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substrato libre semipolar del cristal de N-GaN GaN del avión (de 20-21)
PAM-XIAMEN ha establecido la tecnología de fabricación para (nitruro del galio) la oblea libre del substrato de GaN que está para UHB-LED y el LD. Crecido por la tecnología de (HVPE) de la epitaxia de la fase de vapor del hidruro, nuestro substrato de GaN tiene densidad baja del defecto y menos o densidad macra libre del defecto.
PAM-XIAMEN ofrece la gama completa de GaN y los materiales relacionados de III-N incluyendo los substratos de GaN de diversas orientaciones y conductividad eléctrica, las plantillas del crystallineGaN&AlN, y los epiwafers de encargo de III-N.
Aquí muestra la especificación de detalle:
substrato libre de N-GaN GaN del avión (de 20-21)
Artículo | PAM-FS-GaN (20-21) - N |
Dimensión | 5 x 10 milímetros2 |
Grueso | 350 ±25 µm del µm 430±25 |
Orientación | (20-21)/avión (de 20-2-1) del ángulo hacia Uno-AXIS 0 ±0.5° (20-21)/avión (de 20-2-1) del ángulo hacia C-AXIS -1 ±0.2° |
Tipo de la conducción | N-tipo |
Resistencia (300K) | < 0=""> |
TTV | µm del ≤ 10 |
ARCO | -10 µm del ≤ 10 del ARCO del ≤ del µm |
Aspereza superficial: | Parte delantera: Ra<0> Lado trasero: Tierra fina o pulido. |
Densidad de dislocación | A partir de la 1 de x 10 5 a 5 de x 106 cm-2 |
Densidad macra del defecto | 0 cm2s |
Área usable | > el 90% (exclusión del borde) |
Paquete | cada uno en solo envase de la oblea, bajo atmósfera del nitrógeno, llena en sitio limpio de la clase 100 |
substrato libre de N-GaN GaN del avión (de 20-21)
El substrato de GaN de PAM-XIAMEN (nitruro del galio) es substrato monocristal con de alta calidad, que se hace con método de HVPE y tecnología de proceso originales de la oblea. Son uniformidad arriba cristalina, buena, y calidad superficial superior. Los substratos de GaN se utilizan para muchas clases de usos, para LED blanco y LD (violeta, azul y verde), además el desarrollo ha progresado para el poder y las aplicaciones para dispositivos electrónicas de alta frecuencia.
GaN es un muy duro (12±2 GPa, material ancho mecánicamente estable del semiconductor del bandgap con capacidad de alto calor y conductividad termal. En su forma pura resiste el agrietarse y puede ser depositado en película fina en el carburo del zafiro o de silicio, a pesar de la unión mal hecha en sus constantes del enrejado. GaN se puede dopar con el silicio (Si) o con el n-tipo del oxígeno y con el p-tipo de (Mg) del magnesio. Sin embargo, cambio de los átomos del Si y del magnesio la manera que los cristales de GaN crecen, introduciendo tensiones extensibles y haciéndolas frágiles. Los compuestos de Galliumnitride también tienden a tener una alta densidad de dislocación, por orden de 108 a 1010 defectos por centímetro cuadrado. El comportamiento amplio de banda-Gap de GaN está conectado con los cambios específicos en la estructura de banda electrónica, el empleo de la carga y las regiones del vínculo químico.
Estructura cristalina de la blenda de cinc
Observaciones | Referens | ||
Huecos de energía, e.g. | eV 3,28 | 0 K | Bougrov y otros (2001) |
Huecos de energía, e.g. | eV 3,2 | 300 K | |
Afinidad de electrón | eV 4,1 | 300 K | |
Banda de conducción | |||
Separación de la energía entre el valle y los valles EΓ de Γde X | eV 1,4 | 300 K | Bougrov y otros (2001) |
Separación de la energía entre el valle y L valles ELde Γ | 1,6 eV del ÷ 1,9 | 300 K | |
Densidad eficaz de la banda de conducción de estados | 1,2 x 1018 cm-3 | 300 K | |
Banda de la valencia | |||
Energía de E que parte vuelta-orbitaltan | 0,02 eV | 300 K | |
Densidad eficaz de la banda de la valencia de estados | 4,1 x 1019 cm-3 | 300 K |
Estructura de banda de la blenda de cinc GaN (cúbico). Los mínimos importantes de la banda de conducción y de los máximos
de la valencia congriegan. 300K; E.g. eVeV =3.2; EVde EX= 4,6; EVde EL= 4.8-5.1; Etan = 0,02 eV Para los detalles vea Suzuki, Uenoyama y a Yanase (1995). |
Zona de Brillouin del enrejado cúbico centrado cara, del enrejado de Bravais del diamante y de las estructuras del zincblende. |