1500C CVD SIC horno de crecimiento epitaxi para el crecimiento de carburo de silicio en 1000 * 1000 * 1500mm espacio efectivo
Número de modelo:Personalizable
Lugar de origen:China.
Cantidad mínima de pedido:1 juego
Condiciones de pago:L/C, T/T
Capacidad de suministro:Entre 5 y 6 meses/conjunto
Tiempo de entrega:5-6 meses
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Zhuzhou Hunan China
Dirección:
No.755, Xianyuehuan Rd, distrito de Tianyuan, Zhuzhou, provincia de Hunán
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Horno de crecimiento de epitaxia para el carburo de silicio (CVD SIC) HTCVD
Este equipo se utiliza para el recubrimiento de carburo de silicio de materiales a base de carbono/cerámica,especialmente la deposición de carburo de silicio en la superficie del susceptor epitaxial del semiconductor y el anillo de grabado.
Base epitaxial, un disco de grafito de alta pureza, con una ranura circular para fijar el sustrato de la oblea.Después de colocarlos en el horno, una capa de película cristalina crecerá en la superficie del sustrato, que es la capa epitaxial.Los procesos de obleas como la litografía y la implantación de iones se llevan a cabo en la capa epitaxial.
La base epitaxial hecha de grafito obviamente no puede cumplir con los requisitos de limpieza ultra elevados en el proceso de semiconductores.Por esta razón, necesitamos usar deposición de vapor químico en la base para envolver una capa de película densa de carburo de silicio.
Configuración opcional
1. Puerta del horno: tipo de elevación de
tornillo/hidráulico/manual; apertura de oscilación/apertura
paralela ((puerta del horno de gran tamaño); cerradura
manual/cerradura automática
2. recipiente de horno: todo acero al carbono/capa interior de
acero inoxidable/todo acero inoxidable
3Zona caliente del horno: fieltro de carbono blando/fieltro de
grafito blando/fieltro de compuestos rígidos/CFC
4. elemento de calefacción y muffle: grafito de prensa
isostática/grafito de alta pureza, resistencia y densidad/grafito
de tamaño fino
5- Sistema de gas de proceso: medidor de caudal de volumen/masa;
6. Termócouple: tipo K/tipo N/tipo C/tipo S
• Normas de diseño
El equipo está diseñado de acuerdo con los requisitos de los
recipientes a presión de la Oficina de Supervisión Técnica y de
Calidad, y está calificado después de los ensayos de presión y
enviado.El diseño y la construcción eléctrica cumplen con las
normas nacionales.
• Prueba previa a la instalación y aceptación previa
El equipo está completamente ensamblado en nuestra fábrica,
incluyendo todas las tuberías, tuberías de vacío, tuberías de gas
de proceso, tuberías de agua de enfriamiento, tuberías de aire
comprimido, etc.Los ensayos previos pueden realizarse después de la
instalaciónEn el emplazamiento del cliente, las tuberías que no
sean el equipo son proporcionadas por el cliente.el cable principal
que conecta el gabinete eléctrico es proporcionado por el
clienteDespués de la instalación, realizamos pruebas de vacío y de
presión positiva en todo el equipo, así como pruebas de función
mecánica y eléctrica.
• Desmontaje y transporte
El equipo será desmontado en varias partes grandes, empaquetado de
manera estandarizada y cargado en el vehículo de transporte.
• Instalación y puesta en marcha del sitio del cliente
El ingeniero postventa de Redel dirigirá al equipo para completar
la puesta en marcha, la quema de pruebas de productos y otros
trabajos dentro de los 20 días hábiles.El cliente debe hacer los
preparativos adecuados y proporcionar las herramientas necesarias,
como equipos de elevación y elevación, y proporcionar apoyo al
personal de instalación (se recomienda contar con 1 personal
mecánico y 1 personal eléctrico).
• Aceptación final
Después de la instalación y puesta en marcha, el equipo podrá ser
finalmente aceptado de conformidad con los requisitos del contrato
técnico.
• Formación
Nuestros ingenieros postventa proporcionarán una formación
sistemática y completa en el sitio, incluyendo operación,
mantenimiento, solución de problemas, etc.
• Entrega de datos técnicos
Para garantizar una operación y un mantenimiento seguros de los
equipos, se facilitarán a los clientes los siguientes datos
técnicos:
1- Diseño de la instalación del equipo
2. Manual del usuario
3. Lista de piezas de repuesto
4Dibujos eléctricos
5. Manual del componente
Preguntas frecuentes
¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?
P: ¿Es usted una fábrica o una empresa comercial?
R: Somos el principal fabricante de hornos de vacío de alta
temperatura de China con más de 10 años de experiencia.
¿Tiene un servicio de personalización o OEM?
P: ¿Tiene servicio de personalización o OEM?
R: Sí, tenemos un poderoso equipo de I+D y equipos de alta
tecnología. Por lo tanto, no sólo podemos suministrar el modelo
regular, sino también el horno personalizable como reposición de
nuestros clientes.
¿Cuál es tu ventaja?
P: ¿Cuál es su ventaja?
A: ¿Qué quieres decir?
Respuesta rápida a su consulta
L Control de calidad elevado
L Cadena de suministro estable
L Entrega oportuna
Un excelente servicio postventa
1500C CVD SIC horno de crecimiento epitaxi para el crecimiento de carburo de silicio en 1000 * 1000 * 1500mm espacio efectivo
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