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2 pulgadas GaN sin impurificar en los substratos del zafiro para el
LED y la tecnología de estado sólido de la iluminación
Los productos de la plantilla de PAM-XIAMEN consisten en capas
cristalinas de nitruro del galio (GaN), de nitruro de aluminio
(AlN), de nitruro de aluminio del galio (AlGaN) y de nitruro del
galio del indio (InGaN), que se depositan en los substratos del
zafiro. Los productos de la plantilla de PAM-XIAMEN permiten 20-50%
duraciones de ciclo más cortas de la epitaxia y capas epitaxiales
más de alta calidad del dispositivo, con una mejor calidad
estructural y una conductividad termal más alta, que pueden mejorar
los dispositivos en el coste, el beneficio, y el funcionamiento.
El PAM-XIAMEN'sGaN en plantillas del zafiro está disponible en
diámetros a partir de la 2" hasta 6", y consiste en una capa
delgada de GaN cristalino crecida en un substrato del zafiro.
plantillas Epi-listas ahora disponibles.
Aquí muestra la especificación de detalle:
2inch substratos sin impurificar de GaN/del zafiro
Artículo | PAM-T-GaN-50-U |
Dimensión | 50,8 ±0.1 milímetro |
Grueso | μm 5 ±1 |
Orientación de GaN | Avión de C (0001) del ángulo hacia Uno-AXIS 0,2 ±0.1° |
Plano de la orientación de GaN | (1-100) 0 ±0.2°, 16 ±1 milímetro |
Tipo de la conducción | N-tipo |
Resistencia (300K) | < 0=""> |
Concentración de portador | <5x10>17CM-3 |
Movilidad | ~ 300cm2/V·s |
Densidad de dislocación | < 5x10="">8cm-2 (estimado por FWHMs de XRD) |
Estructura | 5 ±1 μm GaN/~ 50 zafiro del μm del almacenador intermediario layer/430 ±25 del uGaN del nanómetro |
Orientación del zafiro | Avión de C (0001) del ángulo hacia M-AXIS 0,2 ±0.1° |
Plano de la orientación del zafiro | (11-20) 0 ±0.2°, 16 ±1 milímetro |
Aspereza superficial: | Parte delantera: Lado<0> de RaBack: grabado al agua fuerte o pulido. |
Área usable | > el 90% (exclusión de los defectos del borde y de la macro) |
Paquete | cada uno en solo envase de la oblea, bajo atmósfera del nitrógeno, llena en sitio limpio de la clase 100 |
2inch substratos sin impurificar de GaN/del zafiro
Informe de FWHM y de XRD
Un informe de prueba es necesario mostrar la conformidad entre la
descripción de encargo y nuestros datos finales de las obleas.
Probaremos el characerization de la oblea por el equipo antes del
envío, probando la aspereza superficial por el microscopio atómico
de la fuerza, el tipo por el instrumento romano de los espectros,
la resistencia por el equipo de prueba sin contacto de resistencia,
la densidad del micropipe por el microscopio de polarización, la
orientación por la radiografía Orientator etc. si las obleas
cumplen el requisito, nosotros limpiaremos y embalarlos en sitio
limpio de 100 clases, si las obleas no hacen juego espec. de la
aduana, la quitaremos.
Proyecto de la prueba: Proyecto de FWHM y de XRD
El de ancho total de media altura (FWHM) es una expresión de la
gama de funciones dadas por la diferencia entre dos valores
extremos de la variable independiente igual a la mitad de su
máximo. Es decir es la anchura de la curva espectral medida entre
esos puntos en Y-AXIS, que es mitad de la amplitud máxima.
Abajo está un ejemplo de FWHM y de XRD de la plantilla de AlN:
FWHM y XRD de la plantilla de AlN
FWHM y XRD de la plantilla de AlN
Aquí mostramos el experimento como un ejemplo:
Experimento en GaN en el zafiro: Propiedades optoelectrónicas y
caracterización estructural de las películas gruesas de GaN en
diversos substratos con la deposición del laser pulsado:
Experimento en GaN en el zafiro: Propiedades optoelectrónicas y
caracterización estructural de las películas gruesas de GaN en
diversos substratos con la deposición del laser pulsado:
Todas las muestras de la película de GaN fueron depositadas en
diversos substratos por PLD en el ◦C 1000 en una atmósfera ambiente
del plasma del nitrógeno. La cámara fue bombeada abajo a los torres
10−6 antes de que el proceso de la deposición comenzara, y el gas
del N2 (con una pureza de 99,999%) fue introducido. La presión de
funcionamiento una vez que el plasma del N2 fue inyectada era el
torr 1,13 del × 10−4. Un laser del excímero de KrF (λ = 248
nanómetro, lambda Physik, Fort Lauderdale, FL, los E.E.U.U.) fue
empleado como la fuente de la ablación y actuado con un índice de
la repetición de 1 herzios y de una energía de pulso de 60 mJ. La
tasa de crecimiento media de la película de GaN era aproximadamente
1 µm/h. El de rayo láser era incidente en una blanco giratoria en
ángulo de 45◦. La blanco de GaN fue fabricada por HVPE y el sistema
en una distancia fija de 9 cm del substrato antes de ser girada en
30 RPM durante la deposición de la película. En este caso, ~4
películas µm-gruesas de GaN fueron crecidas en una plantilla de
GaN/del zafiro (muestra A), zafiro (muestra B), Si (111) (la
muestra C), y Si (100) (la muestra D). Para el GaN en la muestra A,
una capa de los 2-µm GaN en primer lugar fue depositada en el
substrato del zafiro por el MOCVD. La microscopia electrónica de la
exploración (SEM, S-3000H, Hitachi, Tokio, Japón), el microcopy del
electrón de la transmisión (TEM, H-600, Hitachi, Tokio, Japón), la
microscopia atómica de la fuerza (AFM, DI-3100, Veeco, Nueva York,
NY, los E.E.U.U.), la difracción de radiografía del doble-cristal
(XRD, X'Pert FAVORABLE milirutherford, PANalytical, Almelo, los
Países Bajos), el photoluminescence a baja temperatura (PL,
Flouromax-3, Horiba, Tokio, Japón), y la espectroscopia de Raman
(Jobin Yvon, Horiba, Tokio, Japón) fueron empleados para explorar
la microestructura y las propiedades ópticas de las plantillas de
GaN depositadas en diversos substratos. Las propiedades eléctricas
de las películas de GaN fueron determinadas por la medida de Van
der Pauw-Pasillo debajo del nitrógeno líquido que se refrescaba en
77 K
El cuadro 2 muestra una comparación de los modelos típicos de XRD
de 0002) películas de GaN (crecidas en diversos substratos. Puede
ser visto que hay una variación en el valor de FWHM (de los 0002)
picos de la difracción, y las intensidades del pico de la
difracción de GaN en los diversos substratos fueron obtenidas
aproximadamente 34,5 grados. La intensidad de GaN (0002) en muestra
A es la más fuerte entre todas las muestras, que indica que las
películas de GaN en la plantilla de GaN/del zafiro c-están
orientadas y tienen altamente mejor calidad cristalina. El FWHM de
GaN (0002) valora para las muestras A, B, C, y D fue medido en
0.19◦, 0.51◦, 0.79◦, y 1.09◦, respectivamente. Sin embargo, la
intensidad máxima de XRD aumenta mientras que FWHM disminuye; esto
se atribuye al aumento en el tamaño del cristalito debido a la
agregación de pequeños granos o al movimiento del límite de grano
durante el proceso del crecimiento. Puesto que el FWHM del pico de
la difracción de XRD está en relación con el tamaño de grano medio
del cristalito en la película [26], el tamaño de grano de GaN
crecido en los diversos substratos se calcula usando la ecuación de
Debye-Scherer [27]: D = 0.9λ/FWHMcosθ (1) donde está el tamaño D
del cristalito, λ es la longitud de onda de la radiografía, y el θ
es el ángulo de la difracción. Los tamaños del cristalito de las
muestras A, B, C, y D se estiman para ser 57, 20, 13, y 9
nanómetro, respectivamente. Estos resultados indican que la calidad
cristalina de las películas de GaN crecidas en las muestras A y B
es mejor que la de las películas crecidas en las muestras C y D.
Appl. Sci. 2017, 7, 87 3 de 9 GaN/plantillas del zafiro son
altamente ‐ de c orientado y tienen mejor calidad cristalina. El
FWHM de GaN (0002) valora para las muestras A, B, C, y D fue medido
en 0.19°, 0.51°, 0.79°, y 1.09°, respectivamente. Sin embargo, la
intensidad máxima de XRD aumenta mientras que FWHM disminuye; esto
se atribuye al aumento en el tamaño del cristalito debido a la
agregación de pequeños granos o al movimiento del límite de grano
durante el proceso del crecimiento. Puesto que el FWHM del pico de
la difracción de XRD está en relación con el tamaño de grano medio
del cristalito en la película [26], el tamaño de grano de GaN
crecido en los diversos substratos se calcula usando la ecuación de
Scherer del ‐ de Debye [27]: D = 0.9λ/FWHMcos θ (1) donde está el
tamaño D del cristalito, λ es la longitud de onda del rayo del ‐ de
X, y el θ es el ángulo de la difracción. Los tamaños del cristalito
de las muestras A, B, C, y D se estiman para ser 57, 20, 13, y 9
nanómetro, respectivamente. Estos resultados indican que la c
Cuadro 2. resultados de las medidas de (XRD) de la difracción de
radiografía de las películas de GaN crecidas en diversos substratos
Conclusión: los lms gruesos del fi de GaN crecidos en una plantilla
de GaN/del zafiro, el zafiro, Si (111), y Si (100) por PLD de alta
temperatura. El efecto del substrato sobre calidad cristalina del
crecimiento de GaN, la morfología superficial, el comportamiento de
la tensión, y la propiedad del interfaz fueron estudiados, si usted
necesita más información de producto, nos investigan por favor.