Máquina de capa de la farfulla del magnetrón del oro del Au en las obleas de silicio, diapositiva de cristal, hojas de cerámica

Número de modelo:RTAC-SP
Lugar del origen:Hecho en China
Cantidad de orden mínima:1 set
Condiciones de pago:CARTA DE CRÉDITO, D/A, D/P, T/T
Capacidad de la fuente:12 sistemas por mes
Plazo de expedición:12 semanas
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Dirección: ZONA INDUSTRIAL DEL CAMINO DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
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Máquina de capa de la farfulla del magnetrón del oro del Au en las obleas de silicio, diapositiva de cristal, hojas de cerámica

 

 

Magnetrón del oro del Au que farfulla en las obleas de silicio

 

Resumen:

Con la farfulla de PVD DC la tecnología puede depositar la película fina del metal del oro del Au en las diapositivas de cristal, obleas de silicio. Excepto la deposición del oro del Au, otras blancos del metal también disponibles: Plata (AG), (Cu) de cobre, (Al) de aluminio, Chrome (Cr), (Ti) inoxidable del acero (SS316L), Titanium para obtener conductor de películas funcionales o el alto glosario de la superficie estética en los diversos materiales del substrato.

Las características de la capa de la farfulla del oro:

 

1. La capa obligatoria es esencial aumentar el substrato y la adherencia de película metálica. La tecnología real ha desarrollado una gama de recetas de capa maduradas basadas en diversos usos, apoya a nuestros clientes con consejo profesional.

2. La aspereza (RMS - media cuadrada de la raíz) < 40="">

4. Pureza superficial de la capa de la farfulla del oro: una superficie limpia se requiere para los usos que emplean las modificaciones superficiales del oro. Dependiendo del PVD procese utilizado, llano del vacío en el sistema, la pureza original de la fuente del oro (sobre 99,99% generalmente)

 

Palabras claves: Deposición de la película fina de la nano-estructura del oro del Au, magnetrón que farfulla, oro que farfulla, vacío de la película fina del oro de PVD del oro que metaliza el sistema

 

Usos:

 

El laboratorio de universidades, departamento del R&D de los materiales del metal fabrica, los centros de servicio de la vacuometalización de PVD, usados sobre todo en industria de electrónica como capa conductora y las ciencias para los especímenes etc. del microscopio.

 

Especificaciones técnicas:

 

MODELORTAC0808-SP
TECNOLOGÍADC que farfulla + fuente de ion (para la opción)
MATERIALAcero inoxidable (S304)
TAMAÑO DE LA CÁMARAΦ800*H800mm
TIPO DE LA CÁMARACilindro, vertical, 1 puerta
SISTEMA ROTATORIO DEL ESTANTEConducción planetaria/central
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓNOro, aluminio, plata, cobre, Chrome, acero inoxidable, níquel, titanio
FUENTE DE LA DEPOSICIÓNCátodos cilíndricos/planares de la farfulla: 2 o 3 para las fuentes del arco de option.+ 3
CONTROL DE GAS REACTIVOMFC, 2/4 de las maneras
CONTROLPLC (regulador programable de la lógica) +
Pantalla táctil
SISTEMA DE BOMBASV300B - 1 ³ /hr del sistema (Leybold) los 300m
Bomba de las raíces - 1 sistema, 150L/S
Sosteniendo la bomba - 1 sistema, ³ /hr de los 60m
Bomba molecular de Turbo: - 1 sistema, 3500L/S
FUENTE DE ALIMENTACIÓN

Fuente de alimentación diagonal: Kilovatio 1*24

Poder de la farfulla de DC: 2*24KW

SISTEMA DE SEGURIDADDispositivos de seguridad numerosos para proteger a operadores
y equipo
ENFRIAMIENTORecicle el agua de enfriamiento
CALEFACCIÓNCalentadores, 9KW
PODER ELÉCTRICO480V/3 phases/60HZ (los E.E.U.U. obedientes)
460V/3 phases/50HZ (Asia obediente)
380V/3 phases/50HZ (EU-CE obediente)
HUELLAL3200*W2600*H2000mm
PESO TOTAL3,0 T
DURACIÓN DE CICLO30~40 minutos (dependiendo del material del substrato,
geometría del substrato y condiciones ambientales)
MÁXIMO DEL PODER.50KW
CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA (APROXIMADAMENTE)20KW

 

Obleas del chapado en oro de PVD

 

 

 

 

Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.

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