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Semiconductor horizontal de cerámica resistente del barco de la oblea de semiconductor del resbalón que procesa componentes
Palabras claves: Barco horizontal de la oblea de semiconductor
La invención se relaciona con un estante vertical para la oblea de semiconductor que procesa estrictamente horizontalmente disponiendo los brazos en donde cada brazo tiene una extremidad redondeada y un liso (superficie < 1="">superior del Ra m).
La fabricación de dispositivos de semiconductor tales como circuitos integrados requiere típicamente el calor que trata las obleas de silicio en presencia de los gases reactivos. Durante este proceso, las temperaturas y las concentraciones de gas a las cuales se exponen los dispositivos deben ser cuidadosamente controlados, pues los dispositivos incluyen a menudo elementos del conjunto de circuitos menos de 1 um de tamaño que son sensible a las variaciones minuciosas en el ambiente de proceso.
Barco horizontal de la oblea de semiconductor
Porque una oblea procesada en experiencias verticales de un estante menos de una pendiente de temperatura sobre su cara (con respecto a una oblea procesada en un barco horizontal), fabricantes del semiconductor está dando vuelta cada vez más a los hornos verticales. Hay, sin embargo, una desventaja a furnacing vertical. Las obleas dispuestas en un estante vertical convencional se apoyan en su borde exterior solamente. Como tal, las áreas de la oblea que se basa sobre estos dientes experimentan una tensión más alta que el resto de la oblea. Cuando las temperaturas en el horno se exceden sobre 1000°C, estas tensiones llegan a ser a menudo significativas y las porciones de la sola oblea cristalina mueven en relación con a lo largo de las placas cristalográficas en respuesta a esa tensión. Este fenómeno, llamado “resbalón”, destruye con eficacia el valor de los dispositivos de semiconductor situados en el área de la oblea donde ha ocurrido el resbalón.
Características horizontales del barco de la oblea de semiconductor:
Unidad | El 95% Al2O3 | El 99% Al2O3 | ZrO2 | GP-Si3N4 | |
Color | - | blanco | marfil | blanco | gris |
Densidad | ³ de g/cm | 3,70 | 3,90 | 6,04 | 3,31 |
Absorción de agua | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
Módulo de Young | Gpa | 280 | 350 | 205 | 295 |
Dureza de Vickers | Gpa | 14 | 20 | 12 | 18-20 |
Fuerza flexural (en R.T.) | Mpa | 280 | 300 | 900 | 650 |
Fuerza compresiva (en R.T.) | Mpa | 2000 | 2500 | 2200 | 2200 |
Conductividad termal (en R.T.) | Con (m.K) | 18-25 | 30 | 2,2 | 25 |
Resistencia de choque termal | ΔT (°C) | 220 | 180-200 | 280-350 | 450-650 |
Max. Working Temperature (en R.T.) | °C | 1500 | 1700 | 800 | 1200 |
Resistencia de volumen (en R.T.) | Ω.cm | >10^15 | >10^14 | >10^12 | >10^14 |
Constante dieléctrica (1 megaciclo en R.T.) | - | 9,50 | 9,80 | 26 | 8,20 |
Fuerza dieléctrica | kV/mm | 16 | 22 | - | 16 |
Rotor típico de las características: Diámetro exterior: < 30=""> 0.051 milímetros (.0002") de profundidad de > longitud 0,13 milímetros (.0052") de > estator 2,00 milímetros (.0780"): Diámetro exterior: < 30=""> 0,22 milímetros x 0,25 milímetros (.008" x .010") circona de final, del rotor o del estator de la superficie: alúmina m (1 adentro) o N1 el 99,9% del del 0.025: m (del 0,05 2 adentro) o alúmina el 96% o el 99,7% del N2: 0,1 al 0,2 m (4 a 8 adentro) o N3 a N4
Ventaja del barco horizontal de la oblea de semiconductor
1. Isostático presionado.
2. resistencia de fuego.
3. Fuerza mechnical superior.
4. alta resistencia de la corrosión y de desgaste.
5. resistencia de la temperatura alta.
6. buena precisión del funcionamiento del aislamiento.
7. material de cerámica de la circona y del alúmina.
Son alta resistencia de la corrosión y de desgaste y resistencia de impacto fuerte y entregan una vida laboral de 10 veces más larga que el émbolo del metal. Dan una vida más larga al material de embalaje sellado.
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Empaquetado y envío
Embalado en los PP empaquete o limpie la bandeja con esponja, después ponga en el embalaje estándar del cartón de la exportación, o el embalaje del OEM.
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Información de compañía
¿Quién son nosotros?
Mingrui es una fábrica profesional con experiencia del OEM de los
años en la fabricación de piezas de cerámica industriales.
¿Qué hacemos?
Producimos (OEM) circona fortalecida de la estructura y barra de
cerámica del alúmina, tubo, eje, placa, manga, válvula, émbolo,
transporte, boca y brazo de cerámica, son aplicables a los
instrumentos, los instrumentos médicos, los relojes y los
productos, los molinos, energía y poder, máquina y los metales,
autocar y militar electrónicos, vuelo espacial y algunos otros
campos de gama alta.
Todos nuestros productos con los certificados, por ejemplo, CE, TUV, y así sucesivamente.
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