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tipo sic oblea, grado de la investigación, Epi listo, 2" de 6H N
tamaños
PAM-XIAMEN ofrece las obleas del carburo de silicio del
semiconductor, 6HSiC y 4H sic en diversos grados de calidad para
los fabricantes del investigador y de la industria. Hemos
desarrollado la tecnología del crecimiento sic cristalino y la tecnología de proceso de la oblea sic cristalina, establecidas una cadena de producción al fabricante SiCsubstrate,
que se aplica en GaNepitaxydevice, powerdevices, dispositivo de
alta temperatura y dispositivos optoelectrónicos. Como dedican a
una compañía profesional invertida por los fabricantes principales
de los campos de los institutos materiales avanzados y de alta
tecnología de la investigación y del estado y del laboratorio del
semiconductor de China, nosotros para mejorar continuamente la
calidad actualmente de substratos y para desarrollar los substratos
de gran tamaño.
Aquí muestra la especificación de detalle
Aquí muestra la especificación de detalle:
PROPIEDADES MATERIALES DEL CARBURO DE SILICIO
| Polytype | Solo cristal 4H | Solo cristal 6H |
| Parámetros del enrejado | a=3.076 Å | a=3.073 Å |
| c=10.053 Å | c=15.117 Å | |
| Amontonamiento de secuencia | ABCB | ABCACB |
| Banda-Gap | eV 3,26 | eV 3,03 |
| Densidad | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
| Therm. Coeficiente de la extensión | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
| Índice de la refracción | ningunos = 2,719 | ningunos = 2,707 |
| ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
| Constante dieléctrica | 9,6 | 9,66 |
| Conductividad termal | 490 W/mK | 490 W/mK |
| Campo eléctrico de la avería | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
| Velocidad de deriva de la saturación | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
| Movilidad de electrón | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
| movilidad de agujero | 115 cm2/V·S | 90 cm2/V·S |
| Dureza de Mohs | ~9 | ~9 |
tipo sic oblea, grado de la investigación, Epi listo, 2" de 6H N
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| PROPIEDAD DEL SUBSTRATO | S6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430 |
| Descripción | Substrato del grado 6H de la investigación sic |
| Polytype | 6H |
| Diámetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
| Grueso | (250 ± 25) μm del μm del μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
| Tipo del portador | n-tipo |
| Dopante | Nitrógeno |
| Resistencia (RT) | 0,02 ~ 0,1 Ω·cm |
| Aspereza superficial | < 0,5 nanómetros (CMP de la Si-cara Epi-listo); <1 nanómetro (pulimento óptico de la cara de la c) |
| FWHM | arco segundo <50 |
| Densidad de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| Orientación superficial | |
| En eje | <0001>± 0.5° |
| De eje | 3.5° hacia <11-20>± 0.5° |
| Orientación plana primaria | ± 5° del paralelo {1-100} |
| Longitud plana primaria | ± 16,00 1,70 milímetros |
| Orientación plana secundaria | Si-cara: el 90° cw. del ± plano 5° de la orientación |
| C-cara: CCW del 90°. del ± plano 5° de la orientación | |
| Longitud plana secundaria | ± 8,00 1,70 milímetros |
| Final superficial | Cara simple o doble pulida |
| Empaquetado | Sola caja de la oblea o caja multi de la oblea |
| Área usable | ≥ el 90% |
| Exclusión del borde | 1 milímetro |
Crecimiento sic cristalino
El crecimiento cristalino a granel es la técnica para la
fabricación de substratos monocristalinos, haciendo la base para el
proceso adicional del dispositivo. Para tener una brecha en sic
tecnología necesitamos obviamente la producción sic de substrato
con un process.6H- reproductivo y sic los cristales 4H- se crecen
en crisoles del grafito en las temperaturas altas hasta
2100-2500°C. que la temperatura de funcionamiento en el crisol es
proporcionada por la calefacción inductiva (RF) o resistente. El
crecimiento ocurre en sic las semillas finas. La fuente representa
sic la carga policristalina del polvo. Sic el vapor en la cámara de
crecimiento consiste en principalmente tres especies, a saber, Si,
Si2C, y SiC2, que son diluidos por el gas portador, por ejemplo,
argón. Sic la evolución de la fuente incluye la variación de tiempo
de la porosidad y del diámetro del gránulo y la grafitización de
los gránulos del polvo.
parámetro del enrejado
El constante del enrejado, o el parámetro del enrejado, refiere a
la distancia constante entre las células de unidad en un enrejado
cristalino. Los enrejados en tres dimensiones tienen generalmente
tres constantes del enrejado, designados a, b, y la C. Sin embargo,
en la caja especial de estructuras cristalinas cúbicas, todos los
constantes son iguales y referimos solamente al A. Semejantemente,
en estructuras cristalinas hexagonales, los constantes de un andb
son iguales, y referimos solamente a los constantes de a y de c. Un
grupo de constantes del enrejado se podía referir como parámetros
del enrejado. Sin embargo, el sistema completo de parámetros del
enrejado consiste en los tres constantes del enrejado y los tres
ángulos entre ellos.
Por ejemplo el enrejado constante para un diamante común del
carbono está a = 3.57Å en 300 K. La estructura es equilateral
aunque su forma real no pueda ser resuelta solamente del constante
del enrejado. Además, en usos reales, el constante medio del
enrejado se da típicamente. Pues los constantes del enrejado tienen
la dimensión de la longitud, su unidad del SI es el metro. Los
constantes del enrejado están típicamente por orden de varios
angstromes (es decir décimos del los nanómetros). Los constantes
del enrejado pueden ser resueltos usando técnicas tales como
difracción de radiografía o con un microscopio atómico de la
fuerza.
En crecimiento epitaxial, el constante del enrejado es una medida
de la compatibilidad estructural entre diversos materiales. El
hacer juego constante del enrejado es importante para el
crecimiento de capas delgadas de materiales en otros materiales;
cuando diferencian los constantes, las tensiones se introducen en
la capa, que previene el crecimiento epitaxial de capas más gruesas
sin defectos.