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pureza elevada 4H semi que aísla sic la oblea, grado de la producción, 3" tamaño, concentración de portador baja
PAM-XIAMEN proporciona la industria electrónica y optoelectrónica de alta calidad del waferfor del solo cristal sic (carburo de silicio). Sic la oblea es propiedades eléctricas únicas de la siguiente generación de un materialwith del semiconductor y propiedades termales excelentes para la aplicación para dispositivos de la temperatura alta y del poder más elevado. Sic la oblea se puede suministrar en diámetro 2~6 pulgadas, 4H y 6H sic, N-tipo, nitrógeno dopado, y tipo semiaislante disponible. Éntrenos en contacto con por favor para más información
Pureza elevada semi que aísla sic la oblea: Debido al hueco de banda amplio, la concentración de portador intrínseco sic de oblea es muy baja en la temperatura ambiente. Este valor está sobre 0.13cm-3 para 3C sic, sobre 5x10^-2cm2 para 4H sic y sobre 1x10^- 6 cm-3 para 6H sic. Ésta es la razón principal por la que los dispositivos sic electrónicos pueden trabajar en la temperatura alta y la corriente de la salida es muy pequeña.
PROPIEDADES MATERIALES DEL CARBURO DE SILICIO
Polytype | Solo cristal 4H | Solo cristal 6H |
Parámetros del enrejado | a=3.076 Å | a=3.073 Å |
c=10.053 Å | c=15.117 Å | |
Amontonamiento de secuencia | ABCB | ABCACB |
Banda-Gap | eV 3,26 | eV 3,03 |
Densidad | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
Therm. Coeficiente de la extensión | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
Índice de la refracción | ningunos = 2,719 | ningunos = 2,707 |
ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
Constante dieléctrica | 9,6 | 9,66 |
Conductividad termal | 490 W/mK | 490 W/mK |
Campo eléctrico de la avería | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
Velocidad de deriva de la saturación | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
Movilidad de electrón | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
movilidad de agujero | 115 cm2/V·S | 90 cm2/V·S |
Dureza de Mohs | ~9 | ~9 |
pureza elevada 4H semi que aísla sic la oblea, grado de la
producción, 3" tamaño
PROPIEDAD DEL SUBSTRATO | S4H-51-SI-PWAM-250 S4H-51-SI-PWAM-330 S4H-51-SI-PWAM-430 |
Descripción | Substrato del grado 4Hde la producciónSEMI |
Polytype | 4H |
Diámetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
Grueso | (250 ± 25) μm del μm del μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
Resistencia (RT) | >1E5 Ω·cm |
Aspereza superficial | < 0=""> |
FWHM | <30 arcsec=""> |
Densidad de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
Orientación superficial | |
En el ± <0001>0.5° del eje | |
Del eje 3.5° hacia <11-20>el ± 0.5° | |
Orientación plana primaria | Sea paralelo a {el ± 5° de 1-100} |
Longitud plana primaria | ± 16,00 1,70 milímetros |
Si-cara plana secundaria de la orientación: el 90° cw. del ± plano 5° de la orientación | |
C-cara: CCW del 90°. del ± plano 5° de la orientación | |
Longitud plana secundaria | ± 8,00 1,70 milímetros |
Final superficial | Cara simple o doble pulida |
Empaquetado | Sola caja de la oblea o caja multi de la oblea |
Área usable | ≥ el 90% |
Exclusión del borde | 1 milímetro |
Crecimiento sic cristalino
El crecimiento cristalino a granel es la técnica para la fabricación de substratos monocristalinos, haciendo la base para el proceso adicional del dispositivo. Para tener una brecha en sic tecnología necesitamos obviamente la producción sic de substrato con un process.6H- reproductivo y sic los cristales 4H- se crecen en crisoles del grafito en las temperaturas altas hasta 2100-2500°C. que la temperatura de funcionamiento en el crisol es proporcionada por la calefacción inductiva (RF) o resistente. El crecimiento ocurre en sic las semillas finas. La fuente representa sic la carga policristalina del polvo. Sic el vapor en la cámara de crecimiento consiste en principalmente tres especies, a saber, Si, Si2C, y SiC2, que son diluidos por el gas portador, por ejemplo, argón. Sic la evolución de la fuente incluye la variación de tiempo de la porosidad y del diámetro del gránulo y la grafitización de los gránulos del polvo.
Crecimiento de 3C-SiC en los substratos de la área extensa
(silicio)
A pesar de la ausencia sic de substratos, las ventajas potenciales
sic de la electrónica del hostil-ambiente sin embargo condujeron la
obtención dirigida modesta de esfuerzos de investigación sic en una
forma manufacturable de la oblea. Hacia este extremo, el
crecimiento heteroepitaxial de monocristal sic acoda encima de
siliconsubstrates de la área extensa primero fue realizado en 1983,
y seguido posteriormente por grandes muchos otros a lo largo de los
años usando una variedad de técnicas del crecimiento. Sobre todo
debido a diferencias grandes en el enrejado constante (diferencia
del ~20% en medio sic y Si) y el coeficiente de la extensión termal
(diferencia del ~8%), heteroepitaxy de sic usando el silicio como
substrato da lugar siempre al crecimiento de 3C-SiC con un muy de
alta densidad de defectos estructurales cristalográficos tales como
faltas de amontonamiento, microtwins, y límites del ámbito de la
inversión. Otros materiales de la oblea del largearea además del
silicio (tal como zafiro, silicio-en-aislador, y tic) se han
empleado como los substratos para el crecimiento heteroepitaxial
sic de epilayers, pero las películas resultantes han estado de
calidad del comparablypoor con altas densidades cristalográficas
del defecto. El acercamiento más prometedor 3C-SiC-on-silicon hasta
la fecha que ha alcanzado la densidad cristalográfica más baja del
defecto implica el uso de los substratos de silicio ondulantes. Sin
embargo, incluso con este altamente nuevo enfoque, las densidades
de dislocación siguen siendo muy altas comparadas a las obleas
hexagonales del silicio y del bulto sic.
Mientras que algunos dispositivos electrónicos y circuitos del
semiconductor limitado se han ejecutado en 3C-SiC crecidos en el
silicio, el funcionamiento de estos electrónica (a partir de esta
escritura) se puede resumir según lo limitado seriamente por la
alta densidad de defectos cristalográficos al grado que no se ha
observado casi ningunas de las ventajas operativas discutidas en la
sección 5,3 viable. Entre otros problemas, los defectos cristalinos
“se escapan” la corriente parásita a través de los empalmes
reverso-en polarización negativa del dispositivo donde el flujo
actual no se desea. Porque los defectos cristalinos excesivos
llevan a los defectos del dispositivo eléctrico, no hay hasta ahora
electrónica comercial manufacturada en 3C-SiC crecido en los
substratos de la área extensa. Así, 3C-SiC crecido en el silicio
tiene actualmente más potencial pues un material mecánico en los
usos microelectromecánicos de los sistemas (MEMS) (sección 5.6.5)
en vez de ser utilizado puramente como semiconductor en electrónica
de estado sólido tradicional del transistor.