Máquina de Sputtering del magnetrón de PVD MF / DC en los platos y cubiertos, componentes electrónicos del acero inoxidable

Número de modelo:RTAC1250-SPMF
Lugar del origen:Hecho en China
Cantidad de orden mínima:1 set
Condiciones de pago:CARTA DE CRÉDITO, D/A, D/P, T/T
Capacidad de la fuente:6 sistemas por mes
Plazo de expedición:12 semanas
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Dirección: ZONA INDUSTRIAL DEL CAMINO DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Máquina de la farfulla del magnetrón de PVD frecuencia intermedia/de DC en los platos y cubiertos, componentes electrónicos del acero inoxidable

 

 

Equipo de la deposición de la farfulla del magnetrón de MF/DC, PVD que farfulla en los platos y cubiertos, componentes electrónicos del acero inoxidable

 

Resumen: La evaporación del arco de PVD combinada perfectamente con tecnología de la farfulla de la frecuencia intermedia, genera la calidad de gama alta funcional y las capas estéticas en productos emergen.

 

¿Por qué farfulla de la frecuencia intermedia?
Comparado con DC y el RF que farfullaban, la frecuencia media que farfullaba se ha convertido en una técnica principal de la farfulla de la película fina para la producción en masa de la capa, particularmente para la deposición de la película de las capas dieléctricas y no-conductoras de la película en superficies tales como capas ópticas, paneles solares, capas múltiples, película etc. del material compuesto.
Está substituyendo la farfulla del RF debido a ella actuó con el kilociclo bastante que el megaciclo para una tarifa de deposición mucho más rápida y también puede evitar el envenenamiento de la blanco durante la deposición compuesta de la película fina como DC.

Las blancos de la farfulla de la frecuencia intermedia existieron siempre con los dos-sistemas. Dos cátodos se utilizan con una corriente de la CA cambiada hacia adelante y hacia atrás entre ellas cuáles limpian la superficie de la blanco con cada revocación para reducir el aumento de la carga en los dieléctricos que ése lleva a la formación de arcos que puede arrogar gotitas en el plasma y prevenir crecimiento de película fina uniforme--- cuál es lo que llamamos Target Poisoning.


Con el sistema de la farfulla de la frecuencia intermedia, podemos conseguir el color del grafito, los datos del LABORATORIO: (L: 30~35). A: - 0,04, B: 08

 

Palabras claves: Capa decorativa de los productos electrónicos de consumo PVD, decoración de los platos y cubiertos PVD del acero inoxidable,

Alta capa del glosario PVD de la perla, galjanoplastia del negro del anillo de finger, capa del instrumento médico DLC,

Películas de la resistencia PVD de la corrosión y de desgaste, metalizer del alto vacío.

 

La tecnología real ha desarrollado 3 máquinas estandardizadas para que diversa capacidad satisfaga la nuestra demanda y los usos de cliente.

 

Especificación técnica de la máquina de la galjanoplastia del acero inoxidable PVD
ModeloRTAC1008-SPMFRTAC1250-SPMFRTAC1612-SPMF
Tamaño eficaz de la cámaraΦ1000 x H800mmΦ1250 x H1250mmΦ1600 x H1200mm
Fuentes de la deposición

Cátodo de la farfulla del arco del cilindro (arco circular dirigido para la opción) +MF +

Fuente de ion linear

Sistema de bombeo de vacío (Leybold bombea + la bomba molecular de Turbo)

 

SV300B - 1 sistema (³ /hr de los 300m)SV300B - 1 sistema (³ /hr de los 300m)SV300B - sistema 2 (³ /hr de los 300m)

WAU1001-1set

(³ /hr del 1000m)

WAU1001-1set

(³ /hr del 1000m)

WAU2001-1set

(³ /hr del 1000m)

D60T- 1 sistema (³ /hr de los 60m)D60T- 1 sistema (³ /hr de los 60m)D60T- 1 sistema (³ /hr de los 60m)

Bombas moleculares de Turbo:

2 sistemas (3500L/S)

Bombas moleculares de Turbo:

2 sistemas (3500L/S)

Bombas moleculares de Turbo:

3 sistemas (3500L/S)

Fuente de alimentación de la farfulla1*24KW (FRECUENCIA INTERMEDIA)2*36KW (FRECUENCIA INTERMEDIA)3*36KW (FRECUENCIA INTERMEDIA)
Fuente de alimentación del arco6*5KW7*5KW8*5KW
Fuente de alimentación diagonal1*24KW1*36KW1*36KW
Roces planetarios6/812/1620
Calentadores6*2.5KW8*2.5KW9*2.5KW
Último vacío9.0*10-4Pa (vacío, limpio, temperatura ambiente)9.0*10-4Pa (vacío, limpio, temperatura ambiente)9.0*10-4Pa (vacío, limpio, temperatura ambiente)
Duración de ciclo (depende de la bomba)40' ~50' depende de recetas del material y de la capa del substrato
Requisito de alimentación de trabajolíneas 3Phase 4, AC380V, 50HZ, 35KWlíneas 3Phase 4, AC380V, 50HZ, 120KWlíneas 3Phase 4, AC380V, 50HZ, 150KW
Agua de enfriamientoSÍ, refrigerador de agua industrial
Procesando el gas (99,99%)4 maneras4 maneras4 maneras
Huella (milímetros)2000*2000*23004000*4500*32005500*5000*3600
Peso total (KILOGRAMOS)450070009000
Consumo de energía total (aproximadamente)50KW110KW170KW
Consumo de energía real (aproximadamente)30KW60KW80KW

 

 

 

Sobre parámetros técnicos solamente para la referencia, la tecnología real se reserva la derecha para la producción final basada en usos especificados. Le proporcionamos no sólo la máquina de capa pero las soluciones totales de la capa, servicio de llavero-proyecto están disponibles.

 

Muestras de la capa:

 

 

 

 

 

 

Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.

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