Boquillas cerámicas de alta resistencia a la temperatura para procesos a 1200 grados C en la industria LED

Lugar de origen:Hecho en china
Cantidad mínima de pedido:Negociable
Tiempo de entrega:Negociable
Condiciones de pago:Negociable
Forma:Nozla
Durabilidad:De larga duración
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Evaluación de proveedor
Jinhua Zhejiang China
Dirección: No 6, calle Shuangjin, ciudad industrial de Qiubin, calle Qiubin, distrito de Wucheng, Jinhua, Zhejiang
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Detalles del producto

Boquillas de cerámica resistentes a altas temperaturas para temperaturas de proceso de 1200 grados C en la industria LED

 

Especialmente desarrollado para procesos de fabricación de LED, este producto se fabrica utilizando 99,8% de nitruro de silicio de alta pureza (Si3N4) mediante sinterización a presión de gas de precisión.Con una limpieza ultra alta, resistencia a altas temperaturas y resistencia a la corrosión para cumplir con los estrictos requisitos de los equipos MOCVD.

Aplicaciones en la fabricación de LED

  • Equipo MOCVD: Distribución precisa de la fuente de MO y del gas NH3

  • Crecimiento epitaxial: inyección uniforme de gas en cámaras de reacción

  • Fabricación de chips: Sistemas de suministro de gas de protección

  • Proceso de envasado: Atomización por rociado de fósforo

  • Equipo de ensayo: Control óptico del gas de inspección

Ventajas de la industria de los LED

✓ Ultra-alta limpieza: contenido de iones metálicos < 1 ppm
✓ Resistencia a altas temperaturas: soporta temperaturas de proceso de 1200°C
✓ Contaminación cero de gases: no hay emisiones de partículas
✓ Control preciso del caudal: ± 1% de precisión del caudal
✓ Vida útil prolongada: soporta más de 5000 ciclos térmicos

Parámetros específicos de los LED

ParámetroEspecificaciónNorma de ensayo
La pureza materialSi3N4 ≥ 99,8%El GDMS
Emisión de partículasSe aplicarán las siguientes medidas:Sección F24
La rugosidad de la superficieRa ≤ 0,05 μmLas condiciones de los productos
Deformación térmica≤ 0,01 mm@1000 °CLas demás partidas
Tolerancia al aburrimiento± 0,005 mmVDI/VDE 2617
Adsorción de gas≤ 0,01%Las demás especificaciones

Proceso de fabricación limpio

  1. Preparación del material:

    • Nano polvo (D50≤0,3μm)

    • Fresado de bolas sin polvo (sala limpia de la clase 10)

  2. Con un contenido de aluminio superior a 10%, pero no superior a 50%

    • Presión isostática (200MPa)

    • Sinterización ultralimpia (entorno de la clase 100)

  3. Trasprocesamiento:

    • Limpieza del plasma (descontaminación de la superficie)

    • Limpieza de agua con DI por ultrasonidos

  4. Embalaje:

    • Envases de doble vacío

    • Bolsas limpias de clase 4 ISO

Guías de uso

️ Instalación: Se requiere una operación de sala limpia de clase 100
Control del gas: utilizar gases de alta pureza al 99,999%
️ Control de temperatura: velocidad de calentamiento ≤ 5°C/min
️ Mantenimiento: prueba de fuga de helio cada 500 horas

Servicios especializados

  • Prórroga de la garantía: 18 meses

  • Prueba de limpieza: prueba de emisión de partículas libres

  • Respuesta rápida: apoyo técnico de 12 horas

  • Optimización del proceso: simulación del campo de flujo de gas

Preguntas frecuentes

P: ¿Cómo garantizar la pureza de la fuente de entrega de MO?
A: Tres salvaguardias:
1 Pasivación del Si de superficie
2 Envases limpios de la clase 100
3 Limpieza con plasma antes de la instalación

P: ¿Cómo manejar el obstrucción de las boquillas?
A: Se recomienda:
• 200W de ultrasonido + limpieza de agua DI
• No hay limpieza mecánica de la varilla
• Disponible un servicio de limpieza profesional

P: ¿Compatibilidad con las diferentes capas epitaxiales?
A: Opciones personalizables:

 

  • Estructuras de matriz de agujeros múltiples

  • Diseños de tamaño de perforación gradual

  • Configuraciones de ángulo especiales

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Boquillas cerámicas de alta resistencia a la temperatura para procesos a 1200 grados C en la industria LED

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