KGD - MQ - 536 Sensor de gas infrarrojo / Detector de fugas de gas infrarrojo para monitoreo preciso

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lugar de origen:China.
Cantidad mínima de pedido:1 PCS
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Capacidad de suministro:1000 piezas por semana negociables
Tiempo de entrega:5 a 8 días hábiles
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Dirección: Ciudad i, No 11, carretera TangYan Sur, distrito de Yanta, Xi'an, Shaanxi, China.
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Detalles del producto

Sensor de gas infrarrojo KGD - MQ - 536

Introducción del producto

El sensor de gases infrarrojos KGD-MQ-536 se basa en la tecnología de infrarrojos no dispersivos (NDIR).y CO2 generado en aplicaciones de semiconductoresEs compatible con dimensiones preestablecidas comunes, bridas y protocolos de comunicación dentro del equipo. Puede usarse para la detección de puntos finales en procesos de deposición y limpieza de semiconductores,así como la detección de terminales para la limpieza de la cámara, lo que ayuda a reducir el tiempo de limpieza, reducir los costos y aumentar la producción.

Características del producto

  • Adopta la tecnología NDIR, soporta la monitorización de varios gases (incluyendo WF6, CF4, SF6, NF3, CO2, etc.).
  • Tiempo de respuesta rápido y alta sensibilidad.
  • No hay consumibles.
  • Comunicación analógica/digital.
  • Diseño modular para una fácil integración.

Parámetros técnicos

ParámetroDetalles
Principio de detecciónEl NDIR
Gases detectadosWF6, CF4, SF6, NF3, CO2
Rango de medición1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr)
Repetibilidad± 0,5%
Linealidad± 1% F.S.
Límites de detección1 ppm
China KGD - MQ - 536 Sensor de gas infrarrojo / Detector de fugas de gas infrarrojo para monitoreo preciso supplier

KGD - MQ - 536 Sensor de gas infrarrojo / Detector de fugas de gas infrarrojo para monitoreo preciso

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