Cerámica técnica avanzada blanca, tipo horizontal portador del barco de cerámica de la oblea del alúmina del 99% de la oblea
Número de modelo:XF-1346
Lugar del origen:Guangdong, China (continente)
Cantidad de orden mínima:10pcs
Condiciones de pago:Carta de crédito, T/T, Western Union, MoneyGram, PayPal
Capacidad de la fuente:5000pcs por semana
Plazo de expedición:10-30 días laborables después de recibir el depósito
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Dongguan Guangdong China
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NINGÚN 21ro camino de ChuangXing, comunidad de Shangsha, ciudad de Changan, provincia de Guangdong de la ciudad de Dongguan, China
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Tipo horizontal portador de cerámica del barco de cerámica de la oblea del alúmina del 99% de la oblea
Palabras claves: Barco de cerámica de la oblea del alúmina/portador de cerámica de la oblea
Este tipo de barcos horizontales para la oblea de silicio 6inch (Ø150mm), grueso 675um, material en el 99% Al2O3.
La invención se relaciona con un estante vertical para la oblea de semiconductor que procesa estrictamente horizontalmente disponiendo los brazos en donde cada brazo tiene una extremidad redondeada y un liso (superficie < 1="">superior del Ra m).
La fabricación de dispositivos de semiconductor tales como circuitos integrados requiere típicamente el calor que trata las obleas de silicio en presencia de los gases reactivos. Durante este proceso, las temperaturas y las concentraciones de gas a las cuales se exponen los dispositivos deben ser controlados cuidadosamente, pues los dispositivos incluyen a menudo elementos del conjunto de circuitos menos de 1 um de tamaño que son sensible a las variaciones minuciosas en el ambiente de proceso.
Los procesos de la industria fabril del semiconductor típicamente
estas obleas en portadores horizontales o verticales. El portador
horizontal, llamó típicamente un “barco”, hace tres o cuatro barras
horizontalmente dispuestas arreglar en un diseño del semicírculo,
con cada barra teniendo interno hacer frente a los surcos fijados
en esto a intervalos regulares. Cada sistema de surcos define un
espacio vertical para llevar una oblea verticalmente dispuesta. El
portador vertical, llamó típicamente un “estante vertical”, tiene
tres o cuatro barras verticalmente dispuestas (o postes) dispuestos
en un diseño del semicírculo, con cada poste haciendo ranuras fijar
en esto a intervalos regulares para definir un espacio para apoyar
una oblea horizontalmente dispuesta. Para asegurar la precisión
geométrica requerida en este campo, las tres o cuatro barras se
fijan a una placa superior y a una chapa fonda. Las porciones del
poste entre cada ranura, llamadas los “dientes”, se espacian
idénticamente para apoyar las obleas a intervalos regulares de y
paralelo a la chapa fonda. El estante entero entonces se coloca
dentro de un horno vertical para procesar las obleas.
Barco horizontal de la oblea de semiconductor
Porque una oblea procesada en un estante vertical experimenta menos de una pendiente de temperatura sobre su cara (con respecto a una oblea procesada en un barco horizontal), los fabricantes del semiconductor están dando vuelta cada vez más a los hornos verticales. Hay, sin embargo, una desventaja a furnacing vertical. Las obleas dispuestas en un estante vertical convencional se apoyan en su borde exterior solamente. Como tal, las áreas de la oblea que se basa sobre estos dientes experimentan una tensión más alta que el resto de la oblea. Cuando las temperaturas en el horno se exceden sobre 1000°C, estas tensiones se convierten en a menudo significativas y porciones del solo movimiento de la oblea cristalina en relación con uno a lo largo de las placas cristalográficas en respuesta a esa tensión. Este fenómeno, llamado “resbalón”, destruye con eficacia el valor de los dispositivos de semiconductor situados en el área de la oblea donde ha ocurrido el resbalón.
Características de cerámica del barco de la oblea del alúmina del 99%:
- Pureza elevada
- Aislador eléctrico y termal excelente
- Resistencia excepcional de la temperatura hasta 3000°F (1650°C)
- Resistencia a la corrosión excepcional a los ácidos, a los solventes, a las sales, y a la materia orgánica
| Unidad | El 95% Al2O3 | El 99% Al2O3 | ZrO2 | GP-Si3N4 | |
| Color | - | blanco | marfil | blanco | gris |
| Densidad | ³ de g/cm | 3,70 | 3,90 | 6,04 | 3,31 |
| Absorción de agua | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Módulo de Young | Gpa | 280 | 350 | 205 | 295 |
| Dureza de Vickers | Gpa | 14 | 20 | 12 | 18-20 |
| Fuerza flexural (en R.T.) | Mpa | 280 | 300 | 900 | 650 |
| Fuerza compresiva (en R.T.) | Mpa | 2000 | 2500 | 2200 | 2200 |
| Conductividad termal (en R.T.) | Con (m.K) | 18-25 | 30 | 2,2 | 25 |
| Resistencia de choque termal | ΔT (°C) | 220 | 180-200 | 280-350 | 450-650 |
| Max. Working Temperature (en R.T.) | °C | 1500 | 1700 | 800 | 1200 |
| Resistencia de volumen (en R.T.) | Ω.cm | >10^15 | >10^14 | >10^12 | >10^14 |
| Constante dieléctrica (1 megaciclo en R.T.) | - | 9,50 | 9,80 | 26 | 8,20 |
| Fuerza dieléctrica | kV/mm | 16 | 22 | - | 16 |
Rotor típico de las características: Diámetro exterior: < 30=""> 0.051 milímetros (.0002") de profundidad de > longitud 0,13 milímetros (.0052") de > estator 2,00 milímetros (.0780"): Diámetro exterior: < 30=""> 0,22 milímetros x 0,25 milímetros (.008" x .010") circona superficial de final, del rotor o del estator: alúmina m (1 adentro) o N1 el 99,9% del del 0.025: m (del 0,05 2 adentro) o alúmina el 96% o el 99,7% del N2: 0,1 al 0,2 m (4 a 8 adentro) o N3 a N4
Ventaja del barco horizontal de la oblea de semiconductor
Son alta corrosión y llevan resistencia y resistencia de impacto fuerte y entregan una vida laboral de 10 veces más larga que el émbolo del metal. Dan una vida más larga al material de embalaje sellado.
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Empaquetado y envío
Embalado en bolso de los PP o bandeja de la esponja, después ponga en el embalaje estándar del cartón de la exportación, o el embalaje del OEM.
Enviado por el transporte del aire (DHL, TNT, UPS, Fedex, el ccsme), o del mar.
Información de compañía
¿Quién son nosotros?
Mingrui es una fábrica profesional con experiencia del OEM de los
años en la fabricación de piezas de cerámica industriales.
¿Qué hacemos?
Producimos (OEM) circona fortalecida de la estructura y barra de
cerámica del alúmina, tubo, eje, placa, manga, válvula, émbolo,
transporte, boca y brazo de cerámica, son aplicables a los
instrumentos, los instrumentos médicos, los relojes y los productos
electrónicos, los molinos, energía y poder, máquina y los metales,
autocar y los militares, vuelo espacial y algunos otros campos de
gama alta.
Todos nuestros productos con los certificados, por ejemplo, CE, TUV, y así sucesivamente.
Demostración de la fábrica
¡Nuestra fábrica da la bienvenida a su visitar!
Cerámica técnica avanzada blanca, tipo horizontal portador del barco de cerámica de la oblea del alúmina del 99% de la oblea
Carro de la investigación
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