TaN Ta2O5 Películas ópticas Sistema de deposición por pulverización magnética, deposición auxiliar de haz iónico

La pulverización magnética se utiliza ampliamente para depositar metales refractarios como el tántalo, el titanio, el tungsteno,Niobio, que requeriría temperaturas de deposición muy altas, y metales preciosos: oro y plata y que también se utiliza para la deposición de metales con puntos de fusión más bajos como cobre, aluminio, níquel, cromo, etc.

El tántalo es el más utilizado en la electrónicaindustriacomo recubrimiento protector debido a su buena resistencia a la erosión.

Aplicaciones de la película delgada de tántalo pulverizado:
1- industria de la microelectrónica, ya que las películas pueden ser pulverizadas reactivamente y, por lo tanto, se puede controlar la resistividad y el coeficiente de temperatura de la resistencia;

2. Instrumentos médicos como los implantes corporales por su alta propiedad de biocompatibilidad;
3. Los componentes de las máquinas de ensamblaje y de las máquinas de ensamblaje y de ensamblaje de materiales de ensamblaje y de ensamblaje de materiales de ensamblaje y de ensamblaje de materiales de ensamblaje y de ensamblaje de materiales de ensamblaje y de ensamblaje de materiales de ensamblaje.
4. El tántalo pulverizado también se puede utilizar como una barrera de resistencia a la corrosión eficaz si el recubrimiento es continuo, defectuoso y se adhiere al sustrato..

5Industria de semiconductores, microchips electrónicos

Ventajas técnicas

1. Se aplica un carrito estandarizado que permite la carga y descarga fácil y segura de los soportes de sustrato y piezas de trabajo dentro y fuera de la cámara de deposición.
2. El sistema está bloqueado de seguridad para evitar el funcionamiento incorrecto o prácticas peligrosas
3. Los calentadores de sustrato se proporcionan que montado en el centro de la cámara, termoparejo controlado por PID para una alta precisión, para mejorar la adhesión de la película de condensación
4. Configuraciones de bombas de vacío fuertes con bomba molecular de suspensión magnética a través de una válvula de puerta conectada a la cámara; respaldada con la bomba de raíces de Leybold y la bomba de veleta rotativa de dos etapas, bomba mecánica.
5. Con este sistema se aplica una fuente de plasma ionizado de alta energía para garantizar la uniformidad y la densidad.
   
   
   

Sistema de deposición de pulverización de tantalo estandarizado de Royal Technology: RTSP1000

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Shanghai Royal Technology Inc. se estableció en 2006, es un proveedor mundial de equipos de vacío de alta calidad con ubicaciones clave en todo el mundo.La tecnología de investigación y desarrollo está apoyada por ingenieros especializados en los Estados Unidos y China.Las instalaciones de fabricación de maquinaria de alta tecnología se encuentran en Shanghai y nuestra red global de centros de servicio garantizan una respuesta rápida al servicio al cliente en lugares clave.

Shanghai Royal Technology tiene un fuerte impulso para el diseño innovador y la selección de componentes de alta calidad,Combinado con un proceso de montaje muy cuidadoso y un equipo de primer nivel de técnicos e inventores talentosos, que nos permiten ofrecer soluciones de revestimiento llave en mano con equipos de vacío de alto nivel, que cumplen y a menudo superan el estándar occidental.Estamos decididos a servir al mercado mundial en varias industrias como:

Electrónica de consumo, automoción, energía renovable, arquitectura, nano y materiales biomédicos.

El modelo RTAS, el arco y el equipo de serie integrado de pulverización pueden producir películas negras y de bronce altamente reflectantes específicamente para recubrimientos decorativos de alta calidad.

RTSP1200-FCEV, Es un sistema de pulverización con proceso PECVD para depositar una película delgada en módulos de energía de pilas de combustible de hidrógeno.Los vehículos de pila de combustible son la última tecnología para la próxima generación de coches respetuosos con el medio ambienteLa principal ventaja y el progreso tecnológico en comparación con las baterías de uso común como las células secas necesitan someterse a un proceso de recarga recurrente.pero los módulos de energía de la célula de combustible de hidrógeno sólo requieren reacción de hidrógeno y oxígeno para generar energía para la conducción.

RTSP1200-DPC,Este sistema de recubrimiento se utiliza exclusivamente para el proceso de sustratos cerámicos DPC (Direct Plating Copper). Los sustratos cerámicos DPC se utilizan ampliamente en varias aplicaciones:Por ejemplo, en LED de alto brillo para aumentar la longevidad debido a su alto rendimiento de radiación térmica, equipos de semiconductores, en la comunicación inalámbrica de microondas, electrónica militar, diversos sustratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviario, energía eléctrica y mucho más.

RT-CsI950, planta de revestimiento por evaporación se aplica a la deposición de película de CsI para dispositivos de imagen de rayos X. Es una técnica avanzada para evaporar CsI en la pantalla para crear imágenes de alta calidad.El rendimiento de alta resolución permite que esta aplicación sea extremadamente eficiente y perturbadora en el instrumento médico, industria de la energía nuclear, control e inspección de seguridad, materias de física de alta energía y más.

Shanghai Royal Technology también diseñó y desarrolló con éxito el sistema de metalización de vacío de aluminio de tamaño grande de modelo de cubo y cilindro que se utiliza para el recubrimiento de placas de logotipo automotriz.

Vivimos localmente, pensamos globalmente es nuestra visión. Vivimos nuestro día a día de negocios por el concepto de "Integritad y Solidaridad",Siempre luchando por la innovación para lograr situaciones de ganar-ganar en nuestro ecosistema de socios de todo el mundoComo pioneros en la industria de equipos de recubrimiento de vacío, nunca confiamos en los logros anteriores,Pero continuamente tratamos de explorar el mundo en constante cambio de la industria de revestimiento de vacío para siempre crear óptimo económico, beneficios sociales y medioambientales para nuestros clientes.

La cultura de la tecnología real

La visión de ROYAL:Para ser el proveedor de marca mundialmente famoso de proporcionar soluciones totales a los requisitos de los clientes.

La misión real:Proteger el medio ambiente, salvar nuestro planeta azul, mejorar el ambiente de trabajo, mejorar la eficiencia del trabajo, ayudar completamente a los propietarios a reducir los costes de producción.

Filosofía de ROYAL:El Consejo Europeo de Bruselas ha aprobado una propuesta de directiva sobre la protección de los consumidores en el sector de la salud.

Valor de la propiedad real:La industria manufacturera de China y de todo el mundo se encuentra a la vanguardia de la innovación, la investigación y el desarrollo de tecnologías avanzadas.

Servicio de la Real:Servicio de una sola parada, con tecnología y productos excelentes, dedicación profesional para servir a nuestros clientes.