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Barco de cerámica de la oblea de la circona corrosiva química en el proceso del microprocesador del semiconductor
Palabra clave: Portador de cerámica de la oblea
Para reducir y/o eliminar daño a las obleas durante los pasos del proceso y durante transporte a y desde los diversos dispositivos, las obleas se llevan en los dispositivos del portador o el “portador de cerámica de la oblea”. Los barcos de la oblea se sujetan necesariamente a las mismas sustancias químicas y/o temperaturas altas corrosivas bajo las cuales se procesan las obleas. Además, después de la oblea que procesa, los barcos ellos mismos de la oblea se sujetan a los procesos de la limpieza química para quitar cualquier macropartícula y/o otras impurezas para evitar la contaminación de cualesquiera lotes subsiguientes de la oblea.
El portador de cerámica de la oblea es un cargador que puede ser insertado por la oblea de silicio. Se aplica tan en área del semiconductor. El proceso de la limpieza para el barco del cuarzo está muy estrictamente. El barco se debe sumergir en la concentración de 4-5% soluciones del HF keeped por 4 horas. Entonces empapado en DI water por 1 hora. El barco del cuarzo, fuentes de Robuster, se puede lavar como requisito de los semicondutor. Tenemos nuestro propio sitio de limpieza.
Portador de cerámica de la oblea de la fuente de Robuster cuyo grado y diámetro se puede modificar para requisitos particulares según requisitos de cliente
1, barco del cuarzo para el material del semiconductor del GaAs
2, minuto de la pureza 99,95%
3, tolerancia dimensional apretada estupenda
4, aspecto agradable
Portador de cerámica de la oblea de la circona de la fabricación de Mingrui usado en el horno de difusión automático del sistema de tramitación de la oblea. Como circona de cerámica con el charactheristic del desgaste - resistente, resistentes des alta temperatura,
El portador de cerámica de la oblea es una buena opción para el portador del wafter.
Descarga integrada del loading& de la oblea, descargando las obleas difundidas del portador de cerámica de la oblea
Características técnicas
·Con la descarga continua del loading& de la oblea puede garantizar la producción continua. O utilícese solamente para el cargamento de la oblea o la descarga está también disponible.
·Con el sistema perfecto de la detección y de alarma que garantiza la operación estable y automática.
·Con el método de la circulación de la placa de base del casete que reducen la intensidad de trabajo.
·Estructura modular del programa de control, altamente repetible y legible, que es conveniente para la extensión de la función en futuro y mantenimiento;
·Con el diseño de datos de la receta que permite al equipo trabajar con diversas clases de barco de cerámica del cuarzo con diversa exactitud, mientras que el equipo corriente seguirá el barco no automáticamente y recuperará los datos correspondientes de la receta sin la intervención humana.
prameter:
Hoja de cerámica de la fecha de la circona:
Propiedades | Unidades | Alúmina 95 | Alúmina 99 | ZrO2 |
Densidad | g / ³ del cm | 3,65 | 3,92 | ³ de los 5.95-6.0g/cm |
Absorción de agua | % | 0 | 0 | 0 |
Coeficiente de extensión termal | 10-6 /K | 7,9 | 8,5 | 10,5 |
Módulo de la MOD de Young de la elasticidad | GPa | 280 | 340 | 210 |
El ratio de Poisson | / | 0,21 | 0,22 | 0,3 |
Alto voltaje de la dureza del alto voltaje | MPa | 1400 | 1650 | 1300-1365 |
Temperatura ambiente de la fuerza flexural @ | MPa | 280 | 310 | 950 |
Fuerza flexural @700°C | MPa | 220 | 230 | 210 |
Temperatura ambiente de la fuerza compresiva @ | MPa | 2000 | 2200 | 2000 |
Dureza de la fractura | *m el 1/2 del MPa | 3,8 | 4,2 | 10 |
Temperatura ambiente de la conductividad de calor @ | W/ m*k | 18-25 | 26-30 | 2-2.2 |
Temperatura ambiente eléctrica de la resistencia @ | Ω*mm2 /m | >1015 | >1016 | >1015 |
Temperatura máxima del uso | °C | 1500 | 1750 | 1050 |
Resistencia al ácido alcalino | / | alto | alto | alto |
Constante dieléctrica | / | 9,5 | 9,8 | 26 |
Fuerza dieléctrica | KV/mm | 16 | 22 | / |
Resistencia de choque de Thermol | △ T (°C) | 220 | 180-200 | 280-350 |
°C 25 de la resistencia a la tensión @ | MPa | 200 | 248 | 252 |
Para ver cómo podemos ayudarle con su proyecto de energía solar, éntrenos en contacto con hoy.
Intriduction de cerámica industrial
El óxido de aluminio, Al2O3 es el material de cerámica técnico lo
más extensamente posible aplicado y rentable. Ofrece una
combinación de fuerza mecánica superior y las propiedades,
resistencia de desgaste y resistencia a la corrosión eléctricas. La
temperatura de trabajo máxima es el °C hasta 1700 con conductividad
termal relativamente alta. Es también un material eléctricamente de
aislamiento con una alta resistencia eléctrica. La buena
resistencia a la corrosión hace insoluble en agua y levemente
soluble en ácido fuerte y la solución alcalina.
Introducción de la compañía
La fabricación de cerámica de Mingrui y proporciona los componentes
de cerámica del alúmina para una amplia gama de uso como el equipo
mecánico, la perforación petrolífera electrónica y eléctrica, la
industria médica, química etc. según el uso real y el requisito de
cliente, las purezas varían a partir del 95%-99.7% y los métodos de
formación serán diferentes. Los métodos de formación aplicados en
nuestra planta incluyen presionar seco, el presionar isostático,
moldeado de la inyección, moldeado de la protuberancia. Con los
ingenieros experimentados y los trabajadores talentosos, nos
sentimos confiados ofrecer la precisión de alta calidad, alta,
componentes complejos para los clientes por todo el mundo.
La cerámica de Mingrui tiene años de experiencia que diseñan y que desarrollan las soluciones de cerámica técnicas para una amplia variedad de usos y de industrias. Material refractario de alta temperatura que trabaja a máquina el equipo de cerámica del laser de las piezas. Ofrecemos esta experiencia a todos nuestros clientes para asegurarnos que el mejores diseño y materiales están elegidos para su uso y necesidades específicos. El material refractario de alta temperatura que trabaja a máquina el equipo de cerámica del laser de las piezas, típicamente, nuestros componentes y piezas de cerámica técnicos de encargo que suministramos se utiliza para una de tres razones principales:
FAQ
Q: ¿Es usted empresa comercial o el fabricante?
A: Somos fábrica.
Q: ¿Cuánto tiempo es su plazo de expedición?
A: Es generalmente 5-10 días si las mercancías están en existencia. o es 15-20 días si las mercancías no están en existencia, él está según cantidad.
Q: ¿Usted proporciona muestras? ¿es libre o adicional?
A: Sí, podríamos ofrecer la carga de la muestra gratis pero no pagamos el coste de carga.
Q: ¿Cuál es sus términos del pago?
A: Payment=1000USD<>, el 30% T/T por adelantado, balanza antes del envío.
Si usted tiene cualquier otra pregunta, los pls no dude en para
entrarnos en contacto con.