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HiYi 1,0 CFM sin necesidad de mantenimiento flujo de 28,3 LPM para la bomba independiente de aire del contador remoto de la partícula
Bomba independiente para el contador remoto de la partícula
el flujo 1,0 CFM
El sistema de vigilancia del recinto limpio del FMS se utiliza principalmente para los parámetros ambientales de la supervisión en tiempo real en cuartos limpios y realización de las funciones del storge y de la gestión de los datos.
El sistema de vigilancia del recinto limpio del FMS puede realizar la supervisión en tiempo real de la limpieza, temperatura y humedad, diferencia de la presión, velocidad del viento y otros parámetros del sitio limpio.
Las entradas estándar incluyen: Contadores remotos de la partícula, dechado del aire, temperatura/humedad, presión diferenciada, analizador del ozono y entradas de la velocidad de aire. Cualquier dispositivo que tenga una salida analógica del trazador de líneas se puede integrar en el sistema.
La bomba independiente SP30 es una bomba externa para el sensor del contador de la partícula R310.