Barco de cerámica de la oblea de semiconductor para la difusión de 8" oblea que procesa el barco de 25 obleas
Número de modelo:XF-1012
Lugar del origen:Guangdong, China (continente)
Cantidad de orden mínima:10pcs
Condiciones de pago:Carta de crédito, T/T, Western Union, MoneyGram, PayPal
Capacidad de la fuente:5000pcs por semana
Plazo de expedición:10-30 días laborables después de recibir el depósito
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Dongguan Guangdong China
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NINGÚN 21ro camino de ChuangXing, comunidad de Shangsha, ciudad de Changan, provincia de Guangdong de la ciudad de Dongguan, China
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Detalles del producto
Barco de cerámica de la oblea de semiconductor para la difusión de
8" oblea que procesa el barco de 25 obleas
Palabras claves: Barco de la oblea de semiconductor
Características:
- 8" barco de la oblea se hace del cuarzo ultraalto de la pureza (pureza 4N) con la temperatura de trabajo 1200oC
- Puede llevar las obleas de 25 pedazos de 8" el diámetro en cada barco
- Diseñe para la difusión, la oxidación y el recocido 4" oblea del Si
- Puede caber en horno de tubo de GSL1100X-11-III
- Haga clic la imagen abajo para ver el dibujo industrial del detalle
La invención se relaciona con un estante vertical para la oblea de
semiconductor que procesa estrictamente horizontalmente disponiendo
los brazos en donde cada brazo tiene una extremidad redondeada y un
liso (superficie < 1="">superior del Ra m).
La fabricación de dispositivos de semiconductor tales como
circuitos integrados requiere típicamente el calor que trata las
obleas de silicio en presencia de los gases reactivos. Durante este
proceso, las temperaturas y las concentraciones de gas a las cuales
se exponen los dispositivos deben ser cuidadosamente controlados,
pues los dispositivos incluyen a menudo elementos del conjunto de
circuitos menos de 1 um de tamaño que son sensible a las
variaciones minuciosas en el ambiente de proceso.
La industria fabril del semiconductor procesa típicamente estas
obleas en portadores horizontales o verticales. El portador
horizontal, típicamente llamado un “barco”, tiene tres o cuatro
barras horizontalmente dispuestas dispuestas en un semicírculo
diseñan, con cada barra teniendo interno hacer frente a los surcos
fijados en esto a intervalos regulares. Cada sistema de surcos
define un espacio vertical para llevar una oblea verticalmente
dispuesta. El portador vertical, típicamente llamado un “estante
vertical”, tiene tres o cuatro barras verticalmente dispuestas (o
postes) dispuestos en un diseño del semicírculo, con cada poste
haciendo ranuras fijar en esto a intervalos regulares para definir
un espacio para apoyar una oblea horizontalmente dispuesta. Para
asegurar la precisión geométrica requerida en este campo, las tres
o cuatro barras se fijan a una placa superior y a una chapa fonda.
Las porciones del poste entre cada ranura, llamadas los “dientes”,
se espacian idénticamente para apoyar las obleas a intervalos
regulares de y paralelo a la chapa fonda. El estante entero
entonces se coloca dentro de un horno vertical para procesar las
obleas.
Barco de cerámica de la oblea del alúmina
Porque una oblea procesada en experiencias verticales de un estante
menos de una pendiente de temperatura sobre su cara (con respecto a
una oblea procesada en un barco horizontal), fabricantes del
semiconductor está dando vuelta cada vez más a los hornos
verticales. Hay, sin embargo, una desventaja a furnacing vertical.
Las obleas dispuestas en un estante vertical convencional se apoyan
en su borde exterior solamente. Como tal, las áreas de la oblea que
se basa sobre estos dientes experimentan una tensión más alta que
el resto de la oblea. Cuando las temperaturas en el horno se
exceden sobre 1000°C, estas tensiones llegan a ser a menudo
significativas y las porciones de la sola oblea cristalina mueven
en relación con a lo largo de las placas cristalográficas en
respuesta a esa tensión. Este fenómeno, llamado “resbalón”,
destruye con eficacia el valor de los dispositivos de semiconductor
situados en el área de la oblea donde ha ocurrido el resbalón.
Características de cerámica del barco de la oblea:
- Pureza elevada
- Aislador eléctrico y termal excelente
- Resistencia excepcional de la temperatura hasta 3000°F (1650°C)
- Resistencia a la corrosión excepcional a los ácidos, a los solventes, a las sales, y a la materia orgánica
| Unidad | El 95% Al2O3 | El 99% Al2O3 | ZrO2 | GP-Si3N4 | |
| Color | - | blanco | marfil | blanco | gris |
| Densidad | ³ de g/cm | 3,70 | 3,90 | 6,04 | 3,31 |
| Absorción de agua | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Módulo de Young | Gpa | 280 | 350 | 205 | 295 |
| Dureza de Vickers | Gpa | 14 | 20 | 12 | 18-20 |
| Fuerza flexural (en R.T.) | Mpa | 280 | 300 | 900 | 650 |
| Fuerza compresiva (en R.T.) | Mpa | 2000 | 2500 | 2200 | 2200 |
| Conductividad termal (en R.T.) | Con (m.K) | 18-25 | 30 | 2,2 | 25 |
| Resistencia de choque termal | ΔT (°C) | 220 | 180-200 | 280-350 | 450-650 |
| Max. Working Temperature (en R.T.) | °C | 1500 | 1700 | 800 | 1200 |
| Resistencia de volumen (en R.T.) | Ω.cm | >10^15 | >10^14 | >10^12 | >10^14 |
| Constante dieléctrica (1 megaciclo en R.T.) | - | 9,50 | 9,80 | 26 | 8,20 |
| Fuerza dieléctrica | kV/mm | 16 | 22 | - | 16 |
Rotor típico de las características: Diámetro exterior: <
30=""> 0.051 milímetros (.0002") de profundidad de > longitud
0,13 milímetros (.0052") de > estator 2,00 milímetros (.0780"):
Diámetro exterior: < 30=""> 0,22 milímetros x 0,25 milímetros
(.008" x .010") circona de final, del rotor o del estator de la
superficie: alúmina m (1 adentro) o N1 el 99,9% del del
0.025: m (del 0,05 2 adentro) o alúmina el 96% o el 99,7% del
N2: 0,1 al 0,2 m (4 a 8 adentro) o N3 a N4
Ventaja del barco de cerámica de la oblea
1. isostático presionado.
2. resistencia de fuego.
3. fuerza mechnical superior.
4. alta resistencia de la corrosión y de desgaste.
5. resistencia de la temperatura alta.
6. buena precisión del funcionamiento del aislamiento.
7. material de cerámica de la circona y del alúmina.
Son alta resistencia de la corrosión y de desgaste y resistencia de
impacto fuerte y entregan una vida laboral de 10 veces más larga
que el émbolo del metal. Dan una vida más larga al material de
embalaje sellado.
Dibujos:
Demostración de las fotos del producto
Empaquetado y envío
Embalado en el bolso de los PP o la bandeja de la esponja, entonces
puesta en el embalaje estándar del cartón de la exportación, o el
embalaje del OEM.
Enviado por el transporte del aire (DHL, TNT, UPS, Fedex, el
ccsme), o del mar.
Información de compañía
¿Quién son nosotros?
Mingrui es una fábrica profesional con experiencia del OEM de los
años en la fabricación de piezas de cerámica industriales.
¿Qué hacemos?
Producimos (OEM) circona fortalecida de la estructura y barra de
cerámica del alúmina, tubo, eje, placa, manga, válvula, émbolo,
transporte, boca y brazo de cerámica, son aplicables a los
instrumentos, los instrumentos médicos, los relojes y los
productos, los molinos, energía y poder, máquina y los metales,
autocar y militar electrónicos, vuelo espacial y algunos otros
campos de gama alta.
Todos nuestros productos con los certificados, por ejemplo, CE,
TUV, y así sucesivamente.
Demostración de la fábrica
¡Nuestra fábrica da la bienvenida a su visitar!
Barco de cerámica de la oblea de semiconductor para la difusión de 8" oblea que procesa el barco de 25 obleas
Carro de la investigación
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