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La máquina de la vacuometalización del grafito PVD/el color de la decoración PVD del negro azabache acaba
Estructuras de la máquina de la vacuometalización del grafito PVD:
Fuentes de la deposición
Fuentes circulares dirigidas del arco para la evaporación de la
blanco sólida del metal;
2 pares de cátodos unblanced frecuencia intermedia de la farfulla
para la deposición de la capa de la película fina del grafito;
Fuente de alimentación diagonal para que bomboardment del ion forme
el área del plasma para el tratamiento previo;
Unidad linear de la fuente de ion del ánodo (para opcional) proceso
de PACVD y de PECVD;
Cryopump (Polycold) para la condensación molecular del agua (para
opcional)
Otros módulos
1. cámara de vacío
2. sistema de bombeo de vacío de Rouhging (paquete de la bomba del
forro)
3. sistema de bombeo de alto vacío (magnético bomba molecular de la
suspensión)
4. sistema eléctrico del control y de la operación
5. sistema de la instalación de Auxiliarry (subsistema)
6. sistema de la deposición: Cátodo de la farfulla de la frecuencia
intermedia, fuente de alimentación de la frecuencia intermedia,
fuente de ion diagonal de la fuente de alimentación para opcional
Funcionamiento de la máquina de la vacuometalización del grafito
PVD
1. última presión del vacío: mejore que los torres 5.0×10-6.
2. presión de funcionamiento del vacío: Torres 1.0×10-4.
3. tiempo de Pumpingdown: a partir de 1 atmósfera a 1.0×10-4 Torr≤
3 minutos (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)
4. metalización del material (que farfulla + evaporación del arco):
Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr, lata, tic, TiAlN, CrN, CrC, etc.
5. modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno
manualmente
¿Qué la frecuencia intermedia está farfullando?
Comparado con DC y el RF que farfullaban, la frecuencia media que
farfullaba se ha convertido en una técnica principal de la farfulla
de la película fina para la producción en masa de la capa,
particularmente para la deposición de la película de las capas
dieléctricas y no-conductoras de la película en superficies tales
como capas ópticas, paneles solares, capas múltiples, película etc.
del material compuesto.
Está substituyendo la farfulla del RF debido a ella actuó con el
kilociclo bastante que el megaciclo para una tarifa de deposición
mucho más rápida y también puede evitar el envenenamiento de la
blanco durante la deposición compuesta de la película fina como DC.
Las blancos de la farfulla de la frecuencia intermedia existieron
siempre con los dos-sistemas. Dos cátodos se utilizan con una
corriente de la CA cambiada hacia adelante y hacia atrás entre
ellas cuáles limpian la superficie de la blanco con cada revocación
para reducir el aumento de la carga en los dieléctricos que ése
lleva a la formación de arcos que puede arrogar gotitas en el
plasma y prevenir crecimiento de película fina uniforme--- cuál es
lo que llamamos Target Poisoning.
Los tamaños de sistema de la farfulla de la frecuencia intermedia
de la decoración del grafito del metal:
Tamaño interno de la cámara: Diámetro 1200 milímetro ~ 1600m m
Altura interna de la cámara: 1250m m ~ 1300m m
Los tamaños modificados para requisitos particulares de la máquina
están también disponibles basados en la demanda especular de los
productos 3D.
Especificaciones del sistema RTAC1250-SPMF de la farfulla de la
frecuencia intermedia
MODELO | RTAC1250-SPMF | ||||||
TECNOLOGÍA | Magnetrón de la frecuencia intermedia que farfulla + galjanoplastia del ion | ||||||
MATERIAL | Acero inoxidable (S304) | ||||||
TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1250*H1250mm | ||||||
TIPO DE LA CÁMARA | Cilindro, vertical, 1 puerta | ||||||
SISTEMA DE LA FARFULLA | Exclusivamente diseño para la deposición negra fina de la película | ||||||
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | Aluminio, plata, cobre, Chrome, acero inoxidable, Níquel | ||||||
FUENTE DE LA DEPOSICIÓN | 2 sistemas que la farfulla cilíndrica de la frecuencia intermedia apunta + 8 dirigieron fuentes catódicas del arco + la fuente de ion para opcional | ||||||
GAS | Maneras MFC 4, AR, N2, O2, C2H2 | ||||||
CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + | ||||||
SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 sistema (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 fija (Leybold) | |||||||
D60T- 1 sistema (Leybold) | |||||||
Bombas moleculares de Turbo: 2* F-400/3500 | |||||||
TRATAMIENTO PREVIO | Fuente de alimentación diagonal: Kilovatio 1*36 | ||||||
SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger a operadores | ||||||
ENFRIAMIENTO | Agua fría | ||||||
PODER ELÉCTRICO | 480V/3 phases/60HZ (los E.E.U.U. obedientes) | ||||||
460V/3 phases/50HZ (Asia obediente) | |||||||
380V/3 phases/50HZ (EU-CE obediente) | |||||||
HUELLA | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
PESO TOTAL | 7,0 T | ||||||
HUELLA | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MILÍMETRO | ||||||
DURACIÓN DE CICLO | 30~40 minutos (dependiendo del material del substrato, geometría del substrato y condiciones ambientales) | ||||||
MÁXIMO DEL PODER. | 155 KILOVATIOS | ||||||
PODER MEDIO CONSUMO (APROXIMADAMENTE) | 75 KILOVATIOS |
La máquina de la vacuometalización del grafito PVD es una máquina emisora múltiple integrada de la deposición al
grafito general, al negro azabache, a las decoraciones azules del
color etc. en las piezas de metal, objetos del acero inoxidable.
Utilizado particularmente para los productos de lujo de la clase de
gama alta tenga gusto: electrónica: teléfono elegante, cámara,
ordenador portátil, golf, cuchara, bifurcaciones, cuchillo, tirador
de puerta, grifos; joyerías de los anillos de finger, del collar,
de los pendientes, de las pulseras, de los relojes etc.
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones,
tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de
la capa.