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Bomba de Maglev, CXF-250/2301E, refrigeración por agua, a bordo
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos son las bombas cuyo el shafting se apoya en virtud de fuerza magnética.
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos de la serie son equipo de la generación del vacío desarrollado por KYKY para cumplir los requisitos de uso para los campos de la fabricación moderna del semiconductor, fabricación del microprocesador, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos.
Tecnologías:
Usos:
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos de la serie se aplican principalmente a los campos de la fabricación del semiconductor, fabricación del clip, galjanoplastia industrial y los instrumentos científicos, especialmente a la extracción de los gases corrosivos que existen en grabado de pistas, CVD, PVD e implantación y los gases de ion coagulados fácilmente en la temperatura normal.
Especificaciones:
Reborde (adentro) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
Reborde (hacia fuera) KF | DN40 |
Velocidad de bombeo (L/s) | 2:2300de N |
AR: 2250 | |
Él: 1900 | |
2:850de H | |
Ratio de compresión | N 2:108 |
AR: 108 | |
Él: 104 | |
H 2:103 | |
Presión de Ultimated (PA) | CF: 1×10-6 |
ISO-K/F: 6×10-6 | |
Presión del Delantera-vacío de Max. Continuous (PA) | 60 |
Presión máxima del Delantera-vacío | 2:250de N |
Gas en (sccm) | 2:3600de N |
AR: 1400 | |
Él: 2800 | |
2:2100de H | |
Velocidad de rotación (RPM) | 27000 |
Tiempo del punto fijo (minuto) | ≤11 |
Tipo de enfriamiento, estándar | Agua |
Consumo de agua de enfriamiento (l/min) | 1 |
Temperatura del agua de enfriamiento (℃) | 20 |
Conexión de poder: Voltaje (CA de V) | 220 |