Difusión del semiconductor de los elementos de calefacción de las obleas de silicio Mosi2 y hornos de LPCVD
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Elementos de calefacción MoSi2 para el SEMICONDUCTOR, la difusión y los hornos de LPCVD para las obleas de silicio
Introducción del elemento de calefacción MoSi2:
Los elementos de calefacción del disilicida del molibdeno (MoSi2) se utilizan en hornos eléctricos para entregar la calefacción en las temperaturas tan altas como 3,362ºF (1,850ºC). Utilizado en hornos de producción, el equipo de laboratorio, los usos de fusión y muchos otros de cristal, estos elementos están disponibles en varias diversas configuraciones y disponible con cree las opciones para requisitos particulares para cubrir las necesidades específicas de su instalación u operaciones.
PROPIEDADES ÚNICAS
- Los elementos de Moly-D se pueden utilizar hasta una temperatura superficial de 1800ºC (3270°F) en atmósferas oxidantes.
- La vida de servicio y la facilidad largas del reemplazo contribuyen a la alta utilización del horno y a los costes de mantenimiento bajos.
- Los nuevos y viejos elementos se pueden utilizar juntos y en serie.
- Puede disipar el cargamento del poder más elevado.
- Puede ser utilizado continuamente o intermitentemente.
- Proporcione ramping rápido de la temperatura del horno.
CARACTERÍSTICAS FÍSICAS
Los elementos de calefacción de Moly-D son fabricados por metalurgia de polvo. Consisten en el disilicida del molibdeno con los añadidos que previenen la recristalización. Puesto que Moly-D es totalmente estable hasta 1800ºC (3270°F), supera otros tipos del elemento de calefacción para el funcionamiento de alta temperatura.
La resistencia de los elementos de Moly-D a la oxidación miente en la formación de un cuarzo impermeable, o la capa protectora transparente que reforma cuando está calentada si en funcionamiento dañada.
El elemento de Moly-D tiene una resistencia eléctrica específica baja con una característica positiva de la resistencia-temperatura. Puede ser utilizado en un cargamento muy alto del vatio comparado a los elementos de calefacción metálicos. Debido a su resistencia de oxidación da alta temperatura, la resistencia eléctrica de Moly-D sigue siendo constante en la temperatura constante durante su vida útil. Esto permite el uso de viejos y nuevos elementos junto en el mismo horno, incluso si es en serie.
Característica de los elementos de calefacción del disilicida del molibdeno
1. Temperatura alta para los diversos hornos eléctricos.
2. la larga vida combinó fácilmente de substituir elementos
fallados
3. Puede ser utilizado continuamente o intermitentemente
4. Los nuevos y viejos elementos se pueden conectar en serie
5. la concentración del poder más elevado puede ser aplicada
Parámetros de los elementos de calefacción del disilicida del molibdeno
* forma: I, U, UL, W, WL, irregular
* diámetro: 3/6, 4/9, 6/12, 7/12, 7/14, 9/18, 12/24 (milímetro)
* temperatura: 1700°C, 1750°C, 1800℃
Propiedad física del molibdeno Rod del silicio:
| Propiedades físicas | ||||
| Densidad de volumen | Fuerza de la curva | Tarifa de la porosidad | Absorción de agua | Extensiblity caliente |
| ³ de los 5.5-5.6g/cm | cm2s 15-25kg/ | 7,4% | 1,2% | el 4% |
Oxígeno-resistencia bajo temperatura alta: en atmósfera oxidante, una capa de película protectora del cuarzo compacto se forma en la superficie del elemento debido a la combustión da alta temperatura, que evitan que Mosi2 oxide más. Cuando la temperatura del elemento es más alta del °C 1700, la película llega a ser de fusión. No es conveniente para el uso del tiempo largo en la gama de temperaturas de 400-700°C, si no, el elemento se pulverizará para la oxidación fuerte bajo baja temperatura.
Temperaturas máximas del elemento de calefacción MoSi2 en diversas atmósferas
| Atmósfera | Temperatura del elemento del máximo | |
| MS1700 | MS1800 | |
| Aire | 1700℃ | 1800℃ |
| Nitrógeno | 1600℃ | 1700℃ |
| Argón, helio | 1600℃ | 1700℃ |
| Hidrógeno | 1100-1450℃ | 1100-1450℃ |
| N2/H2 95/5% | 1250-1600℃ | 1250-1600℃ |
| Usos | Tratamiento térmico Forja Sinterización Fusión del vidrio Refinamiento Tubos radiantees | Hornos de laboratorio Equipo de prueba Hornos de producción des alta temperatura de la sinterización |
Especificación de los elementos de calefacción del silicio del molibdeno:
| Grado material | 1600/1700/1800/1850 |
| Forma | U, I, W, UL |
| Longitud caliente de la zona | 100-300m m |
| Longitud fría del final | 150-300m m |
| Diámetro | 6-9m m |
Detalles de los elementos de calefacción del disilicida del molibdeno
* la temperatura aplicable está entre 500-1700°C
* temperatura máxima 1800°C
* el elemento no se puede utilizar por tiempo bastante largo en
400-700°C
Caracteres de Rod del molibdeno:
1. diámetro: 3/6m m; 6/12m m; 9/18m m; 12/24m m
2. longitud: La longitud a partir del 150 hasta 700m m, Le length
del Lu a partir del 150 hasta 600m m, modificado para requisitos
particulares está disponible.
3. temperatura de la operación: de 500C a 1700.C. La temperatura
máxima puede hasta 1800.C
4. forma: Tipo de U; Tipo de W; tipo recto; L tipo
5. función: material de cerámica, magnético, vidrio, metalurgia,
horno del material de ignifugación.
El elemento de calefacción Mosi2 consiste en zona caliente y la
zona fría, el punto de soldadura es hermosa, suavemente, sin
topetón
Las ventajas de los elementos de calefacción del disilicida del
molibdeno:
1· Económico, claro y seguro.
2· Resistencia de oxidación superior, corrosión baja.
3· Poca deformación y mejor resplandor.
4· Vida de servicio larga, instalación fácil y mantenimiento.
5· Aplique eficientemente una amplia gama de productos y de
atmósferas
6. Nuestro transporte rápido y profesional:
Embalaje y envío:
Detalles de empaquetado: Embalado con la caja de la esponja y de la caja, y entonces póngala en caso de madera.
Plazo de ejecución: Enviado en 10 días después del transporte del pago: La mayoría por el aire.
Difusión del semiconductor de los elementos de calefacción de las obleas de silicio Mosi2 y hornos de LPCVD
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