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Metros de flujo de masa de la alta exactitud, metro de flujo de alta calidad del gas 0 ~ 25slpm
Descripción
Los sensores de flujo total MF4001 se fabrican usando tecnología propietaria del sensor y del paquete de flujo de Shelok MEMS. El sensor se diseña especialmente para los usos de la gama de la tarifa del flujo bajo a partir 0~30 del sccm del sccm hasta 0~1000. El flujo máximo para cada modelo se fabrica vía el paquete especialmente diseñado así como el electonics elegante de modo que la sensibilidad óptima fuera alcanzada.
El recinto de empaquetado se hace del material chmically inerte y termalmente estable del policarbonato. El máximo sobre el grado de la presión es la barra 5 (73 PSI) que se beneficia de la estructura única del microprocesador del sensor de Shelok MEMS, de la tecnología de envasado especial y de la vivienda rugosa del sensor.
Especificación
Metros de flujo de masa de la alta exactitud, metro de flujo de alta calidad del gas 0 ~ 25slpm | ||
Modelo | Valor | Unidad |
Gama del flujo | 0~30, 100, 200, 500, 1000, o el cliente especificaron | sccm |
Ratio de la vuelta-abajo | >100:1 | |
Exactitud1 | ± (1.5+0.5 FS) | % |
Capacidad de la repetición | ±0.25 | % de la lectura |
Cambio nulo | ±30 | milivoltio |
Cambio de la salida | ±0.2 | %/℃ |
Tiempo de respuesta2 | 65 (defecto, 4, 8, 16, 33, 131 a elección | ms |
Salida | Linear: I2C,0.5~4.5VanálogoDC | |
Caída de presión3 | <>350 | PA |
Gama de presión | -0,08 ~ +0,5 | MPa |
Fuente de alimentación4 | 8~24 V DC, 20mA | |
Consumo de energía | <>120 | mW |
Temperatura de trabajo | -10 ~ +55 | ℃ |
Pernos hacia fuera | 5 Pin, centros de 2.54m m, cuadrado de 0,635 milímetros | |
Calibración5 | Aire @ 20℃, kPa 101,325 | |
Material de empaquetado | Policarbonato | |
Dimensiones | 62×52×12.8 | milímetro3 |
Peso | 15 | g |
Temperatura de almacenamiento | -20 ~ +65 | ℃ |
Humedad | <>Derecho del 95% (ninguna formación de hielo o condensación |
Notas:
1. denota el ± (1,5% Reading+0.5% completos). Para obtener la medida exacta del flujo, deje el calentamiento del sensor 1 minuto en el poder para arriba.
2. El tiempo de respuesta es determinado por tasa de muestreo del ADC y algoritmo de proceso de los datos. El tiempo de respuesta del defecto es el ms 65. Puede ser programado vía la comunicación RS232.
3. La caída de presión máxima se mide en el sccm 1000 del flujo. Para 500 sensores de flujo del sccm, la caída de presión será más pequeña. Para 30, 100 y 200 sensores de flujo del sccm, el tubo del flujo serán más pequeños, y la caída de presión máxima es <20 Pa="" at="" flow="" rate="" 200="" sccm="">
4. Una fuente de corriente continua es necesaria. La corriente de salida mínima requerida es 50mA. El sensor consume realmente menos que eso en funcionamiento.
5. calibraciones en otros gases disponibles a petición.
Imágenes detalladas
Dimensiones mecánicas
Selección del sensor
Características
! Gama baja del flujo total a partir del sccm el 0~30 hasta 0~1000sccm
! Exactitud excepcional del ±1.5%
! Respuesta rápida (ms 4 a elección)
! Barra hasta 5 del grado de la presión de R (73 PSI)
! Interfaz de usuario análoga y/o digital
! Instalación fácil
Usos
El MF4001 se puede utilizar en una amplia gama de usos inculding la instrumentación (e.g. espectrometría de masa de la CROMATOGRAFÍA GASEOSA), la detección de escape, el control de proceso, la metrología del flujo del gas así como usos médicos. El MF4001 requiere una fuente de alimentación de 8~24V DC y proporciona una interfaz de usuario análoga y/o digital. La salida analógica se lineariza a partir de la 0,5 a 4.5V DC que corresponde con el flujo a partir de la 0 a completo. La salida digital está vía RS232/12C. El protocolo de comunicación del RS232 y del I2C se puede encontrar en este manual.
La calibración se realiza generalmente con nitrógeno en el grado de la presión 20℃ y 101.325kPa. Puede no obstante ser calibrada con otros gases y condiciones por requerimientos.
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FAQ
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