GS600SW Máquina de distribución a nivel de obleas RDL Primera aplicación de CUF WLP para la forma de obleas bajo relleno
Número de modelo:GS600SW
Lugar de origen:China.
Cantidad mínima de pedido:1
Condiciones de pago:El número de personas a las que se refiere el apartado 1 del presente artículo será igual al número
Tiempo de entrega:Entre 5 y 60 días
Detalles del embalaje:De madera
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Changzhou Jiangsu China
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No. 18-98, Changwu Middle Road, distrito de Wujin, ciudad de Changzhou, provincia de Jiangsu
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El número de SS101Ofras-Nivel Distribución Máquina
Para el relleno bajo en forma de obleas
SS101 es un sistema de distribución de nivel de obleas de alta estabilidad y precisión que se ha desarrollado en base a los requisitos del proceso de relleno de RDL First WLP.
El equipo satisface las necesidades de la industria de semiconductores, puede estar provisto de un sistema automático de carga y descarga de obleas y puede realizar automáticamente funciones como el manejo de obleas,alineación Es compatible con los protocolos internacionales de comunicación de semiconductores.y está provisto de una interfaz automática de robot de carga y descarga AMHS para que coincida con el
requisitos de gestión de la información y tendencias de gestión no
tripulada.
SS101 Diseño del sistema
¢ Alineación
Estación de escaneo de códigos QR
Estación de precalentamiento
Estación de disipación de calor
Estación de trabajo de la máquina dispensadora GS600SWB Estación de trabajo de la máquina dispensadora
El módulo de manipulación del robot
Composición del sistema de distribución a nivel de obleas SS101
- GS600SW máquina dispensadora a nivel de obleas × 2
- PC101 máquina de carga y descarga de obleas × 1
Áreas de aplicación
- RDL Primer PDL
- Aplicación de las CUF
SS101 Flujo de operación de distribución a nivel de oblea
Características y ventajas
- Apoyo a la distribución de obleas de 8/12 pulgadas.
- Nivel 10 a prueba de polvo, que cumple los requisitos medioambientales de los envases a nivel de obleas.
- Protección de los DEA que cumple con las normas internacionales IEC y ANSI.
- En todo el proceso de rotación y operación de las obleas, la temperatura se controla con precisión y se corrige automáticamente para cumplir con los requisitos del proceso CUF, garantizando al mismo tiempo la seguridad del producto.
- La monitorización por video de todo el proceso facilita la rotación del producto, la observación del proceso de operación y el seguimiento y análisis de problemas
Especificaciones técnicas
| Sistema SS101 | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Máquina de manipulación de obleas * 1 (EFEM) | |
| Áreas de aplicación | RDL Primer WLP, CUFAplicación | |
| Nivel de limpieza | Limpieza del área de trabajo | Clase 100 (taller de la clase 1000) Clase 10 (taller de la clase 100) |
Áreas de aplicación del producto | Apoyo para el tamaño de la oblea | Para los vehículos de las categorías M1, M2 y N3 (El modelo estándar admite sólo obleas de 12 pulgadas) |
| Apoyo para el grosor de la oblea | 300-2550 μm | |
| Rango máximo permitido de la oblea de la curva | < 5 mm (según el tipo de dedo robótico) | |
| Peso máximo admisible de la oblea | 600 g (según el tipo de Dedo Robótico) | |
| En forma de casete de obleas | 8 pulgadas de caja abierta, 12 pulgadas de Foup (modelo estándar admite sólo obleas de 12 pulgadas) | |
PC101 (EFEM) | Método de carga y descarga | Puerto de carga+robots |
| Precisión del pre-alineador | Desviación de corrección del centro redondo≤±0,1 mm; Desviación de corrección del ángulo≤±0,2 ° | |
| Lector de obleas | Soporta fuentes SEMI (superficies planas o cóncavas/convexas), fuentes no SEMI | |
| Rango de temperaturas de precalentamiento | Temperatura ambiente ~ 180°C | |
| Método de enfriamiento de las obleas | Refrigeración natural o refrigeración por aire | |
Sistema de movimiento distribuidor | Mecanismos de transmisión | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Repetibilidad | Se aplicarán las medidas siguientes: | |
| Precisión de posicionamiento | Se aplicarán las siguientes medidas: | |
| Velocidad máxima de movimiento | Se aplicará el procedimiento de ensayo de la norma de seguridad de los vehículos. | |
| Velocidad máxima acelerada | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. | |
Sistema de visión | Píxeles de la cámara | de energía de 130 W |
| Precisión de reconocimiento | El valor de la luz de la pantalla | |
| Rango de reconocimiento | 12 × 16 mm< 19,2 × 25,6 mm | |
| Fuente de luz | Fuente de luz combinada de tres colores rojo, verde, blanco + rojo | |
| Sistema de calibración de pesaje | Precisión del pesaje | 00,01 mg |
Cubierta de carga de la mesa | Desviación de la superficie plana del vacío | ≤ 3 0 mm |
| Rango de temperatura de calentamiento | Temperatura ambiente ~ 180°C | |
| Desviación de la temperatura de calentamiento | ≤ ± 1,5 °C | |
| Repetibilidad de la altura de elevación | ± 10 μ m | |
| Presión de succión al vacío | -70 ~ 85Kpa ajustable | |
Instalaciones | Impresión (W*D*H) | 3075×2200×2200mm ((Display desplegado) |
| Peso | 2.9t | |
| Fuente de alimentación | 200~240VAC,47~63HZ (alimentador de adaptación de voltaje de fase única) | |
| Corriente eléctrica | Las demás: | |
| El poder | 16.5KW | |
| Inhalación | El valor de las emisiones de CO2 de los motores de combustión renovable se calculará en función de las condiciones de ensayo y de las condiciones de ensayo. | |
| Temperatura ambiente de funcionamiento. | 23°C ± 3°C | |
| Humedad relativa del ambiente de trabajo | 30 ~ 70% | |
GS600SW Máquina de distribución a nivel de obleas RDL Primera aplicación de CUF WLP para la forma de obleas bajo relleno
Carro de la investigación
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