Obleas de cuarzo fundido Alta pureza Estabilidad térmica Claridad óptica

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Otros productos de la partida 85 Estabilidad térmica de alta pureza y claridad óptica para aplicaciones avanzadas

Resumen del producto de las obleas de cuarzo fundido

Si se compara con el vidrio borosilicato, la sílice fundida no tiene aditivos; por lo tanto, existe en su forma pura, SiO2.La sílice fundida tiene una mayor transmisión en el espectro infrarrojo y ultravioleta en comparación con el vidrio normalLa sílice fundida se produce mediante la fusión y re-solidificación del SiO2 ultrapuro.La sílice sintética fundida, por otro lado, está hecha de precursores químicos ricos en silicio como SiCl4 que se gasifican y luego se oxidan en una atmósfera de H2 + O2.El polvo de SiO2 formado en este caso se funde con sílice en un sustrato.

 


Características y beneficios clave de las obleas de cuarzo fundido

  • Pureza muy alta (≥ 99,99% SiO2)
    Ideal para procesos sensibles a la contaminación en semiconductores y fotónica.

  • Amplio rango de temperaturas
    Resiste a ambientes térmicos criogénicos > 1100 °C sin deformación.

  • Transmisibilidad UV e IR excepcional
    Ofrece una excelente claridad óptica desde el ultravioleta profundo (DUV) hasta el infrarrojo cercano (NIR).

  • Baja expansión térmica
    Asegura la estabilidad dimensional en el ciclo térmico, reduciendo la tensión de los componentes.

  • Inertitud química
    Resistente a la mayoría de los ácidos, bases y disolventes; perfecto para condiciones de proceso duras.

  • Control de calidad de la superficie
    Disponible en formatos ultra suaves y pulidos de doble cara para aplicaciones ópticas y MEMS.

 


Proceso de fabricación

Las obleas de cuarzo fundido se producen a través de los siguientes pasos:

  1. Selección de la materia prima:Se seleccionan y purifican arenas o cristales naturales de cuarzo de alta pureza.

  2. Fusión y fusión:Los gránulos de cuarzo se funden a ~ 2000 °C en hornos eléctricos bajo atmósfera controlada para eliminar burbujas e impurezas.

  3. Solidificación y formación de bloques:El material fundido se enfría en lingotes o bloques sólidos.

  4. Se trata de un sistema de corte de wafer.Las sierras de alambre de precisión cortan el cuarzo fundido y solidificado en trozos en blanco.

  5. La limpieza y el pulido:Las superficies de las obleas son molidas, lapeadas y pulidas para lograr un espesor y una planitud exactos.

  6. Limpieza e inspección:Las obleas finales son limpiadas por ultrasonido en salas limpias de la clase 100/1000 e inspeccionadas para detectar defectos.


Aplicaciones

Las obleas de cuarzo fundido se utilizan en industrias que requieren transparencia óptica, durabilidad térmica y resistencia química:

Las demás:

  • Ofras portadoras en procesos de alta temperatura

  • Máscaras de difusión e implantación iónica

  • Plataformas de grabado, deposición e inspección

Fotónica y óptica

  • Substratos para recubrimientos ópticos

  • Ventanas láser y divisores de haz

  • Componentes ópticos UV e IR de precisión

Laboratorio y Investigación

  • Portadores de muestras para instrumentos analíticos

  • Plataformas de análisis microfluídico y químico

  • Substratos de reacción a altas temperaturas

LED y energía solar

  • Fabricación de plaquetas de horno para la fabricación de chips LED

  • Substratos en I+D de células fotovoltaicas


Especificaciones disponibles

EspecíficoUnidad4" de largo.6" de largo8" de largo10" de largo.12" de largo.
Diámetro / tamaño (o cuadrado)En el caso de los100150200250300
Término de la pruebaEn el caso de los0.20.20.20.20.2
El grosorEn el caso de los0.10 o más0.30 o más0.40 o más0.50 o más0.50 o más
Planta de referencia primariaEn el caso de los32.557.5Las demás:Las demás:Las demás:
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero de los gases de efecto invernadero.MmSe trata de un5Se trata de un5Se trata de un5Se trata de un5Se trata de un5
TTVMmSección 2Se trata de:Se trata de:Sección 3Sección 3
- ¿ Por qué?Mm± 20± 30± 40± 40± 40
La velocidad warp.Mm≤ 30 años≤ 40≤ 50≤ 50≤ 50
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.%≥95%≥95%≥95%≥95%≥95%
Redondeo del bordeEn el caso de losConforme a la norma SEMI M1.2 / se refiere a la IEC62276
Tipo de superficie Lustrado de un solo lado / Lustrado de dos lados
Lado pulido Ranm≤ 1 año≤ 1 año≤ 1 año≤ 1 año≤ 1 año
Criterios del lado traseroMmgeneral 0,2-0,7 o personalizado
 

Ventajas técnicas

  • Estructura de vidrioelimina la birefringencia que se encuentra en el cuarzo cristalino

  • No hay eje de cristal¢ideal para el comportamiento isotrópico en aplicaciones ópticas

  • Superficie lisa y no porosapara una mejor limpieza y adhesión del revestimiento

  • Con un contenido de aluminio superior a 10%, pero no superior a 10% en peso

  • Grados con bajo contenido de OHdisponible para una mayor durabilidad UV


Preguntas frecuentes (FAQ)

P1: ¿Cuál es la diferencia entre el cuarzo fundido y la sílice fundida?
Ambos se refieren al SiO2 amorfo, pero la sílice fundida a menudo implica vidrio de alta pureza producido sintéticamente, mientras que el cuarzo fundido se deriva del cuarzo natural.Sus propiedades son casi idénticas en la mayoría de las aplicaciones.

P2: ¿Se pueden utilizar obleas de cuarzo fundido en ambientes de alto vacío?
Sí, el cuarzo fundido tiene una salida de gas extremadamente baja y una alta estabilidad térmica, lo que lo hace ideal para sistemas de vacío y aplicaciones espaciales.

P3: ¿Son estas obleas adecuadas para aplicaciones con láser UV?
El cuarzo fundido exhibe una excelente transmisión en el rango UV profundo (hasta ~ 185 nm), lo que lo hace adecuado para óptica láser DUV y sustratos de fotomasca.

P4: ¿Ofrece la personalización?
Sí, fabricamos obleas basadas en los requisitos del cliente incluyendo diámetro, grosor, acabado superficial y patrones de corte láser.

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