400 |
(cm2s de /V-s) | |
µp, agujeros | |
Energía óptica (eV) del fonón | 0,035 |
Trayectoria libre mala del fonón (angstromes) | 58 |
Calor específico | 0,35 |
(J/g-deg C) | |
Conductividad termal en 300 K | 0,46 |
(W/cm-degC) | |
Difusibilidad termal (cm2/sec) | 0,24 |
Presión de vapor (Pa) | 100 en 1050 DEG C; |
1 en 900 DEG C |
Longitud de onda | Índice |
(µm) | |
2,6 | 3,3239 |
2,8 | 3,3204 |
3 | 3,3169 |
3,2 | 3,3149 |
3,4 | 3,3129 |
3,6 | 3,3109 |
3,8 | 3,3089 |
4 | 3,3069 |
4,2 | 3,3057 |
4,4 | 3,3045 |
4,6 | 3,3034 |
4,8 | 3,3022 |
5 | 3,301 |
5,2 | 3,3001 |
5,4 | 3,2991 |
5,6 | 3,2982 |
5,8 | 3,2972 |
6 | 3,2963 |
6,2 | 3,2955 |
6,4 | 3,2947 |
6,6 | 3,2939 |
6,8 | 3,2931 |
7 | 3,2923 |
7,2 | 3,2914 |
7,4 | 3,2905 |
7,6 | 3,2896 |
7,8 | 3,2887 |
8 | 3,2878 |
8,2 | 3,2868 |
8,4 | 3,2859 |
8,6 | 3,2849 |
8,8 | 3,284 |
9 | 3,283 |
9,2 | 3,2818 |
9,4 | 3,2806 |
9,6 | 3,2794 |
9,8 | 3,2782 |
10 | 3,277 |
10,2 | 3,2761 |
10,4 | 3,2752 |
10,6 | 3,2743 |
10,8 | 3,2734 |
11 | 3,2725 |
11,2 | 3,2713 |
11,4 | 3,2701 |
11,6 | 3,269 |
11,8 | 3,2678 |
12 | 3,2666 |
12,2 | 3,2651 |
12,4 | 3,2635 |
12,6 | 3,262 |
12,8 | 3,2604 |
13 | 3,2589 |
13,2 | 3,2573 |
13,4 | 3,2557 |
13,6 | 3,2541 |
¿Cuál es oblea del GaAs?
El arseniuro de galio (GaAs) es un compuesto de los elementos galio y arsénico. Es un semiconductor directo del hueco de banda de III-V con una estructura cristalina de la blenda de cinc.
La oblea del GaAs es un material importante del semiconducor. Pertenece para agrupar el semiconductor de compuesto de III-V. Es un tipo estructura de la esfalerita de enrejado con un constante del enrejado de 5.65x 10-10m, un punto de fusión del ℃ 1237 y un hueco de banda de 1,4 EV. El arseniuro de galio se puede hacer en semi el aislamiento de los altos materiales de la resistencia con resistencia más arriba que el silicio y el germanio por más de tres órdenes de magnitud, que se pueden utilizar para hacer el substrato del circuito integrado, el detector infrarrojo, el detector del fotón del γ, el etc. Porque su movilidad de electrón es 5-6 mide el tiempo de más grande que el del silicio, ha sido ampliamente utilizada en dispositivos de la microonda y circuitos digitales de alta velocidad. El dispositivo de semiconductor hecho del GaAs tiene las ventajas de la resistencia el de alta frecuencia, da alta temperatura y baja de la temperatura, de poco ruido y fuerte de radiación. Además, puede también ser utilizado para hacer los dispositivos del efecto a granel.
Campo de la avería | ≈4·105 V/cm |
Electrones de la movilidad | cm2s de ≤8500 V-1s-1 |
Agujeros de la movilidad | cm2s de ≤400 V-1s-1 |
Electrones del coeficiente de difusión | ≤200 cm2/s |
Agujeros del coeficiente de difusión | ≤10 cm2/s |
Velocidad la termal del electrón | 4,4·105 m/s |
Velocidad la termal del agujero | 1,8·105m/s |
Movilidad y Hall Effect
La movilidad de pasillo del electrón contra la temperatura para
diverso doping nivela. 1. Curva inferior: Nd=5·1015cm-3; 2. curva del centro: Nd=1015cm-3; 3. Curva superior: Nd=5·1015cm-3 Para el GaAs débil dopado en la temperatura cerca de 300 K, movilidad de pasillo del electrón µH=9400 (300/T) cm2s de V-1 S1 |
Movilidad de pasillo del electrón contra la temperatura para los
diversos niveles y grados de doping de remuneración (temperaturas
altas): Abra los círculos: Nd=4Na=1.2·1017 cm-3; Cuadrados abiertos: Nd=4Na=1016 cm-3; Abra los triángulos: Nd=3Na=2·1015 cm-3; La curva sólida representa el cálculo para el GaAs puro Para el GaAs débil dopado en la temperatura cerca de 300 K, movilidad de deriva del electrón µn=8000 (300/T) 2/3 cm2 de V-1 S1 |
Movilidad de la deriva y de pasillo contra la concentración del
electrón para diversos grados de remuneración T= 77 K |
Movilidad de la deriva y de pasillo contra la concentración del
electrón para diversos grados de remuneración T= 300 K |
Fórmula aproximada para la movilidad de pasillo
. µn =ΜOH/(1+Nd·10-17) el 1/2, donde ΜOH≈9400 (cm2s de V-1 S1), Nd
en cm-3
Dependencia de la temperatura del factor de Pasillo para el n-tipo
puro GaAs en un campo magnético débil |
Dependencia de la temperatura de la movilidad de pasillo para tres
muestras de gran pureza |
Para el GaAs en las temperaturas cerca de 300 K, movilidad de pasillo del agujero
(cm2V-1s-1), (p - en cm-3)
Para el GaAs débil dopado en la temperatura cerca de 300 K,
movilidad de pasillo
µpH=400 (300/T) 2,3 (cm2s de V-1 S1).
La movilidad de pasillo del agujero contra densidad del agujero. |
En T= 300 K, el factor de Pasillo en el GaAs puro
rH=1.25.
Propiedades de transporte en altos campos eléctricos
Dependencias del campo de la velocidad de deriva del electrón. La curva sólida era calculada cerca. Las curvas estralladas y punteadas son los datos medidos, 300 K |
Coloque las dependencias de la velocidad de deriva del electrón
para los altos campos eléctricos, 300 K. |
Coloque las dependencias de la velocidad de deriva del electrón en
diversas temperaturas. |
Fracción de electrones en valles de L y de X. NL y nX en función
del campo eléctrico F en 77, 160, y 300 K, Nd=0 Curva punteada - L valles, curva rayada - valles de X. |
Energía mala E en valles de Γ, de L, y de X en función del campo
eléctrico F en 77, 160, y 300 K, Nd=0 Curva sólida - valles de Γ, curva punteada - L valles, curva estrallada - valles de X. |
Dependencias de la frecuencia de la movilidad del diferencial del
electrón. el µd es parte real de la movilidad diferenciada; pieza imaginaria de los µd*is de movilidad diferenciada. F= 5,5 kilovoltios cm-1 |
La dependencia del campo del coeficiente de difusión longitudinal
del electrón D||F. Las curvas 1 y 2 del sólido son cálculos teóricos. Las curvas rayadas 3, 4, y 5 son datos experimentales. Curva 1 - de Curva 2 - de Curva 3 - de Curva 4 - de Curva 5 - |
Coloque las dependencias de la velocidad de deriva del agujero en
diversas temperaturas. |
Dependencia de la temperatura de la velocidad del agujero de la
saturación en altos campos eléctricos |
La dependencia del campo del coeficiente de difusión del agujero. |
Ionización de impacto
Hay dos escuelas de pensamiento con respecto a la ionización de impacto en el GaAs.
Primer indica que el αi y el βi de las tarifas de la ionización de impacto para los electrones y los agujeros en el GaAs están sabidos exactamente bastante para distinguir tales detalles sutiles tales como el anisothropy del αi y del βi para diversas direcciones cristalográficas. Este acercamiento es descrito detalladamente en el trabajo por Dmitriev y otros [1987].
Αi y βi experimentales de las curvas contra 1/F para el GaAs. |
Αi y βi experimentales de las curvas contra 1/F para el GaAs. |
Αi y βi experimentales de las curvas contra 1/F para el GaAs. |
Los segundos focos de la escuela en los valores del αi y el βi para
el mismo campo eléctrico divulgado por diferente investigan
diferencian por un orden de magnitud o más. Este punto de vista es
explicado por Kyuregyan y Yurkov [1989]. Según este acercamiento
podemos asumir ese αi = βi. La fórmula aproximada para la
dependencia del campo de la ionización valora:
=αoexp del αi = del β i [δ - (δ2 + (F0/F) 2) el 1/2]
donde αo = 0,245·106 cm-1; β = 57,6 FO = 6,65·106 V cm-1 (Kyuregyan
y Yurkov [1989]).
Voltaje de avería y campo de la avería contra el doping de la densidad para un empalme precipitado del p-n. |
Parámetro de la recombinación
N-tipo puro material (ningún ~ 1014cm-3) | |
El curso de la vida más largo de agujeros | τp ~3·10-6 s |
Longitud de difusión Lp = (DP·τp) el 1/2 | Μm del Lp ~30-50. |
P-tipo puro material | |
(a) nivel bajo de la inyección | |
El curso de la vida más largo de electrones | τn ~ 5·10-9 s |
Longitud de difusión Ln = (Dn·τ n) el 1/2 | Μm de Ln ~10 |
(b) alto nivel de la inyección (trampas llenadas) | |
El curso de la vida más largo de electrones | τ ~2,5·10-7 s |
Longitud de difusión Ln | Ln ~ µm 70 |
Velocidad de recombinación superficial contra el doping de densidad Diversos puntos experimentales corresponden a diversos métodos de tratamiento superficial. |
Coeficiente radiativo de la recombinación
90 K | 1,8·10-8cm3/s |
185 K | 1,9·10-9cm3/s |
300 K | 7,2·10-10cm3/s |
Coeficiente del taladro
300 K | ~10-30cm6/s |
500 K | ~10-29cm6/s |
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