Vacío de la campana de cristal que metaliza el CE inductivo de la máquina de la deposición del sistema C60

                                           Máquina de capa inductiva de la evaporación

Resumen:

La calefacción de inducción es ampliamente utilizada en diversos campos debido a la altas productividad y universalidad de proceso, la limpieza y la posibilidad de la automatización completa. Como un método de tecnología termal de la evaporación de PVD, el proceso es amistoso para el ambiente. Puesto que la inducción permite el alcanzar de la temperatura de 2000℃ y más, este método es muy conveniente para la producción industrial y científico investiga.

La máquina de capa de la evaporación de la inducción RTEP0404 se diseña para la deposición de evaporación C60 encendido varía de materiales. C60 fabrica proporciona el R&D y los resultados de la prueba para anticipado. Una herramienta fuerte que les ayuda para ampliar nuevas industrias aplicadas.

El primer sistema se produce para la universidad de Shangai. El modelo de la producción industrial está bajo proceso. 

Usos principales:

Para depositar capas y capas de la película fina encendido

• Semiconductores
• Vidrio
• Polímeros
• Electrónica
• La óptica
• Otros productos industriales incluyendo las películas del acondicionamiento de los alimentos, las tiras de metal etc.

Tipo:

Orientación vertical, modelo de la campana de cristal, abertura superior

Características del diseño:

• Última presión ultraalta del vacío: hasta PA 9.0*10-5;
• Rápido calentando para arriba los dispositivos para una buena adherencia;
• Sistema de capa robusto, compacto y sólido;
• Exclusivamente diseño de la fuente de la evaporación de la calefacción de inducción para la deposición C60;
• El poder del evaporador de la inducción: Moneda del RF

Especificaciones técnicas:

• Funcionamiento

1. Última presión del vacío: mejore que PA 9.0*10-5;

• Presión de funcionamiento del vacío: 6.0*10-4 PA del PA ~9.0*10-4;

Presión baja del vacío: PA 3.0*10-4

3. Tiempo muerto de bombeo: a partir de 1 atmósfera a los minutos de 2.0×10-3 Pa≤25 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)

4. Fuente de la deposición: evaporador de la inducción, crisol

5. Modelo de funcionamiento: Manualmente

6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 1000℃,

7. Poder de la evaporación:  Radiofrecuencia del RF y fuente de alimentación

8. Gas de trabajo: AR 

• Estructura

La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:

1. Cámara de vacío

1,1 tamaño: Diámetro interno 400m m

     Altura interna: 400m m

1,2 material: Cámara de vacío SUS304

La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.

Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.

1,3 escudo de la evaporación: SUS304

1,4 ventana de la visión: en puerta de la cámara

1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)

2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
Bomba de paleta rotatoria del aceite de dos etapas

3. Sistema de bombeo del alto vacío: Bomba molecular de Turbo

4. Unidad eléctrica de la operación del sistema HMI del control y de la operación

4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie

4,2 poder de la evaporación

4,3 sistema de control de la evaporación

4,4 sistema de la operación: PLC

4,5 sistema de medición

Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador

4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación

4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga

5. sistema de la deposición

5,1 fuente de la deposición: evaporador la termal de la inducción

5,2 material de la deposición: C60

6. Subsistema

6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire

6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente

6,3 gas de trabajo: AR (el >99.99%)

7. Ambiente de trabajo

Aire comprimido: 5~8kg/cm2

Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo de energía media: 3kVA

Área de la instalación: (L*W*H) 2000*200*2000m m

         Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas

Automáticamente tirando de la unidad de Up-Down para abrirse/cercano la cámara

Sistema eléctrico del recinto:

Extremidades de la seguridad:

Protección de Shileding contra la radiación del RF

Hemos sido nos esforzamos para diseñar y desarrollar el sistema de capa más conveniente que resuelven nuestra alta calidad de la eficacia y de la capa de la producción del cliente pide.

Si el sistema de capa modificado para requisitos particulares es requerido por su compañía, comparta por favor sus pensamientos, ideas con nuestro equipo y presente sus especificaciones de productos, nosotros trabajará junto para arreglar las mejores soluciones.

Shanghai Royal Technology Inc. se estableció en 2006, es un proveedor mundial de equipos de vacío de alta calidad con ubicaciones clave en todo el mundo.La tecnología de investigación y desarrollo está apoyada por ingenieros especializados en los Estados Unidos y China.Las instalaciones de fabricación de maquinaria de alta tecnología se encuentran en Shanghai y nuestra red global de centros de servicio garantizan una respuesta rápida al servicio al cliente en lugares clave.

Shanghai Royal Technology tiene un fuerte impulso para el diseño innovador y la selección de componentes de alta calidad,Combinado con un proceso de montaje muy cuidadoso y un equipo de primer nivel de técnicos e inventores talentosos, que nos permiten ofrecer soluciones de revestimiento llave en mano con equipos de vacío de alto nivel, que cumplen y a menudo superan el estándar occidental.Estamos decididos a servir al mercado mundial en varias industrias como:

Electrónica de consumo, automoción, energía renovable, arquitectura, nano y materiales biomédicos.

El modelo RTAS, el arco y el equipo de serie integrado de pulverización pueden producir películas negras y de bronce altamente reflectantes específicamente para recubrimientos decorativos de alta calidad.

RTSP1200-FCEV, Es un sistema de pulverización con proceso PECVD para depositar una película delgada en módulos de energía de pilas de combustible de hidrógeno.Los vehículos de pila de combustible son la última tecnología para la próxima generación de coches respetuosos con el medio ambienteLa principal ventaja y el progreso tecnológico en comparación con las baterías de uso común como las células secas necesitan someterse a un proceso de recarga recurrente.pero los módulos de energía de la célula de combustible de hidrógeno sólo requieren reacción de hidrógeno y oxígeno para generar energía para la conducción.

RTSP1200-DPC,Este sistema de recubrimiento se utiliza exclusivamente para el proceso de sustratos cerámicos DPC (Direct Plating Copper). Los sustratos cerámicos DPC se utilizan ampliamente en varias aplicaciones:Por ejemplo, en LED de alto brillo para aumentar la longevidad debido a su alto rendimiento de radiación térmica, equipos de semiconductores, en la comunicación inalámbrica de microondas, electrónica militar, diversos sustratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviario, energía eléctrica y mucho más.

RT-CsI950, planta de revestimiento por evaporación se aplica a la deposición de película de CsI para dispositivos de imagen de rayos X. Es una técnica avanzada para evaporar CsI en la pantalla para crear imágenes de alta calidad.El rendimiento de alta resolución permite que esta aplicación sea extremadamente eficiente y perturbadora en el instrumento médico, industria de la energía nuclear, control e inspección de seguridad, materias de física de alta energía y más.

Shanghai Royal Technology también diseñó y desarrolló con éxito el sistema de metalización de vacío de aluminio de tamaño grande de modelo de cubo y cilindro que se utiliza para el recubrimiento de placas de logotipo automotriz.

Vivimos localmente, pensamos globalmente es nuestra visión. Vivimos nuestro día a día de negocios por el concepto de "Integritad y Solidaridad",Siempre luchando por la innovación para lograr situaciones de ganar-ganar en nuestro ecosistema de socios de todo el mundoComo pioneros en la industria de equipos de recubrimiento de vacío, nunca confiamos en los logros anteriores,Pero continuamente tratamos de explorar el mundo en constante cambio de la industria de revestimiento de vacío para siempre crear óptimo económico, beneficios sociales y medioambientales para nuestros clientes.

La cultura de la tecnología real

La visión de ROYAL:Para ser el proveedor de marca mundialmente famoso de proporcionar soluciones totales a los requisitos de los clientes.

La misión real:Proteger el medio ambiente, salvar nuestro planeta azul, mejorar el ambiente de trabajo, mejorar la eficiencia del trabajo, ayudar completamente a los propietarios a reducir los costes de producción.

Filosofía de ROYAL:El Consejo Europeo de Bruselas ha aprobado una propuesta de directiva sobre la protección de los consumidores en el sector de la salud.

Valor de la propiedad real:La industria manufacturera de China y de todo el mundo se encuentra a la vanguardia de la innovación, la investigación y el desarrollo de tecnologías avanzadas.

Servicio de la Real:Servicio de una sola parada, con tecnología y productos excelentes, dedicación profesional para servir a nuestros clientes.