Tipo sic oblea, grado de la investigación, Epi listo, 2" de C (0001) 6H N tamaños

Brand Name:PAM-XIAMEN
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tipo sic oblea, grado de la investigación, Epi listo, 2" de 6H N tamaños
 
PAM-XIAMEN ofrece las obleas del carburo de silicio del semiconductor, 6HSiC y 4H sic en diversos grados de calidad para los fabricantes del investigador y de la industria. Hemos desarrollado la tecnología del crecimiento sic cristalino y la tecnología de proceso de la oblea sic cristalina, establecidas una cadena de producción al fabricante SiCsubstrate, que se aplica en GaNepitaxydevice, powerdevices, dispositivo de alta temperatura y dispositivos optoelectrónicos. Como dedican a una compañía profesional invertida por los fabricantes principales de los campos de los institutos materiales avanzados y de alta tecnología de la investigación y del estado y del laboratorio del semiconductor de China, nosotros para mejorar continuamente la calidad actualmente de substratos y para desarrollar los substratos de gran tamaño.
Aquí muestra la especificación de detalle
 
Aquí muestra la especificación de detalle:
PROPIEDADES MATERIALES DEL CARBURO DE SILICIO
 

PolytypeSolo cristal 4HSolo cristal 6H
Parámetros del enrejadoa=3.076 Åa=3.073 Å
 c=10.053 Åc=15.117 Å
Amontonamiento de secuenciaABCBABCACB
Banda-GapeV 3,26eV 3,03
Densidad3,21 · 103 kg/m33,21 · 103 kg/m3
Therm. Coeficiente de la extensión4-5×10-6/K4-5×10-6/K
Índice de la refracciónningunos = 2,719ningunos = 2,707
 ne = 2,777ne = 2,755
Constante dieléctrica9,69,66
Conductividad termal490 W/mK490 W/mK
Campo eléctrico de la avería2-4 · 108 V/m2-4 · 108 V/m
Velocidad de deriva de la saturación2,0 · 105 m/s2,0 · 105 m/s
Movilidad de electrón800 cm2/V·S400 cm2/V·S
movilidad de agujero115 cm2/V·S90 cm2/V·S
Dureza de Mohs~9~9

 
 
tipo sic oblea, grado de la investigación, Epi listo, 2" de 6H N tamaños
 
 

PROPIEDAD DEL SUBSTRATOS6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430
DescripciónSubstrato del grado 6H de la investigación sic
Polytype6H
Diámetro(50,8 ± 0,38) milímetro
Grueso(250 ± 25) μm del μm del μm (330 ± 25) (430 ± 25)
Tipo del portadorn-tipo
DopanteNitrógeno
Resistencia (RT)0,02 ~ 0,1 Ω·cm
Aspereza superficial< 0,5 nanómetros (CMP de la Si-cara Epi-listo); <1 nanómetro (pulimento óptico de la cara de la c)
FWHMarco segundo <50
Densidad de MicropipeA+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
Orientación superficial
En eje<0001>± 0.5°
De eje3.5° hacia <11-20>± 0.5°
Orientación plana primaria± 5° del paralelo {1-100}
Longitud plana primaria± 16,00 1,70 milímetros
Orientación plana secundariaSi-cara: el 90° cw. del ± plano 5° de la orientación
C-cara: CCW del 90°. del ± plano 5° de la orientación
Longitud plana secundaria± 8,00 1,70 milímetros
Final superficialCara simple o doble pulida
EmpaquetadoSola caja de la oblea o caja multi de la oblea
Área usable≥ el 90%
Exclusión del borde1 milímetro

 
Crecimiento sic cristalino
El crecimiento cristalino a granel es la técnica para la fabricación de substratos monocristalinos, haciendo la base para el proceso adicional del dispositivo. Para tener una brecha en sic tecnología necesitamos obviamente la producción sic de substrato con un process.6H- reproductivo y sic los cristales 4H- se crecen en crisoles del grafito en las temperaturas altas hasta 2100-2500°C. que la temperatura de funcionamiento en el crisol es proporcionada por la calefacción inductiva (RF) o resistente. El crecimiento ocurre en sic las semillas finas. La fuente representa sic la carga policristalina del polvo. Sic el vapor en la cámara de crecimiento consiste en principalmente tres especies, a saber, Si, Si2C, y SiC2, que son diluidos por el gas portador, por ejemplo, argón. Sic la evolución de la fuente incluye la variación de tiempo de la porosidad y del diámetro del gránulo y la grafitización de los gránulos del polvo.
 
parámetro del enrejado
El constante del enrejado, o el parámetro del enrejado, refiere a la distancia constante entre las células de unidad en un enrejado cristalino. Los enrejados en tres dimensiones tienen generalmente tres constantes del enrejado, designados a, b, y la C. Sin embargo, en la caja especial de estructuras cristalinas cúbicas, todos los constantes son iguales y referimos solamente al A. Semejantemente, en estructuras cristalinas hexagonales, los constantes de un andb son iguales, y referimos solamente a los constantes de a y de c. Un grupo de constantes del enrejado se podía referir como parámetros del enrejado. Sin embargo, el sistema completo de parámetros del enrejado consiste en los tres constantes del enrejado y los tres ángulos entre ellos.
Por ejemplo el enrejado constante para un diamante común del carbono está a = 3.57Å en 300 K. La estructura es equilateral aunque su forma real no pueda ser resuelta solamente del constante del enrejado. Además, en usos reales, el constante medio del enrejado se da típicamente. Pues los constantes del enrejado tienen la dimensión de la longitud, su unidad del SI es el metro. Los constantes del enrejado están típicamente por orden de varios angstromes (es decir décimos del los nanómetros). Los constantes del enrejado pueden ser resueltos usando técnicas tales como difracción de radiografía o con un microscopio atómico de la fuerza.
En crecimiento epitaxial, el constante del enrejado es una medida de la compatibilidad estructural entre diversos materiales. El hacer juego constante del enrejado es importante para el crecimiento de capas delgadas de materiales en otros materiales; cuando diferencian los constantes, las tensiones se introducen en la capa, que previene el crecimiento epitaxial de capas más gruesas sin defectos. 

 





















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