Máquina de capa de la pulverización catódica del magnetrón de DC, sistema de capa plano desequilibrado de la pulverización catódica

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica DC Magnetron / Sistema de pulverización catódica DC

Modelos de pulverización catódica con magnetrón: pulverización catódica DC, pulverización catódica MF, pulverización catódica RF

¿Qué es la pulverización catódica de CC?

La pulverización de CC se utiliza principalmente para pulverizar objetivos de metal puro como: cromo, titanio, aluminio, cobre, acero inoxidable, níquel, plata, oro para películas de alta conductividad.

La pulverización catódica DC es una técnica de recubrimiento de deposición física de vapor (PVD) de película delgada en la que un material objetivo que se utilizará como recubrimiento se bombardea con moléculas de gas ionizado que hacen que los átomos se "pulvericen" en el plasma.Estos átomos vaporizados se depositan luego cuando se condensan como una película delgada sobre el sustrato a recubrir.

La pulverización catódica de CC es el tipo de pulverización catódica más básico y económico para la deposición de metal PVD y materiales de revestimiento objetivo eléctricamente conductores.Dos de las principales ventajas de la CC como fuente de energía para este proceso es que es fácil de controlar y es una opción de bajo costo si está realizando una deposición de metal para el recubrimiento.

La pulverización catódica de CC se utiliza ampliamente en la industria de los semiconductores para crear circuitos de microchip a nivel molecular.Se utiliza para recubrimientos de oro por pulverización catódica de joyas, relojes y otros acabados decorativos, para recubrimientos no reflectantes en vidrio y componentes ópticos, así como para envases de plástico metalizado, espejos de automóviles, reflectores de iluminación de automóviles, ruedas y cubos de automóviles, etc.

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de CCActuación

1. Presión máxima de vacío: mejor que 5,0 × 10^-6Torr.

2. Presión de vacío de funcionamiento: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Tiempo de bombeo: de 1 atm a 1,0×10^-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cámara seca, limpia y vacía)

4. Material de metalización (pulverización + evaporación por arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, etc.

5. Modelo operativo: completamente automático/semiautomático/manualmente

Estructura de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de CC

La máquina de recubrimiento al vacío contiene el sistema completo clave que se detalla a continuación:

1. Cámara de vacío

2. Sistema de bombeo de vacío Rouhging (paquete de bomba de respaldo)

3. Sistema de bombeo de alto vacío (bomba molecular de suspensión magnética)

4. Sistema de operación y control eléctrico

5. Sistema de instalaciones auxiliares (subsistema)

6. Sistema de deposición: cátodo de pulverización catódica de CC, fuente de alimentación de CC, fuente de iones de fuente de alimentación de polarización opcional

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de CCEspecificaciones

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Shanghai Royal Technology Inc. se estableció en 2006, es un proveedor mundial de equipos de vacío de alta calidad con ubicaciones clave en todo el mundo.La tecnología de investigación y desarrollo está apoyada por ingenieros especializados en los Estados Unidos y China.Las instalaciones de fabricación de maquinaria de alta tecnología se encuentran en Shanghai y nuestra red global de centros de servicio garantizan una respuesta rápida al servicio al cliente en lugares clave.

Shanghai Royal Technology tiene un fuerte impulso para el diseño innovador y la selección de componentes de alta calidad,Combinado con un proceso de montaje muy cuidadoso y un equipo de primer nivel de técnicos e inventores talentosos, que nos permiten ofrecer soluciones de revestimiento llave en mano con equipos de vacío de alto nivel, que cumplen y a menudo superan el estándar occidental.Estamos decididos a servir al mercado mundial en varias industrias como:

Electrónica de consumo, automoción, energía renovable, arquitectura, nano y materiales biomédicos.

El modelo RTAS, el arco y el equipo de serie integrado de pulverización pueden producir películas negras y de bronce altamente reflectantes específicamente para recubrimientos decorativos de alta calidad.

RTSP1200-FCEV, Es un sistema de pulverización con proceso PECVD para depositar una película delgada en módulos de energía de pilas de combustible de hidrógeno.Los vehículos de pila de combustible son la última tecnología para la próxima generación de coches respetuosos con el medio ambienteLa principal ventaja y el progreso tecnológico en comparación con las baterías de uso común como las células secas necesitan someterse a un proceso de recarga recurrente.pero los módulos de energía de la célula de combustible de hidrógeno sólo requieren reacción de hidrógeno y oxígeno para generar energía para la conducción.

RTSP1200-DPC,Este sistema de recubrimiento se utiliza exclusivamente para el proceso de sustratos cerámicos DPC (Direct Plating Copper). Los sustratos cerámicos DPC se utilizan ampliamente en varias aplicaciones:Por ejemplo, en LED de alto brillo para aumentar la longevidad debido a su alto rendimiento de radiación térmica, equipos de semiconductores, en la comunicación inalámbrica de microondas, electrónica militar, diversos sustratos de sensores, aeroespacial, transporte ferroviario, energía eléctrica y mucho más.

RT-CsI950, planta de revestimiento por evaporación se aplica a la deposición de película de CsI para dispositivos de imagen de rayos X. Es una técnica avanzada para evaporar CsI en la pantalla para crear imágenes de alta calidad.El rendimiento de alta resolución permite que esta aplicación sea extremadamente eficiente y perturbadora en el instrumento médico, industria de la energía nuclear, control e inspección de seguridad, materias de física de alta energía y más.

Shanghai Royal Technology también diseñó y desarrolló con éxito el sistema de metalización de vacío de aluminio de tamaño grande de modelo de cubo y cilindro que se utiliza para el recubrimiento de placas de logotipo automotriz.

Vivimos localmente, pensamos globalmente es nuestra visión. Vivimos nuestro día a día de negocios por el concepto de "Integritad y Solidaridad",Siempre luchando por la innovación para lograr situaciones de ganar-ganar en nuestro ecosistema de socios de todo el mundoComo pioneros en la industria de equipos de recubrimiento de vacío, nunca confiamos en los logros anteriores,Pero continuamente tratamos de explorar el mundo en constante cambio de la industria de revestimiento de vacío para siempre crear óptimo económico, beneficios sociales y medioambientales para nuestros clientes.

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