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SiC Wafer Epitaxial Carburo de silicio 4H 4 pulgadas 6 pulgadas Industria de semiconductores de alta resistencia
La epitaxia de carburo de silicio es un material semiconductor compuesto compuesto de elementos de carbono y silicio (excluyendo los factores de dopaje).La hoja epitaxial de carburo de silicio (SiC) es un material semiconductor importante, ampliamente utilizado en dispositivos electrónicos de alta potencia, alta temperatura y alta frecuencia.El carburo de silicio tiene una banda ancha (aproximadamente 3La conductividad térmica excelente permite una disipación de calor eficaz y es adecuada para aplicaciones de alta potencia.Las técnicas comunes de crecimiento epitaxial incluyen la deposición de vapor químico (CVD) y la epitaxia de haz molecular (MBE)El espesor de la capa epitaxial suele oscilar entre unos pocos micrones y varios cientos de micrones. Se utiliza para fabricar dispositivos electrónicos de potencia (como MOSFET, diodos, etc.),ampliamente utilizado en vehículos eléctricosSe utiliza también en sensores de alta temperatura y dispositivos de RF.Los dispositivos SiC tienen una mayor resistencia al voltaje y una mejor eficienciaCon el crecimiento de los vehículos eléctricos y los mercados de energías renovables, el consumo de energía renovable ha aumentado considerablemente.la demanda de láminas epitaxiales de carburo de silicio sigue aumentando.
Nuestra empresa se especializa en productos epitaxiales homogéneos de carburo de silicio cultivados en sustratos de carburo de silicio, conocidos por su alta tolerancia al voltaje, fuerte resistencia a la corriente,y alta estabilidad operativaEstas características lo convierten en una materia prima crucial para la fabricación de dispositivos de potencia.Las obleas epitaxiales de carburo de silicio sirven como piedra angular para la producción de dispositivos de potencia y son esenciales para optimizar el rendimiento del dispositivo.
A. Estructura cristalina
Este politipo tiene una constante de red más pequeña, alta movilidad de electrones y velocidad de electrones de saturación, lo que lo hace ideal para dispositivos de alta frecuencia y alta potencia.El ancho de banda de 4H-SiC es aproximadamente 3.26 eV, proporcionando un rendimiento eléctrico estable a altas temperaturas.
B. Propiedades electrónicas
El ancho de banda del carburo de silicio determina su estabilidad a
altas temperaturas y bajo altos campos eléctricos.permitirles
mantener un excelente rendimiento eléctrico a temperaturas que
alcanzan varios cientos de grados, mientras que el silicio
tradicional (Si) tiene una anchura de banda de sólo 1,12 eV.
Velocidad de electrones de saturación: el carburo de silicio tiene
una velocidad de electrones de saturación cercana a 2 × 107 cm/s,
aproximadamente el doble que el silicio,mejorar aún más su
competitividad en aplicaciones de alta frecuencia y alta potencia.
C. Propiedades térmicas
El carburo de silicio presenta una excelente conductividad térmica
y un coeficiente de expansión térmica, por lo que funciona
excepcionalmente bien en entornos de alta potencia y alta
temperatura.
Coeficiente de expansión térmica: El coeficiente de expansión
térmica del carburo de silicio es de alrededor de 4.0 × 10−6 /K,
similar al silicio.Su funcionamiento estable a altas temperaturas
ayuda a reducir el esfuerzo mecánico durante los procesos de ciclo
térmico.
D. Propiedades mecánicas
El carburo de silicio es conocido por su dureza, resistencia a la
abrasión, excelente estabilidad química y resistencia a la
corrosión.
Dureza: El carburo de silicio tiene una dureza de Mohs de 9.5,
cercana a la del diamante, proporcionándole una alta resistencia al
desgaste y resistencia mecánica.
Estabilidad química y resistencia a la corrosión: la estabilidad
del carburo de silicio a altas temperaturas, presiones,y ambientes
químicos hostiles lo hace adecuado para dispositivos electrónicos y
aplicaciones de sensores en condiciones adversas.
1Características del material
Los dispositivos de energía de carburo de silicio difieren en los
procesos de fabricación de los dispositivos de energía de silicio
tradicionales.Las capas epitaxiales de alta calidad deben
cultivarse en sustratos de tipo conductor de cristal único., donde
se pueden fabricar diversos dispositivos.
2- Mejorar la calidad del material
Los sustratos de carburo de silicio pueden contener defectos como
límites de grano, dislocaciones, impurezas, etc., que pueden
afectar significativamente el rendimiento y la confiabilidad del
dispositivo.El crecimiento epitaxial ayuda a formar una nueva capa
de carburo de silicio en el sustrato con una estructura cristalina
completa y menos defectos, mejorando así significativamente la
calidad del material.
3Control preciso del dopaje y del grosor
El crecimiento epitaxial permite controlar con precisión el tipo y
la concentración de dopaje en la capa epitaxial, así como el grosor
de la capa epitaxial.Esto es crucial para la fabricación de
dispositivos basados en carburo de silicio de alto rendimiento, ya
que factores como el tipo y la concentración de dopaje, el grosor
de la capa epitaxial, etc., afectan directamente a las propiedades
eléctricas, térmicas y mecánicas de los dispositivos.
4Control de las características del material
Al hacer crecer el SiC epitaxialmente en sustratos, se pueden
lograr diferentes orientaciones cristalinas del crecimiento del SiC
en varios tipos de sustratos (como 4H-SiC, 6H-SiC, etc.),obtención
de cristales de SiC con direcciones específicas de la cara del
cristal para satisfacer los requisitos de características del
material de diferentes campos de aplicación.
5. Eficiencia de los costes
El crecimiento del carburo de silicio es lento, con una tasa de
crecimiento de sólo 2 cm por mes, y un horno puede producir
alrededor de 400-500 piezas por año.la producción por lotes puede
lograrse en procesos de producción a gran escalaEste método es más
adecuado para las necesidades de producción industrial en
comparación con el corte directo de bloques de SiC.
Las obleas epitaxiales de carburo de silicio tienen una amplia gama de aplicaciones en dispositivos electrónicos de potencia, que abarcan áreas como vehículos eléctricos, energía renovable y sistemas de energía industrial.
1P: ¿Qué es la epitaxis de SiC?
R:El crecimiento epitaxial se utiliza para producir capas activas
de estructuras de dispositivos basadas en carburo de silicio (SiC)
con densidad y grosor de dopado diseñados.
2¿Cómo funciona la epitaxis?
R: epitaxia, el proceso de crecimiento de un cristal de una
orientación particular sobre otro cristal, donde la orientación
está determinada por el cristal subyacente.
3P: ¿Qué significa la epitaxis?
R: La epitaxia se refiere a la deposición de una capa sobre un
sustrato cristalino, donde la capa está en registro con el
sustrato.
(Clic en la imagen para más información)
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1Podemos personalizar el tamaño del sustrato de SiC para satisfacer sus requisitos específicos.
2El precio está determinado por el caso, y los detalles del embalaje se pueden personalizar a su preferencia.
3El tiempo de entrega es de 2-4 semanas. Aceptamos el pago a través de T/T.
4Nuestra fábrica tiene equipos de producción avanzados y equipo técnico, que puede personalizar varias especificaciones, espesores y formas de obleas SiC de acuerdo con los requisitos específicos de los clientes.