Múltiplo de R y de D - equipo frecuencia intermedia de la vacuometalización de las funciones/cátodos de la farfulla de DC, con el dispositivo linear de la fuente de ion

Múltiplo de R y de D - equipo frecuencia intermedia de la vacuometalización de las funciones/cátodos de la farfulla de DC

Equipo de la vacuometalización de las Múltiple-funciones del R&D

Palabras claves: Las capas duras de PVD, proceso de PECVD, película de DLC, diamante les gusta la película de carbono, película óptica de la farfulla, cátodo de la farfulla del magnetrón de Gencoa, fuente de ion, PA PVD

Características del diseño de RTAC950-SP:

• Flexibilidad: forme arcos y farfulle las fuentes, dispositivos lineares de la fuente de ion que los rebordes de montaje se estandardizan para el intercambio flexible
• Flexibilidad: disponible para la variedad del depósito de metales bajos y aleaciones, capas ópticas y capas duras, capas suaves. Películas compuestas y películas de lubricante sólidas en los substratos metálicos y nos-metálico de los materiales
• Diseño directo: estructura de puerta 2, frente y abertura trasera para el mantenimiento fácil.

Especificaciones técnicas

• Funcionamiento

1. Última presión del vacío: mejore que PA 8.0*10-4;

• Base la presión del vacío: PA 3.0*10-2

3. Tiempo muerto de bombeo: de la atmósfera a los minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)

4. Fuente de la deposición: Cátodos de la farfulla del magnetrón de Gencoa, cátodos dirigidos del arco, fuente de ion

5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente

6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 500℃,

9. Fuente de ion para el proceso de PECVD y del PA PVD.

• Estructura

La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:

1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Profundidad interna 950m m

Altura interna: 1350m m

1,2 material: Cámara de vacío SUS304

Puerta y rebordes SUS304

La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.

Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.

1,3 escudo de la cámara: SUS304

1,4 ventana de la visión: en puertas de la cámara -2

1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)

1,6 puerta: 2 sistemas, frentes y partes posteriores, material SUS304

2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
Bomba de vacío rotatoria de la paleta del aceite + sosteniendo la bomba

3. Sistema de bombeo del alto vacío:

Bomba molecular de Turbo - 2 sistemas

4. Sistema eléctrico de ScreenOperation del tacto del sistema PLC+ del control y de la operación:

Proveedores:

PLC: Mitsubishi, modelo: SERIE FX-IN60MR-001

Componentes electrónicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de protección de la seguridad: Dispositivos de seguridad numerosos para proteger los operadores y el equipo (agua, gas actual, temperatura etc.)

La capa procesa el sistema: Automatización de proceso y control. Ahorrado automáticamente en la memoria por 3 meses. Datos de capa ofrecidos de las recetas: la corriente de la operación de la blanco/el voltaje, flujo total, presión del vacío, temperatura, las épocas de capa se ahorra para que un análisis aumente la calidad de las capas.

4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie

4,2 fuente de alimentación: Poder de la farfulla de la frecuencia intermedia + poder del arco de DC + fuente de alimentación diagonal

4,3 sistema de control de la deposición

4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta

4,5 sistema de medición

Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador + indicador de vacío de la gama completa -- Marca de Europa

Aparato de medición de la temperatura: Termopar
MFC: Regulador del flujo total (4 maneras),

4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación

4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga

5. sistema de la deposición

5,1 fuente de la deposición: Fuentes del arco de la farfulla cathodes+ + fuente de ion

5,2 material de la deposición: ITO, titanio, Chrome, aluminio, acero inoxidable, TiAl etc.

6. Subsistema

6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire

6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente

7. Ambiente de trabajo

Aire comprimido: 5~8kg/cm2

Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de energía media: 60KW

Área de la instalación: (L*W*H) 4400*3200*2950m m

Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas

Usos

Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.

Shanghai Royal Technology Inc. se estableció en 2006, es un proveedor mundial de equipos de vacío de alta calidad con ubicaciones clave en todo el mundo.La tecnología de investigación y desarrollo está apoyada por ingenieros especializados en los Estados Unidos y China.Las instalaciones de fabricación de maquinaria de alta tecnología se encuentran en Shanghai y nuestra red global de centros de servicio garantizan una respuesta rápida al servicio al cliente en lugares clave.

Shanghai Royal Technology tiene un fuerte impulso para el diseño innovador y la selección de componentes de alta calidad,Combinado con un proceso de montaje muy cuidadoso y un equipo de primer nivel de técnicos e inventores talentosos, que nos permiten ofrecer soluciones de revestimiento llave en mano con equipos de vacío de alto nivel, que cumplen y a menudo superan el estándar occidental.Estamos decididos a servir al mercado mundial en varias industrias como:

Electrónica de consumo, automoción, energía renovable, arquitectura, nano y materiales biomédicos.

El modelo RTAS, el arco y el equipo de serie integrado de pulverización pueden producir películas negras y de bronce altamente reflectantes específicamente para recubrimientos decorativos de alta calidad.

RTSP1200-FCEV, Es un sistema de pulverización con proceso PECVD para depositar una película delgada en módulos de energía de pilas de combustible de hidrógeno.Los vehículos de pila de combustible son la última tecnología para la próxima generación de coches respetuosos con el medio ambienteLa principal ventaja y el progreso tecnológico en comparación con las baterías de uso común como las células secas necesitan someterse a un proceso de recarga recurrente.pero los módulos de energía de la célula de combustible de hidrógeno sólo requieren reacción de hidrógeno y oxígeno para generar energía para la conducción.

RTSP1200-DPC,Este sistema de recubrimiento se utiliza exclusivamente para el proceso de sustratos cerámicos DPC (Direct Plating Copper). Los sustratos cerámicos DPC se utilizan ampliamente en varias aplicaciones:Por ejemplo, en LED de alto brillo para aumentar la longevidad debido a su alto rendimiento de radiación térmica, equipos de semiconductores, en la comunicación inalámbrica de microondas, electrónica militar, diversos sustratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviario, energía eléctrica y mucho más.

RT-CsI950, planta de revestimiento por evaporación se aplica a la deposición de película de CsI para dispositivos de imagen de rayos X. Es una técnica avanzada para evaporar CsI en la pantalla para crear imágenes de alta calidad.El rendimiento de alta resolución permite que esta aplicación sea extremadamente eficiente y perturbadora en el instrumento médico, industria de la energía nuclear, control e inspección de seguridad, materias de física de alta energía y más.

Shanghai Royal Technology también diseñó y desarrolló con éxito el sistema de metalización de vacío de aluminio de tamaño grande de modelo de cubo y cilindro que se utiliza para el recubrimiento de placas de logotipo automotriz.

Vivimos localmente, pensamos globalmente es nuestra visión. Vivimos nuestro día a día de negocios por el concepto de "Integritad y Solidaridad",Siempre luchando por la innovación para lograr situaciones de ganar-ganar en nuestro ecosistema de socios de todo el mundoComo pioneros en la industria de equipos de recubrimiento de vacío, nunca confiamos en los logros anteriores,Pero continuamente tratamos de explorar el mundo en constante cambio de la industria de revestimiento de vacío para siempre crear óptimo económico, beneficios sociales y medioambientales para nuestros clientes.

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La misión real:Proteger el medio ambiente, salvar nuestro planeta azul, mejorar el ambiente de trabajo, mejorar la eficiencia del trabajo, ayudar completamente a los propietarios a reducir los costes de producción.

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