Cerámica de alúmina de alta pureza con resistividad volumétrica de 10^4 Ohm*cm para aplicaciones de semiconductores

Cerámica de alúmina de alta pureza con resistividad volumétrica de 10⁴ Ohm*cm para aplicaciones de semiconductores

Esta serie de componentes cerámicos de alúmina específicos para semiconductores se fabrican utilizando material de Al₂O₃ de ultra alta pureza al 99,6% mediante procesos de colado de cinta de precisión y sinterización a alta temperatura. Los productos exhiben un excelente aislamiento, resistencia a la corrosión y estabilidad dimensional, cumpliendo con los requisitos de limpieza de la Norma SEMI F47.

Aplicaciones principales en semiconductores

• Fabricación de obleas: Piezas cerámicas para máquinas de grabado, barcos de difusión

• Empaquetado y pruebas: Sustratos de tarjetas de sonda, zócalos de prueba

• Componentes de equipos: Efectores finales de robots

• Sistemas de vacío: Bases de mandriles electrostáticos

• Inspección óptica: Guías cerámicas para máquinas de litografía

Ventajas del producto

✓ Ultra limpio: Contenido de iones metálicos <0.1ppm
✓ Dimensiones de precisión: Tolerancia ±0.05mm/100mm
✓ Resistencia al plasma: Tasa de grabado <0.1μm/h
✓ Baja emisión de gases: TML<0.1% CVCM<0.01%
✓ Alta fiabilidad: Pasa 1000 ciclos térmicos

Especificaciones técnicas

Proceso de fabricación de semiconductores

1. Preparación del material:

   • Polvo de Al₂O₃ de grado nano (D50≤0.5μm)

   • Molienda de bolas de alta pureza (ayudas de sinterización Y₂O₃-MgO)

2. Proceso de formación:

   • Colado de cinta (espesor 0.1-5mm)

   • Prensado isostático (200MPa)

3. Control de sinterización:

   • Sinterización en atmósfera de múltiples etapas (1600°C/H₂)

   • Post-tratamiento HIP (1500°C/150MPa)

4. Mecanizado de precisión:

   • Procesamiento láser (±5μm)

   • Taladrado ultrasónico (relación de aspecto 10:1)

5. Limpieza e inspección:

   • Limpieza megasónica (sala limpia Clase 1)

   • Prueba de partículas SEMI F47

Guías de uso

⚠️ Almacenamiento: Embalaje limpio Clase 100
⚠️ Entorno de instalación: 23±1°C HR45±5%
⚠️ Limpieza: Solo disolventes de grado semiconductor
⚠️ Manipulación: Evitar el contacto directo con las superficies funcionales

Servicios para semiconductores

• Verificación de limpieza: Informes de pruebas VDA19

• Análisis de fallos: Microanálisis SEM/EDS

• Desarrollo personalizado: Codiseño DFM

Preguntas frecuentes

P: ¿Cómo asegurar la limpieza de la superficie de contacto de la oblea?
R: Triple protección:
① Activación de la superficie del plasma
② Embalaje al vacío + almacenamiento N₂
③ Limpieza con aire ionizado antes de la instalación

P: ¿Rendimiento en plasma a base de flúor?
R: Versión con tratamiento especial:
• Tasa de grabado <0.05μm/h
• Capa de pasivación AlF₃
• 3 veces mayor vida útil

P: ¿Tamaño máximo procesable?
R: Estándar 200×200mm, proceso especial hasta 400×400mm.

Somos una empresa con muchos años de experiencia en la producción de cerámica de precisión especial y la capacidad de diseñar, fabricar,Procesar y vender piezas estructurales y funcionales de diversas cerámicas de precisión especial.

Deyu Precision Ceramics Technology Co., Ltd. tiene muchos años de experiencia en la producción de cerámica de precisión especial, y tiene la capacidad de diseñar, fabricar,Procesar y vender piezas estructurales y funcionales de diversas cerámicas de precisión especialEn la actualidad, la empresa dispone de equipos de producción y procesamiento tales como prensa en seco, prensa isostática, horno experimental, horno plano, centro de mecanizado, rectificador de superficie,molinilla interna y externa universal, maquinaria de rectificación sin centro y máquina de corte por láser, así como equipos completos de ensayo de alta precisión, como un proyector de alta precisión, un probador tridimensional, un microscopio metalográfico,con una longitud de más de 20 mm,.

Con tecnología de producción avanzada e instalaciones de producción completas,La empresa es una de las pocas empresas nacionales que puede producir piezas estructurales y piezas funcionales cerámicas de precisión especial con precisión de mecanizado inferior a 2 micras., y tiene una fuerte competitividad en la misma industria en China.

Ventajas de la empresa: 1. Empresas nacionales de nueva tecnología; 2. La empresa tiene un centro municipal de I + D; 3. Cooperación con universidades e institutos de investigación nacionales clave; 4. Diseño, moldeo,Sinterización y procesamiento de precisión; 5. Los productos abarcan alumina, zirconio, nitruro de silicio, carburo de silicio y otras cerámicas de precisión; 6.

La empresa siempre ha estado en la posición de los clientes para resolver problemas, centrándose en el principio de calidad y tiempo de entrega, adhiriéndose a la filosofía de negocio de "integridad,Innovación y seguridad", y sinceramente esperamos cooperar con usted.