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La pureza es el índice principal del funcionamiento del material de blanco, porque la pureza del material de blanco tiene una gran influencia en el funcionamiento de la película.
Requisitos de funcionamiento principales del material de blanco:
La pureza es el índice principal del funcionamiento del material de
blanco, porque la pureza del material de blanco tiene una gran
influencia en el funcionamiento de la película. Sin embargo, en el
uso práctico, los requisitos de la pureza de la blanco no son lo
mismo. Por ejemplo, con el desarrollo rápido de la industria de la
microelectrónica, el tamaño del chip de silicio se ha desarrollado
a partir de la 6", 8" a 12", mientras que la anchura de conexión se
ha reducido de 0.5um a 0.25um, a 0.18um o aún a 0.13um.
Previamente, 99,995% de la pureza de la blanco pueden cumplir los
requisitos de proceso de 0.35um IC, mientras que la preparación de
la línea 0.18um requiere 99,999% o aún 99,9999% de la pureza de la
blanco.
Las impurezas en el sólido de la blanco y el vapor del oxígeno y de agua en los poros son las fuentes principales de la contaminación. Diversos materiales de blanco tienen diversos requisitos para diverso contenido de impureza. Por ejemplo, las blancos puras del aluminio y de la aleación de aluminio para la industria del semiconductor tienen diversos requisitos para el contenido alcalino-metálico y el contenido del elemento radiactivo.
Para reducir la porosidad en el sólido de la blanco y mejorar las
propiedades de películas farfulladas, la blanco se requiere
generalmente para tener una alta densidad. La densidad de la blanco
no sólo afecta a la tarifa de la farfulla, pero también afecta a
las propiedades eléctricas y ópticas de la película. Cuanto más
alta la densidad de la blanco es, mejor el funcionamiento de la
película es. Además, el aumento de la densidad y de la fuerza de la
blanco puede hacer que la blanco mejor soporta la tensión termal en
el proceso de la farfulla. La densidad es también el índice del
rendimiento clave de la blanco.
Generalmente, el material de blanco es estructura policristalina, y
el tamaño de grano puede ser de micrómetro al milímetro. Para la
misma clase de blanco, el índice de la farfulla de la blanco con
pequeño tamaño de grano es más rápido que el de la blanco con
tamaño de grano grande, mientras que la distribución del grueso de
la película depositada por la blanco con la pequeña diferencia del
tamaño de grano (distribución uniforme) es más uniforme.
Blanco de la farfulla del titanio, blanco 99,95% de la farfulla del titanio
esté disponible en tamaños diversos
D100x40mm, D65x6.35mm etc
Nombre de producto | Elemento | Purirty | ℃ del punto de fusión | Densidad (g/cc) | Formas disponibles |
Alta astilla pura | AG | 4N-5N | 961 | 10,49 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto aluminio puro | Al | 4N-6N | 660 | 2,7 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto oro puro | Au | 4N-5N | 1062 | 19,32 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto bismuto puro | BI | 5N-6N | 271,4 | 9,79 | Partícula, blanco |
Alto cadmio puro | Cd | 5N-7N | 321,1 | 8,65 | Partícula, blanco |
Alto cobalto puro | Co | 4N | 1495 | 8,9 | Partícula, blanco |
Alto cromo puro | Cr | 3N-4N | 1890 | 7,2 | Partícula, blanco |
Alto cobre puro | Cu | 3N-6N | 1083 | 8,92 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto ferro puro | FE | 3N-4N | 1535 | 7,86 | Partícula, blanco |
Alto germanio puro | GE | 5N-6N | 937 | 5,35 | Partícula, blanco |
Alto indio puro | En | 5N-6N | 157 | 7,3 | Partícula, blanco |
Alto magnesio puro | Magnesio | 4N | 651 | 1,74 | Alambre, partícula, blanco |
Alto magnesio puro | Manganeso | 3N | 1244 | 7,2 | Alambre, partícula, blanco |
Alto molibdeno puro | MES | 4N | 2617 | 10,22 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto niobio puro | NOTA | 4N | 2468 | 8,55 | Alambre, blanco |
Alto níquel puro | Ni | 3N-5N | 1453 | 8,9 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alta ventaja pura | Pb | 4N-6N | 328 | 11,34 | Partícula, blanco |
Alto Palladium puro | Paladio | 3N-4N | 1555 | 12,02 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto platino puro | Pinta | 3N-4N | 1774 | 21,5 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto silicio puro | Si | 5N-7N | 1410 | 2,42 | Partícula, blanco |
Alta lata pura | Sn | 5N-6N | 232 | 7,75 | Alambre, partícula, blanco |
Alto tantalio puro | TA | 4N | 2996 | 16,6 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto telurio puro | Te | 4N-6N | 425 | 6,25 | Partícula, blanco |
Alto titanio puro | Ti | 4N-5N | 1675 | 4,5 | Alambre, partícula, blanco |
Alto tungsteno puro | W | 3N5-4N | 3410 | 19,3 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto cinc puro | Zn | 4N-6N | 419 | 7,14 | Alambre, hoja, partícula, blanco |
Alto circonio puro | Zr | 4N | 1477 | 6,4 | Alambre, hoja, partícula, blanco |