Wafer de cuarzo Wafer de cuarzo 2", 3", 4", 6", 8", 12" SiO2 semiconductor óptico

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Wafer de cuarzo Wafer de cuarzo 2", 3", 4", 6", 8", 12" SiO2 semiconductor óptico

Introducción de las obleas de cuarzo

Las obleas de cuarzo están hechas de dióxido de silicio cristalino (SiO2).

Las obleas de cuarzo presentan excelentes características como alta resistencia térmica, transmisión de luz superior a longitudes de onda específicas, inertitud química y bajo coeficiente de expansión térmica.Estas características los hacen muy adecuados para aplicaciones que requieren estabilidad bajo temperaturas extremas, resistencia a sustancias químicas agresivas y transparencia en rangos espectral específicos.

En industrias como la fabricación de semiconductores, la óptica y los MEMS (Sistemas Micro-Electro-Mecánicos),las obleas de cuarzo se utilizan ampliamente debido a su capacidad para soportar altas temperaturas sin deformación o degradaciónSirven como sustratos para la deposición de películas delgadas, el grabado de microestructuras o la fabricación de componentes de precisión que requieren una alta precisión dimensional y estabilidad térmica.

 

 

Principio de fabricacióncon un contenido de aluminio superior a 10%, pero no superior a 50%

  1. Crecimiento cristalino
    Las bolas de cuarzo se cultivan con cristales de semillas naturales o sintéticos mediante métodos de fusión hidrotermal o de llama (Verneuil).

  2. Corte de lingotes
    Los lingotes cilíndricos se cortan en obleas con sierras de alambre de diamante, lo que garantiza la uniformidad del espesor y la mínima pérdida de corte.

  3. La limpieza y pulido
    Las obleas se lapan, graban y luego se pulieron para lograr un acabado liso como un espejo con baja rugosidad superficial (Ra < 1 nm para las obleas de grado óptico).

  4. Limpieza e inspección
    La limpieza por ultrasonido o RCA elimina las partículas y los contaminantes metálicos.

Especificaciones de las obleas de cuarzo

Tipo de cuarzo46812
Tamaño    
Diámetro (pulgadas)46812
El espesor (mm)0.05 ¢20.25 ¢ 50.3 ¢ 50.4 ¢ 5
Tolerancia de diámetro (pulgadas)± 01± 01± 01± 01
Tolerancia de espesor (mm)PersonalizablePersonalizablePersonalizablePersonalizable
Propiedades ópticas    
Indice de refracción @365 nm1.4746981.4746981.4746981.474698
Indice de refracción @ 546,1 nm1.4602431.4602431.4602431.460243
Indice de refracción @1014 nm1.4504231.4504231.4504231.450423
Transmisibilidad interna (1250 ∼ 1650 nm)> 99,9%> 99,9%> 99,9%> 99,9%
Transmisibilidad total (1250 ∼ 1650 nm)> 92%> 92%> 92%> 92%
Calidad de mecanizado    
TTV (variación del grosor total, μm)No se puedeNo se puedeNo se puedeNo se puede
Planaje (μm)≤ 15 años≤ 15 años≤ 15 años≤ 15 años
Roughness de la superficie (nm)≤ 1 año≤ 1 año≤ 1 año≤ 1 año
Arco (μm)El valor de las emisionesEl valor de las emisionesEl valor de las emisionesEl valor de las emisiones
Propiedades físicas    
Densidad (g/cm3)2.202.202.202.20
Modulo de Young (GPa)74.2074.2074.2074.20
Dureza de Mohs6 ¢ 76 ¢ 76 ¢ 76 ¢ 7
Modulo de cizallamiento (GPa)31.2231.2231.2231.22
La proporción de Poisson0.170.170.170.17
Resistencia a la compresión (GPa)1.131.131.131.13
Resistencia a la tracción (MPa)49494949
Constante dieléctrica (1 MHz)3.753.753.753.75
Propiedades térmicas    
Punto de tensión (1014,5 Pa·s)1000 °C1000 °C1000 °C1000 °C
Punto de recocido (1013 Pa·s)1160°C1160°C1160°C1160°C
Punto de ablandamiento (107,6 Pa·s)1620°C1620°C1620°C1620°C

 

 

Preguntas frecuentes sobre las obleas de cuarzo

1¿Qué es una oblea de cuarzo?

Una oblea de cuarzo es un disco delgado y plano hecho de dióxido de silicio cristalino (SiO2), generalmente fabricado en tamaños de semiconductores estándar (por ejemplo, 2", 3", 4", 6", 8" o 12").Estabilidad térmica, y transparencia óptica, una oblea de cuarzo se utiliza como sustrato o portador en varias aplicaciones de alta precisión, como la fabricación de semiconductores, dispositivos MEMS, sistemas ópticos,y procesos de vacío.

2¿Cuál es la diferencia entre el cuarzo y el gel de sílice?

El cuarzo es una forma sólida cristalina de dióxido de silicio (SiO2), mientras que el gel de sílice es una forma amorfa y porosa de SiO2, comúnmente utilizado como desecante para absorber la humedad.

  • Cuarzoes duro, transparente y se utiliza en aplicaciones electrónicas, ópticas e industriales.

  • Gel de síliceAparece como pequeñas cuentas o gránulos y se utiliza principalmente para el control de la humedad en el embalaje, la electrónica y el almacenamiento.

3¿Para qué se usan los cristales de cuarzo?

Los cristales de cuarzo se utilizan ampliamente en electrónica y óptica debido a sus propiedades piezoeléctricas (generan una carga eléctrica bajo tensión mecánica).

  • Osciladores y regulación de frecuencia(por ejemplo, relojes de cuarzo, relojes, microcontroladores)

  • Componentes ópticos(por ejemplo, lentes, placas de onda, ventanas)

  • Resonadores y filtrosen dispositivos de RF y comunicaciones

  • Sensorespara presión, aceleración o fuerza

  • Fabricación de semiconductorescomo sustratos o ventanas de proceso

4¿Por qué se usa el cuarzo en los microchips?

El cuarzo se utiliza en aplicaciones relacionadas con microchips porque ofrece:

  • Estabilidad térmicadurante los procesos de alta temperatura como la difusión y el recocido

  • Aislamiento eléctricodebido a sus propiedades dieléctricas

  • Resistencia químicapara ácidos y disolventes utilizados en la fabricación de semiconductores

  • Precisión dimensionaly baja expansión térmica para una alineación confiable de la litografía
    Si bien el cuarzo en sí no se utiliza como material semiconductor activo (como el silicio), desempeña un papel de apoyo vital en el entorno de fabricación, especialmente en hornos, cámaras,y sustratos de las máscaras fotográficas.

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