Sustrato epitaxial de la oblea de SiC de la oblea de 4H SiC para los dispositivos fotónicos ISO9001

Number modelo:JDCD03-002-008
Lugar del origen:Suzhou China
Condiciones de pago:T/T
Plazo de expedición:3-4 días de la semana
Detalles de empaquetado:Envasado al vacío en un entorno de sala limpia de clase 10000, en casetes de 25 piezas o en contened
Nombre de producto:Oblea sic epitaxial
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Shanghai Shanghai China
Dirección: Edificio 11, carril 1333, avenida Jiangnan, ciudad de Changxing, distrito de Chongming, Shanghái
Proveedor Último login veces: Dentro de 2 Horas
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Detalles del producto

Oblea epitaxial 4H SiC ≤0,2 /Cm2 150,0 mm +0 mm/-0,2 mm 47,5 mm ± 1,5 mm

JDCD03-001-004


Descripción general

Una oblea epitaixal es una oblea de material semiconductor hecho por crecimiento epitaxial (llamado epitaxia) para su uso en la fabricación de dispositivos fotónicos y semiconductores como diodos emisores de luz (LED).Actualmente se utilizan varios métodos para hacer crecer la capa epitaxial sobre silicio existente u otras obleas: deposición de vapor químico orgánico metálico (MOCVD) y epitaxia de haz molecular (MBE), LPE, HVPE.


PropiedadGrado P-MOSGrado P-SBDGrado D
forma de cristal4H
politipoNinguno permitidoÁrea≤5%
(MPD)a≤0.2 /cm2≤0.5 /cm2≤5 /cm2
Placas hexagonalesNinguno permitidoÁrea≤5%
Policristal HexagonalNinguno permitido
InclusionesaÁrea≤0.05%Área≤0.05%N / A
Resistividad0,015Ω•cm—0,025Ω•cm0,015Ω•cm—0,025Ω•cm0,014 Ω•cm—0,028 Ω•cm
(EPD)a≤4000/cm2≤8000/cm32N / A
(TED)a≤3000/cm32≤6000/cm32N / A
(DBP)a≤1000/cm2≤2000/cm2N / A
(TSD)a≤600/cm2≤1000/cm2N / A
Error de apilamiento≤0.5% Área≤1% ÁreaN / A

Contaminación de superficies metálicas


(Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca, V, Mn) ≤1E11 cm-2

Diámetro150,0 mm +0 mm/-0,2 mm
Orientación de la superficieFuera del eje: 4 ° hacia <11-20> ± 0,5 °
Longitud plana primaria47,5 mm ± 1,5 mm
Longitud plana secundariaSin Piso Secundario
Orientación plana primariaParalelo a<11-20>±1°
Orientación plana secundariaN / A
Desorientación ortogonal±5,0°
Acabado de la superficieCara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP
borde de la obleabiselado

Rugosidad de la superficie

(10 μm × 10 μm)

Cara Si Ra≤0,20 nm ; Cara C Ra≤0,50 nm
Espesora350,0 μm± 25,0 μm
LTV (10 mm × 10 mm)a≤2 μm≤3 μm
(TTV)a≤6 μm≤10 μm
(ARCO)a≤15 μm≤25 μm≤40 μm
(Deformación)a≤25 μm≤40 μm≤60 μm
Fichas/SangríasNinguno permitido ≥0,5 mm de ancho y profundidadCant.2 ≤1,0 mm de ancho y profundidad

Arañazosa

(Si cara, CS8520)

≤5 y longitud acumulada≤0,5×diámetro de la oblea

≤5 y longitud acumulada≤1,5 × oblea

Diámetro

TUA (2 mm * 2 mm)≥98%≥95%N / A
GrietasNinguno permitido
ContaminaciónNinguno permitido
PropiedadGrado P-MOSGrado P-SBDGrado D
Exclusión de borde3 mm

Observación: se utiliza una exclusión de borde de 3 mm para los elementos marcados cona.


Sobre nosotros

Nos especializamos en el procesamiento de una variedad de materiales en obleas, sustratos y piezas de vidrio óptico personalizadas. Componentes ampliamente utilizados en electrónica, óptica, optoelectrónica y muchos otros campos.También hemos estado trabajando en estrecha colaboración con muchas universidades, instituciones de investigación y empresas nacionales y extranjeras, proporcionando productos y servicios personalizados para sus proyectos de I+D.Nuestra visión es mantener una buena relación de cooperación con todos nuestros clientes gracias a nuestra buena reputación.


Preguntas más frecuentes

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Somos fábrica.
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Sustrato epitaxial de la oblea de SiC de la oblea de 4H SiC para los dispositivos fotónicos ISO9001

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